جودة أشباه الموصلات الكوارتز & الكوارتز البصري مصنع

1. ملخص بصفتها خط إنتاج أساسي ضمن كوارتز أشباه الموصلات، فإن خزانات كوارتز SC عالية النقاء هي حامل النقاء الأساسي لـ مقاعد التنظيف الرطب عبر أربع تركيبات تنظيف رطب رئيسية للرقائق: APM، SPM، HPM و HF/DHF. مع تقدم عقد العمليات إلى ما دون 7 نانومتر، يحدد التنظيف الرطب بشكل مباشر الحد الأعلى لإنتاجية الرقائق، وجودة مادة خزانات العمليات هي أساس نقاء التنظيف. تشرح هذه المقالة الخصائص المادية لـ خزان كوارتز SC بمستوى أشباه الموصلات لعمليات التنظيف الرطب SPM DHF AMP HPM، وضرورته للتحكم في نقاء العمليات الرطبة، وتطبيقاته المستهدفة عبر خطوات عملية التنظيف الرئيسية. 2. ما هو خزان كوارتز SC بمستوى أشباه الموصلات لعمليات التنظيف الرطب SPM DHF AMP HPM خزان كوارتز SC بمستوى أشباه الموصلات الخاص بنا هو وعاء عمليات رطب فائق النقاء ضمن مجموعة كوارتز أشباه الموصلات، مصنع من السيليكا المصهورة الاصطناعية الممتازة من خلال صهر عالي النقاء، وتصنيع دقيق باستخدام آلات CNC، وتنظيف كيميائي من الفئة 100. تم تصميمه خصيصًا لمقاعد التنظيف الرطب للرقائق مقاس 8 بوصة و 12 بوصة وخطوط تنظيف RCA، وهو متوافق تمامًا مع بيئات المواد الكيميائية الكاملة لعمليات SPM و DHF و APM و HPM. مع محتوى شوائب معدنية بمستوى ppb، ومقاومة ممتازة للأحماض واستقرار حراري، فإنه يعمل كحاوية عملية قياسية لتنظيف الرقائق، والحفر الحمضي، والنقع الدفعي. تتوفر أيضًا ملحقات كوارتز مطابقة مثل موجهات الرقائق، وحوامل الرفع، وأنابيب التسخين لتشكيل حل عملية رطب كامل. 3. لماذا تعتبر خزانات مقاعد التنظيف الرطب المصنوعة من الكوارتز عالي النقاء ضرورية لخطوط التنظيف الرطب للعقد المتقدمة لأربعة أسباب رئيسية. أولاً، يمنع ترسيب الأيونات المعدنية المنخفض للغاية بشكل فعال التلوث المعدني الثانوي على أسطح الرقائق أثناء الغمر طويل الأمد، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على إنتاجية عالية في عقد ما دون 7 نانومتر وفقًا لإرشادات التصنيع الصناعية. ثانياً، تقلل مقاومة التآكل الكيميائي المتميزة من تساقط الجسيمات تحت بيئات الأحماض القوية، والقلويات القوية، ودرجات الحرارة العالية، وتطيل عمر خدمة المكونات وتقلل من وقت التوقف غير المخطط له لصيانة مقاعد التنظيف الرطب.  ثالثاً، يضمن معامل التمدد الحراري الأدنى استقرارًا الأبعاد عبر تقلبات درجة حرارة العملية من 50 درجة مئوية إلى 150 درجة مئوية، مما يضمن دقة متسقة في الحفر والتنظيف عبر وصفات التركيب المختلفة. رابعاً، يساعد العزل الكهربائي المستقر وسطح الكوارتز ذو الالتصاق المنخفض في الحفاظ على مجال سائل موحد داخل الخزان وتقليل امتصاص الملوثات المتبقية بعد الشطف بـ UPW. 4. كيف في خطوط إنتاج مقاعد التنظيف الرطب RCA للرقائق مقاس 12 بوصة، يتم نشر خزانات كوارتز SC الخاصة بنا عبر جميع تركيبات التنظيف الرطب الأربع الأساسية، تم تصميم كل منها لمطابقة ظروف العملية المحددة: 1. لعمليات إزالة الجسيمات APM (SC-1): يحافظ خزان الكوارتز مع التحكم في درجة الحرارة المدمجة على بيئة مستقرة من البيروكسيد القلوي عند 50-80 درجة مئوية، مما يدعم الرفع الموحد للجسيمات دون إدخال ضرر إضافي لخشونة السطح على رقائق السيليكون.  2. لعمليات إزالة المواد العضوية SPM (Piranha): يقاوم هيكل السيليكا المصهورة عالية النقاء مخاليط حمض الكبريتيك والبيروكسيد المركزة عند 120-150 درجة مئوية، ويقاوم الأكسدة القوية ويقلل من انتقال بقايا الكبريت إلى خطوات العملية اللاحقة.  3. للتحكم في التلوث المعدني HPM (SC-2): يضمن الخلفية المعدنية المنخفضة للغاية للوعاء الكوارتزي عدم حدوث ترسيب أيوني ثانوي أثناء التنظيف بالهيدروكلوريك والبيروكسيد، مما يزيد من كفاءة تكوين الأيونات المعدنية وإزالتها.  4. لحفر الأكاسيد الأصلية HF/DHF: يحافظ خزان الكوارتز عالي النقاء على كيمياء HF المخففة المستقرة، ويتجنب تلطيخ سطح الرقاقة الناتج عن الشوائب ويدعم التحكم الدقيق في الوقت لعمليات HF Last الحرجة. تخضع جميع خزانات مقاعد التنظيف الرطب المصنوعة من كوارتز SC الخاصة بنا لتنظيف كيميائي كامل من الفئة 100 قبل التسليم، وهي متوافقة تمامًا مع مواصفات غرف الأبحاث النظيفة في المصانع. تتوفر أبعاد مخصصة، وسعات رقائق (8 بوصة / 12 بوصة) ومجموعات مكونات كوارتز مطابقة بناءً على رسومات العملاء الفنية. 5. أسئلة متكررة  س 1: لماذا تعتبر خزانات مقاعد التنظيف الرطب المصنوعة من كوارتز SC حاسمة لعمليات التنظيف الرطب لأشباه الموصلات؟  للتنظيف الرطب تحمل منخفض للغاية للتلوث. يمنع الكوارتز عالي النقاء ترسيب الأيونات المعدنية وتساقط الجسيمات، مما يتجنب التلوث الثانوي للرقائق ويضمن إنتاجية مستقرة في العقد المتقدمة.  س 2: ما هو الفرق بين خزانات مقاعد التنظيف الرطب المصنوعة من الكوارتز الطبيعي والاصطناعي؟ يحتوي الكوارتز المصهور الاصطناعي على نقاء أعلى، وعيوب داخلية أقل، ومقاومة أفضل للتآكل، مما يجعله أكثر ملاءمة للعقد ما دون 7 نانومتر مع متطلبات نظافة واستقرار عملية أكثر صرامة.  س 3: ما هي عمليات التنظيف الرطب التي تتوافق معها خزانات كوارتز SC هذه؟ إنها متوافقة تمامًا مع APM (SC-1)، SPM (Piranha)، HPM (SC-2)، HF/DHF وخطوط تنظيف RCA الكاملة، بالإضافة إلى عمليات النقع الحمضي، وحفر الرقائق، والتنظيف بعد CMP على مقاعد التنظيف الرطب.  س 4: ما هو معيار التنظيف الذي تلبيه منتجات مقاعد التنظيف الرطب المصنوعة من كوارتز SC الخاصة بكم؟ تخضع جميع أجزاء العمليات الرطبة المصنوعة من كوارتز بدرجة أشباه الموصلات لتنظيف كيميائي من الفئة 100 مع تحكم صارم في الجسيمات وبقايا المعادن، وهي متوافقة تمامًا مع مواصفات استخدام غرف الأبحاث النظيفة القياسية في المصانع.  س 5: هل تقدمون خزانات مقاعد تنظيف رطب مخصصة من كوارتز SC ومكونات مطابقة؟ نعم، نقدم إنتاجًا مخصصًا بالكامل بناءً على رسومات العملاء الفنية، مع دعم تعديلات في الأبعاد، وسعة الرقائق، وتصميم المنافذ، ومجموعات كاملة من ملحقات الكوارتز المطابقة.  س 6: إلى أي فئة منتجات تنتمي خزانات الكوارتز هذه لمقاعد التنظيف الرطب؟ تنتمي إلى خط إنتاج كوارتز أشباه الموصلات، والذي يغطي جميع مكونات الكوارتز عالية النقاء المستخدمة في معدات عمليات تصنيع الرقائق.  6. خاتمة  تعتبر خزانات مقاعد التنظيف الرطب المصنوعة من كوارتز SC بمستوى أشباه الموصلات الخاصة بنا هي الضمان الأساسي للنقاء لعمليات التنظيف الرطب الكاملة APM، SPM، HPM و HF للرقائق ضمن فئة كوارتز أشباه الموصلات، مما يدعم بشكل مباشر التشغيل المستقر لخطوط مقاعد التنظيف الرطب للعقد المتقدمة ويحسن إنتاجية التصنيع على المدى الطويل. يقلل اختيار مكونات العمليات الرطبة المصنوعة من كوارتز اصطناعي بدرجة أشباه الموصلات بشكل فعال من مخاطر التلوث الثانوي ويعزز اتساق العملية. إذا كنت بحاجة إلى عروض أسعار للمنتجات، أو تصميم خزانات مخصصة، أو استشارات فنية لأجزاء مقاعد التنظيف الرطب المصنوعة من كوارتز SPM/DHF/APM/HPM، يرجى التواصل مع فريقنا المحترف عبر البريد الإلكتروني: javier.lu@ztt.cn.

1ملخص وبما أن تصنيع رقائق تحت 7 نانومتر يرفع معايير عدم التسامح مع تلوث الجسيمات والمعادن ، حتى الشوائب الصغيرة التي يتم إدخالها أثناء نقل رقائق يمكن أن تسبب عيوب لا رجعة فيها في الجهاز.هذا الحدث يقدمشفرات التأثير في نهاية الكوارتز عالية النقاء، وهو مكون مهم للتعامل مع نقل رقائق 300 ملم فيحفر البلازماوسوف نفسر مزاياها المادية، والتصميم الهيكلي وأداء الموثوقية، وإظهار كيفية تحقيق خالية من الخدوش،المعالجة المنخفضة للجزيئات والمساعدة في التشغيل المستقر لخطوط الإنتاج المتقدمة. 2ماذا ؟ شفرة تأثير نهاية الكوارتز عالية النقاء هي مكون معالجة رقائق الدقة تحتأشباه الموصلات الكوارتزفئة ، معدة من مادة الكوارتز عالية النقاء مع طحن الدقة فائقة وبرقة الحافة. مثبتة على الذراع الروبوتية داخل معدات معالجة الوافرات ،انها بمثابة ناقل الاتصال المباشر لالتقاط، وضع ونقل رقائق 300 مم بين غرف العملية، وضمان حركة رقائق مستقرة وخالية من التلوث. 3لماذا ؟ بالنسبة لخطوط الإنتاج المتقدمة تحت 7 نانومترات، توفر شفرات مؤثرات نهاية الكوارتز قيمة فريدة لا يمكن استبدالها ببدائل السيراميك أو المعدن.نقاء المواد المرتفع للغاية يقلل من تسرب الجسيمات وإطلاق أيونات المعدن أثناء الاتصال، مما يزيل مخاطر التلوث الناجمة عن النقل. ثانيا، الاستقرار الحراري الممتاز يسمح له بالتكيف مع التغيرات في درجة الحرارة بين الغرف،تجنب التشوه الحراري الذي يؤثر على دقة الموقعثالثاً، أسطح الاتصال الملمعة بدقة تمنع الخدوش الخلفية والشقوق الدقيقة، مما يقلل من خسائر الغلة الخفية.خصائص العزل المستقرة تجنب تلف التفريغ الكهربائي للهياكل الحساسة للوافير أثناء التعامل. 4كيف في رقائق 300 ملمحفر البلازماخطوط الإنتاج، شفرات التأثير النهائي تنفذ إجراءات الاختيار والوضع المتكررة بين منافذ الحمل وغرف التفاعل.نوعية الحافة ونظافة السطح تحدد مباشرة عائد النقل ووقت تشغيل المعدات. شفرة تأثير نهاية الكوارتز عالية النقاء لمعدات حفر الوافر 300 مم شفرة التأثير الكوارتزية ذات النقاء العالي مصممة لمعدات معالجة رقائق 300 ملممع التحكم في السطوح على مستوى الميكرون وحواف الاتصال الملمعة بالمرايا لضمان التعامل مع الوافير بعنايةمصنوعة من الكوارتز النقي من الدرجة نصف الموصل و انتهى به التنظيف من الدرجة 100نحن نقدم أيضا خدمات مخصصة بالكامل لموديلات المعدات المختلفة، بما في ذلك تعديلات على شكل الشفرة وحجمها وهيكلها. 5أسئلة شائعة س1: ما هي الوظيفة الأساسية للشفرة المؤثرة في نهاية الكوارتز؟ يتم تركيبها على ذراع روبوتية لجمع ونقل ووضع رقائق 300 مم بين غرف العملية ، مما يضمن التعامل المستقر مع رقائق خالية من التلوث. السؤال 2: لماذا تستخدم الكوارتز بدلاً من السيرصديق لمؤثرين النهائيين في خطوط متقدمة؟ الكوارتز عالي النقاء لديه انخفاض في تسرب الجسيمات وعدم وجود هطول المعادن ، مع استقرار حراري أفضل ، مما يجعله أكثر أمانًا لعمليات تحت 7 نانومتر حساسة للتلوث. س3: ما هي أحجام الوافر التي تدعمها شفراتك القياسية؟ تم تصميم النماذج القياسية للوافير 12 بوصة (300 مم) ؛ كما تتوفر حلول مخصصة لمعدات الوافير 8 بوصات. السؤال 4: هل تطابق شفراتك مع معدات معالجة الصفائح الرئيسية؟ تتناسب الأحجام القياسية مع معظم منصات الحفر والتراكم الشائعة ؛ يمكن تصميم هياكل تركيب مخصصة للمعدات الخاصة. س5: كيف تحسن شفرة الكوارتز عالية الجودة من إنتاج الإنتاج؟ يقلل من الخدوش الخلفية وتلوث الجسيمات ومخاطر ESD أثناء النقل ، مما يقلل من العيوب الخفية للوافير ويقلل من وقت توقف المعدات غير المخطط له. السؤال 6: هل يمكنك تخصيص شفرات التأثير النهائي بأشكال خاصة؟ نعم، نحن نقدم إنتاج مخصص كامل على أساس رسومات العملاء، ودعم تعديلات لملف الشفرة، والسمك وواجهة التثبيت. 6الاستنتاج شفرات التأثير الكوارتزية عالية النقاء هي المكونات الرئيسية لضمان نقل رقائق خالية من التلوث واستقرار العملية في تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة.أجزاء معالجة الكوارتز عالية الجودة تقلل بشكل مباشر من العيوب الناجمة عن النقل وتحسن الإنتاجية العامة للخط. لاقتباسات المنتجات، تصميم هيكل مخصص أو استشارات فنية، يرجى الاتصال بفريقنا في(خافيير).

1ملخص أصبح الكوارتز من أشباه الموصلات عالي النقاء مادة أساسية لا يمكن استبدالها لمكونات الغرفة في تصنيع رقائق متقدمة تحت 7 نانومترحيث أن تقلص العقد يرفع متطلبات نظافة صارمةحفر البلازماالبيئات. كما تم تسليط الضوء على تقارير العمليات المصنعة الرائدة، حتى آثار الشوائب المعدنية يمكن أن تسبب عيوب السطح المميتة والانخفاض الحاد في العائد.ضرورة التحكم في نقاء الغرفة، والتطبيقات النموذجية في معدات الحفر الراقية. غرفة حفر بلازما نصف موصلة داخلية لصناعة رقائق متقدمة 2ماذا ؟ الكوارتز عالي النقاء للاستخدام في أشباه الموصلات ، وخاصة السيليكا الصناعية المذابة ، هو مادة غير عضوية نظيفة للغاية يتم معالجتها من خلال الصهر عالية التطهير والمعالجة الدقيقة.يحتوي على ندرات معدنية بمستوى ppb، عزل كهربائي ممتاز، وخصائص مادية مستقرة تحت درجة حرارة عالية مستمرة وتآكل البلازما، والخدمة كمادة قياسية لمواد استهلاك غرفة حفر البلازما الأساسية. 3لماذا ؟ مكونات الكوارتز عالية النقاء ضرورية لخطوط العملية تحت 7 نانومتر لأربعة أسباب أساسية.أولاً، هطول الأوساخ المنخفضة جداً يمنع بشكل فعال تلوث أيونات المعادن على أسطح الوافر،والذي هو حاسم للحفاظ على إنتاجية عالية في العقد المتقدمة لكل مبادئ توجيهية التصنيع الصناعية.ثانياً، مقاومة البلازما للتآكل المتميزة تقلل من تسرب الجسيمات وتطيل عمر الخدمة للمكونات، مما يقلل من وقت توقف الصيانة غير المخطط لها.ثالثاً، فإن معدل التوسع الحراري الأدنى يضمن الاستقرار الأبعاد تحت تقلبات درجة الحرارة، مما يضمن دقة الحفر المستمرة.رابعاً، العزل الكهربائي المستقر يساعد على الحفاظ على توزيع حقل البلازما المتساوي داخل غرفة التفاعل. 4كيف حلقة غطاء الكوارتز الاصطناعية عالية النقاء لـ 12 بوصة من الوافرات CCP البلازما الحفر الجاف في عمليات الحفر الجاف للبلازما CCP للوافير 12 بوصة ، يتم تعريض مكونات الكوارتز مثل حلقات الغطاء مباشرة للبلازما عالية الكثافة وغازات العملية التآكلية ،تعمل كحاجز نقاء بين جدران الغرفة ومناطق معالجة الصفائحنقاء المواد يحدد مباشرة مستوى النظافة الأساسية لغرفة التفاعل بأكملها.حلقة غطاء الكوارتز الاصطناعية عالية النقاءمصممة لعمليات حفر البلازما الجافة في الوافرات CCP البالغة 12 بوصةالمصنوعة مع الكوارتز الاصطناعي الممتاز والتنظيف الكيميائي من الفئة 100 لتلبية كامل متطلبات النقاء الصارمة للتصنيع المتقدم تحت 7 نانومتر. 5أسئلة شائعة السؤال 1: لماذا الكوارتز عالي النقاء أمر بالغ الأهمية لعمليات أشباه الموصلات تحت 7 نانومتر؟العقد تحت 7 نانومتر لديها قدرة منخفضة للغاية على التلوث. يقلل الكوارتز عالي النقاء من هطول الأيونات وتساقط الجسيمات لمنع عيوب الشريحة وفقدان الإنتاج. س2: ما هو الفرق بين الكوارتز شبه الموصل الطبيعي والاصطناعي؟الكوارتز الاصطناعي له نقاء أعلى وأقل العيوب الداخلية، مما يجعله أكثر ملاءمة للعقد المتقدمة مع متطلبات نظافة أكثر صرامة. س3: ما هي أجزاء غرفة الحفر البلازما الشائعة المصنوعة من الكوارتز عالي النقاء؟وتشمل المنتجات النموذجية حلقات الغطاء وحلقات الحافة وحلقات التركيز وغطاء الغرفة ، وكلها تستخدم لتحقيق الاستقرار في العمليات وحماية هياكل الغرفة. س4: ما هو معيار التنظيف الذي تلبيه أجزاء الكوارتز في أشباه الموصلات؟جميع المنتجات ذات الدرجة نصف الموصل تخضع لتنظيف كيميائي من الدرجة 100 للامتثال لمواصفات استخدام غرفة نظيفة مصنعة قياسية. س5: هل تقدم معالجة مخصصة لمكونات غرفة الكوارتز؟نعم ، نحن نقدم إنتاج مخصص بالكامل بناءً على رسومات العميل التقنية ، والمواد الداعمة وتعديلات الأبعاد. س6: كيف يدعم مادة الكوارتز الحفاظ على نقاء الغرفة على المدى الطويل؟الكوارتز عالي النقاء لا يطلق تقريبا أي ملوثات، ومقاومته للتآكل يقلل من توليد الجسيمات خلال التشغيل على المدى الطويل. 6الاستنتاج الكوارتز هو المادة الأساسية التي تضمن نظافة الغرفة واستقرار العملية لإنتاج حفر البلازما المتقدم للوافير تحت 7 نانومتر.يقلل اختيار مكونات الكوارتز الاصطناعية ذات الدرجة نصف الموصل مباشرة من مخاطر التلوث ويحسن من إنتاج الإنتاج على المدى الطويلإذا كنت بحاجة إلى اقتباسات المنتجات، وتصميم حل مخصص أو استشارة فنية لأجزاء غرفة الكوارتز، يرجى الاتصال بفريقنا المهني عن طريق البريد الإلكتروني:(خافيير).

1. نظرة عامة على السوق: توسع 2nm يقود نمواً مزدوجاً فيمكونات الكوارتز الأمامية وفقًا لتقرير مواد أشباه الموصلات في الربع الثالث من عام 2026 ، من المتوقع أن ينمو السوق العالمي لمكونات الكوارتز عالية النقاء المستخدمة في تصنيع رقائق الجبهة بنسبة 18٪ على أساس سنوي في عام 2026 ،مدعومة من قبل مضيق الحجم المتسارع للعقد المنطقية من فئة 2nm عبر مصانع الصهارة الرائدة.   منذ النصف الثاني من عام 2026، رفعت شركة "تس أم سي" و"سامسونج فاوندري" و"إنتل فاوندري" جميعها أهدافها في قدرة العمليات على 2 نانومتر، مدفوعة بزيادة الطلب من مسرعات الذكاء الاصطناعي،رقائق الحوسبة عالية الأداء والشرائح المتنقلة الرائدةبالمقارنة مع عقدة 7nm و 5nm، عقدة العملية 2nm وأقل تتبنى معالجة حرارية أكثر تعقيدا بكثير وخطوات حفر البلازما،دفع مباشرة لكل من استهلاك الوحدة وتردد استبدال مكونات الكوارتز في خطوط الإنتاج. 2التحولات في الصناعة: معايير أداء أكثر صرامةإمدادات عالية المستوى رفع توسيع التصنيع المتقدم معايير أداء مكونات الكوارتز إلى ما وراء عتبات النقاء الأساسية مع تحولين صناعيين ملحوظين:   • معايير أداء المواد الصارمة: العمليات المتقدمة للتشتت والتصليح والحفر تعمل تحت درجات حرارة أعلى وبيئات بلازما أكثر عدوانية.أصبحت الاستقرار الحراري المستمر ومقاومة التآكل المحسنة متطلبات أساسية إلزامية، لتقليل تلوث الجسيمات وإطالة عمر خدمة المكونات في الإنتاج الكبير.   • تعزيز قدرة المكونات الممتازة: مع تجاوز الطلب لإنتاج مواد الكوارتز الاصطناعية في المجال السابق وقدرة التصنيع الدقيقة،تم إطالة أوقات التسليم لمكونات الكوارتز المخصصة عالية الجودة بشكل ملحوظ في جميع أنحاء الصناعةلقد ارتفعت صمود سلسلة التوريد واستراتيجيات التوريد من مصادر متعددة إلى أولويات تشغيلية رئيسية للمصائد العالمية. 3آفاق المستقبل: العقدة القادمة لتغذية الاستثمار المستدام في سلسلة التوريد بالنظر إلى المستقبل، فإن إطلاق عقدة 1.4nm من الجيل القادم سيزيد من الطلب على مكونات الكوارتز عالية الدقة.من المتوقع أن تشهد الصناعة استثمارات مستمرة في توسيع المواد في السلسلة السابقة وقدرات المعالجة الدقيقة للغاية في منتصف السلسلة، حيث تعمل الأطراف المعنية على بناء سلاسل توريد أكثر مرونة ومتنوعة جغرافيا لدعم النمو طويل الأجل لتصنيع أشباه الموصلات المتقدمة. مع سلاسل توريد الكوارتز الاصطناعية المتكاملة المستقرة، ونحن نقدم OEM وقطع الكوارتز الدقة المخصصة لمصانع العملية المتقدمة.المصانع العالمية والموزعين المهتمين بالتعاون على المدى الطويل يمكن الوصول إلى فريقنا في الخارج في(خافيير)للحصول على عينات وتفاصيل التعاون.

1. معلم الصناعة: High-NA EUV يدخل الإنتاج الضخم في 15 يوليو 2026، أصبحت Intel Foundry أول شركة مصنعة تقوم بشحن شرائح منطقية كبيرة الحجم مصنوعة باستخدام تقنية ASML's High-NA EUV على عقدة المعالجة 18A الخاصة بها. مع تحول أنظمة High-NA من البحث والتطوير إلى التصنيع الضخم، تواجه ركائز قناع الكوارتز الاصطناعي متطلبات أداء أعلى بشكل حاد. بالنسبة للعقد دون 2 نانومتر، تحدد خصائص المادة الفارغة للقناع بشكل مباشر دقة الزخرفة ودقة التراكب وإنتاجية الرقاقة النهائية. نموذج قناع كيرشوف ثلاثي الأبعاد وصارم: EUV   2. متطلبات أكثر صرامة لركائز قناع NA العالي   بالمقارنة مع أدوات 0.33NA EUV القياسية، توفر أنظمة High-NA دقة أعلى بنسبة 70% تقريبًا، مع فرض متطلبات أكثر صرامة على فراغات القناع: • CTE منخفض جدًا: تعمل كثافة طاقة الأشعة فوق البنفسجية الأعلى على زيادة الضغط الحراري. يعد التمدد الحراري القريب من الصفر أمرًا بالغ الأهمية لتجنب تغيير النمط وأخطاء التراكب. • دقة السطح على المستوى الذري: يلزم تحقيق التسطيح الشديد والتجانس البصري لمنع الانحراف الحرج في الأبعاد وتدهور التصوير. • عيوب داخلية قريبة من الصفر: تنتقل الشوائب أو الفقاعات التي تقل عن الميكرون مباشرة إلى الرقائق باعتبارها عيوبًا قاتلة، مما يجعل الجودة الخالية من العيوب أمرًا إلزاميًا.   3. ركائز الكوارتز الضوئية عالية NA الجاهزة مقاس 6.6 بوصة   توفر شركة Nantong Jingcai Precision ركائز قناع ضوئي من الكوارتز الاصطناعي مقاس 6.6 بوصة تم تصميمها وفقًا لمواصفات High-NA: • قاعدة سيليكا منصهرة اصطناعية عالية النقاء، CTE منخفضة للغاية، نفاذية أكبر من 99% عبر نطاقات DUV/EUV • تسطيح كامل السطح في حدود 1 ميكرومتر، مع التحكم الدقيق في خشونة السطح والضغط الداخلي • يقلل الفحص متعدد المراحل من الفقاعات الداخلية والشوائب من أجل نقل النمط بشكل موثوق • متوافق مع SEMI، ومتوافق تمامًا مع ماسحات الأقنعة السائدة في جميع أنحاء العالم ومن خلال سلاسل التوريد المتكاملة، فإننا ندعم أيضًا المواصفات المخصصة للبحث والتطوير والخطوط التجريبية. للحصول على الاستشارة الفنية أو تقييم العينة، اتصل بفريقنا الخارجي: javier.lu@ztt.cn