হাই-এনএ ইইউভি ভর উত্পাদন সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ফটোমাস্ক সাবস্ট্র্যাটের জন্য মাইলস্টোন লিফট বার
2026-07-17
1. শিল্প মাইলফলক: উচ্চ-এনএ ইইউভি ব্যাপক উৎপাদনে প্রবেশ করেছে
15 জুলাই, 2026-এ, ইন্টেল ফাউন্ড্রি তার 18A প্রসেস নোডে ASML-এর High-NA EUV প্রযুক্তি দিয়ে তৈরি উচ্চ-ভলিউম লজিক চিপ পাঠানোর প্রথম নির্মাতা হয়ে ওঠে। যেহেতু হাই-এনএ সিস্টেমগুলি R&D থেকে ভর উত্পাদনে স্থানান্তরিত হয়, সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ফটোমাস্ক সাবস্ট্রেটগুলি তীব্রভাবে উচ্চতর কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তার মুখোমুখি হয়। সাব-2nm নোডের জন্য, মাস্ক ফাঁকা উপাদান বৈশিষ্ট্য সরাসরি প্যাটার্নিং নির্ভুলতা, ওভারলে নির্ভুলতা এবং চূড়ান্ত ওয়েফার ফলন নির্ধারণ করে।
Kirchhoff-টাইপ এবং কঠোর 3D মাস্ক মডেলিং: EUV
2. উচ্চ-এনএ মাস্ক সাবস্ট্রেটের জন্য আরও কঠিন প্রয়োজনীয়তা
স্ট্যান্ডার্ড 0.33NA EUV টুলের সাথে তুলনা করে, হাই-এনএ সিস্টেমগুলি ~70% বেশি রেজোলিউশন প্রদান করে, যেখানে মাস্ক ব্ল্যাঙ্কগুলিতে আরও কঠোর চাহিদা আরোপ করা হয়:
• অতি-নিম্ন CTE: উচ্চতর EUV শক্তির ঘনত্ব তাপীয় চাপকে প্রশস্ত করে। প্যাটার্ন স্থানান্তর এবং ওভারলে ত্রুটিগুলি এড়াতে শূন্যের কাছাকাছি তাপ সম্প্রসারণ গুরুত্বপূর্ণ।
• পারমাণবিক-স্তরের পৃষ্ঠের নির্ভুলতা: সমালোচনামূলক মাত্রা বিচ্যুতি এবং ইমেজিং অবক্ষয় রোধ করতে চরম সমতলতা এবং অপটিক্যাল একজাতীয়তা প্রয়োজন।
• কাছাকাছি-শূন্য অভ্যন্তরীণ ত্রুটি: সাব-মাইক্রন অন্তর্ভুক্তি বা বুদবুদগুলি মারাত্মক ত্রুটি হিসাবে সরাসরি ওয়েফারগুলিতে স্থানান্তরিত হয়, শূন্য-ত্রুটি গুণমানকে বাধ্যতামূলক করে।
3. হাই-এনএ রেডি 6.6-ইঞ্চি ফটোমাস্ক কোয়ার্টজ সাবস্ট্রেটস
Nantong Jingcai Precision উচ্চ-NA স্পেসিফিকেশনের জন্য নির্মিত 6.6-ইঞ্চি সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ফটোমাস্ক সাবস্ট্রেট অফার করে:
• উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিন্থেটিক ফিউজড সিলিকা বেস, অতি-নিম্ন CTE, >99% DUV/EUV ব্যান্ড জুড়ে ট্রান্সমিট্যান্স
• পৃষ্ঠের রুক্ষতা এবং অভ্যন্তরীণ চাপের কঠোর নিয়ন্ত্রণ সহ 1μm এর মধ্যে পূর্ণ-পৃষ্ঠ সমতলতা
• মাল্টি-স্টেজ পরিদর্শন নির্ভরযোগ্য প্যাটার্ন স্থানান্তরের জন্য অভ্যন্তরীণ বুদবুদ এবং অন্তর্ভুক্তি হ্রাস করে
• আধা-সঙ্গতিপূর্ণ, বিশ্বব্যাপী মূলধারার মাস্ক স্ক্যানারগুলির সাথে সম্পূর্ণ সামঞ্জস্যপূর্ণ
সমন্বিত আপস্ট্রিম সাপ্লাই চেইনের সাথে, আমরা R&D এবং পাইলট লাইনের জন্য কাস্টম স্পেসিফিকেশন সমর্থন করি। প্রযুক্তিগত পরামর্শ বা নমুনা মূল্যায়নের জন্য, আমাদের বিদেশী দলের সাথে যোগাযোগ করুন: javier.lu@ztt.cn
আরও দেখুন
উচ্চ-নির্ভুলতা 200mm সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিং: কাস্টমাইজড কনজিউমেবল পিকিউ কোয়ার্টজের কৌশলগত মান
2026-06-24
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c {
font-family: Verdana, Helvetica, "Times New Roman", Arial, sans-serif;
color: #333;
line-height: 1.6;
padding: 20px;
max-width: 100%;
box-sizing: border-box;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c p {
text-align: left !important;
font-size: 14px;
margin-bottom: 1em;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-title {
font-size: 18px;
font-weight: bold;
color: #0000FF;
margin-bottom: 1.5em;
text-align: center;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-section-title {
font-size: 16px;
font-weight: bold;
color: #0000FF;
margin-top: 2em;
margin-bottom: 1em;
border-bottom: 1px solid #eee;
padding-bottom: 0.5em;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c ul {
list-style: none !important;
padding-left: 20px;
margin-bottom: 1em;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c ul li {
position: relative;
padding-left: 1.5em;
margin-bottom: 0.5em;
font-size: 14px;
list-style: none !important;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c ul li::before {
content: "•" !important;
position: absolute !important;
left: 0 !important;
color: #0000FF;
font-weight: bold;
font-size: 1.2em;
line-height: 1;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-faq-item {
margin-bottom: 1.5em;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-faq-question {
font-weight: bold;
color: #0000FF;
margin-bottom: 0.5em;
font-size: 14px;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-faq-answer {
font-size: 14px;
padding-left: 1em;
border-left: 2px solid #eee;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-parameters-list {
margin-top: 1.5em;
margin-bottom: 1.5em;
border: 1px solid #eee;
padding: 15px;
border-radius: 5px;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-param-item {
display: flex;
flex-direction: column;
margin-bottom: 0.8em;
font-size: 14px;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-param-key {
font-weight: bold;
color: #555;
margin-bottom: 0.2em;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-param-value {
flex-grow: 1;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-contact-info {
margin-top: 2em;
padding: 15px;
border: 1px solid #0000FF;
border-radius: 5px;
text-align: center;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-contact-info p {
margin-bottom: 0.5em;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-contact-info strong {
color: #0000FF;
}
@media (min-width: 768px) {
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c {
padding: 40px;
max-width: 960px;
margin: 0 auto;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-title {
font-size: 24px;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-section-title {
font-size: 20px;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-param-item {
flex-direction: row;
align-items: baseline;
}
.gtr-container-semicon-prod-1a2b3c .gtr-param-key {
flex-basis: 200px;
margin-bottom: 0;
}
}
উচ্চ-নির্ভুলতা 200 মিমি সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিংঃ কাস্টমাইজড কনজিউমেবল পিকিউ কোয়ার্টজের কৌশলগত মূল্য
I. সংক্ষিপ্তসার
আধুনিক অর্ধপরিবাহী উত্পাদনে, অতি-নির্দিষ্ট প্লাজমা শুকনো খোদাইয়ের সময় ওয়েফারের অভিন্নতা অনুকূলিতকরণ এবং ফলন-ধ্বংসকারী দূষণকে হ্রাস করা একটি চলমান অপারেশনাল চ্যালেঞ্জ হিসাবে রয়ে গেছে।উচ্চ বিশুদ্ধতা প্রয়োগকাস্টমাইজড ব্যবহারযোগ্য পিকিউ কোয়ার্টজউপাদান, যেমন 200 মিমি (6 ইঞ্চি) কোয়ার্টজ হট এজ রিং এক্সেলান, ভ্যাকুয়াম প্রক্রিয়া চেম্বারের ভিতরে নির্ভরযোগ্য তাপ-যান্ত্রিক স্থিতিশীলতার পাশাপাশি সাব-মাইক্রন নির্ভুলতা সরবরাহ করে।প্রিমিয়াম প্রশান্ত মহাসাগরীয় কোয়ার্টজ (পিকিউ) কাঁচামাল থেকে সরাসরি ইঞ্জিনিয়ারড, এই বিশেষায়িত ব্যবহারযোগ্য সামগ্রীগুলি গুরুতর ফ্লোরিন বা ক্লোরিন ভিত্তিক প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধের জন্য কাঠামোগত ঢাল এবং আত্মত্যাগমূলক বাধা উভয়ই হিসাবে কাজ করে।চিপ নির্মাতারা ওয়েফারের পুরো পৃষ্ঠ জুড়ে অত্যন্ত অভিন্ন প্লাজমা ঘনত্ব বিতরণ অর্জন করতে পারে, প্রক্রিয়াকরণের ত্রুটিগুলির বিরুদ্ধে একটি শক্তিশালী সীমানা নিশ্চিত করে।
II. কি
প্রযুক্তিগত দৃষ্টিকোণ থেকেকাস্টমাইজড ব্যবহারযোগ্য পিকিউ কোয়ার্টজঅংশ √ বিশেষভাবে 200 মিমি কোয়ার্টজ হট এজ রিং এক্সেলান (মডেলঃ ETCH-009) √ দ্বারা উদাহরণস্বরূপ একটি অত্যন্ত বিশেষায়িত,অতি উচ্চ বিশুদ্ধতার গ্লাস সিলিকা কাঠামোগত উপাদান কঠোর শারীরিক এবং মাত্রিক অস্বীকৃতি অনুযায়ী নির্মিত. ফিজিক্যাললি কনফিগার করা হয়েছে Φ228.55 × Φ196.53 × 2.54T মিমি এর একটি সুনির্দিষ্ট জ্যামিতিক প্রোফাইলের সাথে এবং সমস্ত সমালোচনামূলক অক্ষ জুড়ে ± 0.01 মিমি একটি কঠোর কাঠামোগত সহনশীলতার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে,এই উপাদানটি সরাসরি শুকনো প্লাজমা ইটচিং এবং রাসায়নিক বাষ্প জমাট বাঁধন (সিভিডি) সরঞ্জামের মধ্যে স্থাপন করা হয়.
মূল উপাদান বিজ্ঞানটি প্রশান্ত মহাসাগরীয় কোয়ার্টজ (পিকিউ) থেকে প্রাপ্ত উচ্চ বিশুদ্ধতা প্রাকৃতিক কোয়ার্টজ কাঁচামালের উপর নির্ভর করে, যা বৈদ্যুতিক-ফিউশন বা শিখা-ফিউশন পদ্ধতির মাধ্যমে প্রক্রিয়াজাত করা হয়।এই উত্পাদন পদ্ধতিটি হাইড্রক্সিল গ্রুপ (OH) এবং ধাতব অমেধ্যের অবিশ্বাস্যভাবে কম ঘনত্ব নিশ্চিত করে, একটি উপাদান প্রদান করে যা চরম শারীরিক চাপের অধীনে তার কাঠামোগত, অপটিক্যাল এবং রাসায়নিক অখণ্ডতা বজায় রাখতে সক্ষম।
যান্ত্রিকভাবে, উপাদানটি পৃষ্ঠের রুক্ষতা পরিবর্তন করার জন্য নিয়ন্ত্রিত যান্ত্রিক গ্রাইন্ডিং বা যথার্থ স্যান্ডব্লাস্টিংয়ের মতো কাস্টমাইজড পৃষ্ঠ চিকিত্সা বৈশিষ্ট্যযুক্ত ($R_a$) এই পৃষ্ঠের টেক্সচারিংটি আক্রমণাত্মক ফ্লোরোকার্বন ইটচিং চক্রের সময় গঠিত গৌণ পলিমার বাইপ্রেডাক্টগুলির আঠালোতা অনুকূল করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে,ক্ষুদ্র কণাগুলির ফ্লেকিং বা ছড়িয়ে পড়ার ঝুঁকি কার্যকরভাবে দূর করাউচ্চ তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং তাপীয় সম্প্রসারণের একটি ব্যতিক্রমী কম সহগ ($প্রায় 5.5 গুণ 10^{-7}/^circtext{C}$), উপাদানটি শক্তিশালী রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি (আরএফ) ক্ষেত্রকে প্রতিরোধ করে প্লাজমা গহ্বরের স্থানিক ভারসাম্য পরিবর্তন না করে তাপীয় শককে প্রতিরোধ করে।
III. কেন
উন্নত শুষ্ক প্লাজমা ইটচিং অপারেশনগুলির সময়, কারখানাগুলি একটি প্রধান অপারেশনাল বোতল ঘাটের মুখোমুখি হয়ঃ চেম্বার ব্যবহারযোগ্যগুলির দ্রুত ক্ষয়,যা ওয়েফারের সীমানায় আরএফ ক্ষেত্রের বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য পরিবর্তন করেএই অবক্ষয় প্লাজমা গহ্বরকে বিকৃত করে।"এজ রোল-অফ" প্রভাব সৃষ্টি করে যেখানে ওয়েফারের পরিধিতে ইটিং গভীরতা এবং সমালোচনামূলক মাত্রা (সিডি) প্রোফাইল কেন্দ্র থেকে উল্লেখযোগ্যভাবে বিচ্যুত হয়এই নির্দিষ্ট প্রক্রিয়া দুর্বলতা সমাধানের জন্য নির্মাতাদের একটি উচ্চ-কার্যকারিতা কাস্টমাইজড কনসুমাবল পিকিউ কোয়ার্টজ সমাধান প্রয়োজন।
ব্যতিক্রমী প্লাজমা অভিন্নতা নিয়ন্ত্রণঃ প্রান্ত রিংটি সিলিকন ওয়েফারের ডাইলেক্ট্রিক ধ্রুবকটির সাথে মেলে, ওয়েফারের শারীরিক প্রান্ত জুড়ে প্লাজমা গহ্বরকে নির্বিঘ্নে প্রসারিত করে।এই বৈদ্যুতিক discontinuities নির্মূল এবং কেন্দ্র থেকে প্রান্ত থেকে পুরো ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে অভিন্ন খাঁজ গভীরতা এবং উল্লম্ব প্রোফাইল নিশ্চিত করে.
উচ্চতর দূষণ এবং ত্রুটি হ্রাসঃ প্রিমিয়াম প্রশান্ত মহাসাগরীয় কোয়ার্টজ উপকরণ থেকে উত্পাদিত, এই উপাদান একটি অত্যন্ত কম ট্রেস-ধাতু ম্যাট্রিক্স বজায় রাখে।এটা ক্লাস 100 গভীর রাসায়নিক পরিষ্কারের সাপেক্ষে নিশ্চিত করা হয় যে এটা সম্পূর্ণরূপে কণিকা দূষণ থেকে মুক্ত থাকে, সংবেদনশীল চিপ আর্কিটেকচারকে হত্যাকারী ত্রুটি থেকে রক্ষা করে।
সর্বোত্তম তাপীয় এবং যান্ত্রিক সুরক্ষাঃ উচ্চ তাপমাত্রা ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাক (এইচটিডি ইএসসি) এর সাথে কাজ করে, কোয়ার্টজ উপাদান একটি টেকসই তাপ বাধা হিসাবে কাজ করে।এটি সরাসরি প্রতিক্রিয়াশীল আয়ন বোমা এবং ক্ষয়কারী প্রক্রিয়া গ্যাস থেকে অন্তর্নিহিত সমাবেশ উপাদান রক্ষা করে, স্থায়ী চেম্বার অংশের সেবা জীবন প্রসারিত।
প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধের জন্য অসামান্য প্রতিরোধ ক্ষমতাঃ অগ্নি-সংশ্লেষিত এবং বৈদ্যুতিক-সংশ্লেষিত সিলিকা কাঠামো প্রতিক্রিয়াশীল ফ্লোরিন থেকে রাসায়নিক ভাঙ্গনের বিরুদ্ধে চমৎকার প্রতিরোধ ক্ষমতা প্রদান করে ($**$) এবং ক্লোরিন ($Cl^*$এই উচ্চ স্থায়িত্ব প্রতিরোধমূলক রক্ষণাবেক্ষণ (পিএম) চক্রের ফ্রিকোয়েন্সি হ্রাস করে, ব্যয়বহুল সরঞ্জাম ডাউনটাইম এবং খরচ খরচ হ্রাস করে।
IV. কিভাবে
বাস্তব অর্ধপরিবাহী উত্পাদন পরিবেশে, যেমন একটি এক্সেলান চেম্বার কনফিগারেশনে চলমান 200 মিমি শুকনো প্লাজমা ইটচিং বে,একটি কাস্টমাইজড Consumable PQ কোয়ার্টজ রিং সাবস্ট্র্যাট সমর্থন ম্যাট্রিক্স কাছাকাছি সরাসরি ইনস্টল করা হয়সক্রিয় প্রক্রিয়াকরণের সময়, সরঞ্জামটি নিম্নচাপের ভ্যাকুয়াম পরিবেশে মাল্টি-কিলোওয়াট আরএফ শক্তি সরবরাহ করে যা গ্যাসগুলি যেমন$CF_4$,$CHF_3$, অথবা$SF_6$কোয়ার্টজ গরম প্রান্তের রিং এই পরিবেশের কেন্দ্রে অবস্থিত।কঠোর মাত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রেখে উচ্চ-শক্তিযুক্ত আয়নগুলির অবিচ্ছিন্ন প্রবাহ পরিচালনা করা.
এই উপাদানগুলির পিছনে বিশেষায়িত প্রকৌশল প্রদর্শন করার জন্য, 200 মিমি কোয়ার্টজ হট এজ রিং এক্সেলানের প্রযুক্তিগত পরামিতিগুলির মধ্যে রয়েছেঃ
উপাদান মডেলঃ ETCH-009
জ্যামিতিক মাত্রাঃ বাইরের Ø 228.55mm, অভ্যন্তরীণ Ø 196.53mm, বেধ 2.54mm
মাত্রা সহনশীলতাঃ ±0.01mm (সমস্ত সমালোচনামূলক জ্যামিতিক অক্ষ জুড়ে)
কাঁচামালঃ প্রিমিয়াম প্যাসিফিক কোয়ার্টজ (পিকিউ), জিই বা এফএলএইচ থেকে বিকল্প উপলব্ধ
পৃষ্ঠের কন্ডিশনারঃ উন্নত যান্ত্রিক নির্ভুলতা গ্রাইন্ডিং, কোয়ান্টামাইজড স্যান্ডব্লাস্টিং
প্রাথমিক প্রয়োগঃ সেমিকন্ডাক্টর প্লাজমা শুকনো ইট
পরিচ্ছন্নতার মানঃ ক্লাস 100 গভীর রাসায়নিক পরিষ্কার এবং বহু-পর্যায়ের অ্যাসিড ইটিং
উৎপাদন ক্ষমতাঃ মাসিক ৩০০০ টুকরো ছাড়িয়ে যাওয়া
নানটং জিংকাই প্রিসিশন কোং লিমিটেড দ্বারা পরিচালিত উত্পাদন কর্মপ্রবাহ কাঁচামাল প্রক্রিয়াকরণ থেকে চূড়ান্ত যাচাইকরণ পর্যন্ত বিস্তৃত। উচ্চ-কার্যকারিতা সিএনসি গ্রাইন্ডিং মেশিন ব্যবহার করে,প্রাকৃতিক কোয়ার্টজ খালি চূড়ান্ত নকশা মাত্রা পর্যন্ত যন্ত্রপাতি নিচে রাখা হয় নিখুঁত ন্যূনতম subsurface মাইক্রো-cracks রাখা.
উত্পাদনের পরে, উপাদানগুলি স্বয়ংক্রিয় ক্লাস 100 রাসায়নিক ইটচিং এবং অতি-পরিচ্ছন্ন জলে ধুয়ে ফেলার বৈশিষ্ট্যযুক্ত মাল্টি-স্টেজ ক্লিনরুম ক্রমের মাধ্যমে প্রক্রিয়াজাত করা হয়।কোয়ালিটি কন্ট্রোল টিম কোঅর্ডিনেট মেজিং মেশিন (সিএমএম) ব্যবহার করে প্রতিটি অংশ যাচাই করে, ডিজিটাল মাইক্রো-ইমেজিং সিস্টেম, এবং গ্রাহকের ইঞ্জিনিয়ারিং স্কিমগুলির সম্পূর্ণ সম্মতি নিশ্চিত করার জন্য বিশেষ অপটিকাল স্ট্রেস গেইজ।ট্র্যাক পার্টিকুলার মুক্ত ভোক্তা যা ভ্যাকুয়াম প্রসেস চেম্বারে নির্বিঘ্নে একীভূত হয়.
V. প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্নাবলী
প্রশ্ন 1: প্লাজমা ইটচিংয়ে কাস্টমাইজড উচ্চ বিশুদ্ধতা পিকিউ কোয়ার্টজ রিংয়ের প্রাথমিক ভূমিকা কী?
উত্তরঃ এটি প্লাজমা গহ্বরকে ঠিক ওয়েফারের সীমানায় স্থিতিশীল করে।ভেরিয়েবলের পৃষ্ঠ জুড়ে অভিন্ন আয়ন বোমাবাজি নিশ্চিত করে এবং একই সাথে একটি যজ্ঞ বাধা হিসাবে কাজ করে যা স্থায়ী চেম্বার উপাদানগুলিকে ক্ষয়কারী রাসায়নিক ক্ষয় থেকে রক্ষা করে.
প্রশ্ন ২: কেন এই ২০০ মিমি সেমিকন্ডাক্টর ব্যবহারের জন্য প্যাসিফিক কোয়ার্টজ (পিকিউ) উপাদান বেছে নেওয়া হয়েছে?
উত্তরঃ প্রশান্ত মহাসাগরীয় কোয়ার্টজ কাঁচামাল উচ্চ রাসায়নিক বিশুদ্ধতা, ন্যূনতম ট্রেস উপাদান দূষণ এবং তীব্র আরএফ ক্ষেত্রের অধীনে শক্তিশালী তাপ-যান্ত্রিক স্থিতিশীলতা প্রদান করে,এটিকে উচ্চমানের অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণের জন্য চমৎকার করে তোলে.
প্রশ্ন 3: আপনার কোয়ার্টজ উত্পাদন সুবিধা কি নির্দিষ্ট কাঠামোগত tolerances অর্জন করতে পারেন?
উত্তরঃ আমাদের সুনির্দিষ্ট সিএনসি মেশিনিং এবং উন্নত গ্রাইন্ডিং ওয়ার্কফ্লো ব্যবহার করে, আমাদের স্ট্যান্ডার্ড পণ্যগুলি নিয়মিত ± 0.01 মিমি পর্যন্ত কঠোর সহনশীলতা অর্জন করে,একটি নিখুঁত ড্রপ-ইন ফিট এবং মূলধারার 200 মিমি প্রক্রিয়া সরঞ্জাম ভিতরে seamless সামঞ্জস্যতা নিশ্চিত.
প্রশ্ন ৪: ক্লাস ১০০ রাসায়নিক পরিষ্কারের পদ্ধতি কিভাবে উৎপাদন উৎপাদন রক্ষা করে?
উত্তরঃ মাল্টি-স্টেজ ক্লিনরুম এসিড ইটচ কোয়ার্টজ পৃষ্ঠ থেকে স্লিপ কণা এবং ধাতব অবশিষ্টাংশ অপসারণ করে,বিক্রিয়া চেম্বারের ভিতরে দ্বিতীয় কণা দূষণের জন্য ব্যবহারযোগ্য উপাদানকে প্রতিরোধ করা, যার ফলে ওয়েফারের ত্রুটি এড়ানো যায়।
প্রশ্ন 5: আপনি কি অন্যান্য আন্তর্জাতিক কাঁচামাল ব্র্যান্ড ব্যবহার করে কাস্টম কোয়ার্টজ উপাদান তৈরি করতে পারেন?
উত্তরঃ হ্যাঁ, আমরা পারি। প্যাসিফিক কোয়ার্টজ (পিকিউ) উপকরণগুলির আমাদের কৌশলগত সরবরাহের বাইরে, আমরা নিয়মিতভাবে মোমেনটিভ (জিই), হেরাইস (এইচএসকিউ), টোসোহ, কর্নিং এর মতো ব্র্যান্ডের উচ্চ বিশুদ্ধতার উপকরণ সংগ্রহ এবং মেশিন করি,এবং ক্লায়েন্টের ব্লুপ্রিন্টের উপর ভিত্তি করে QSIL।
প্রশ্ন 6: এই প্রান্ত রিংগুলির জন্য স্ট্যান্ডার্ড উত্পাদন সীসা সময় এবং সর্বনিম্ন অর্ডার পরিমাণ কত?
উত্তরঃ আমাদের স্ট্যান্ডার্ড ন্যূনতম অর্ডার পরিমাণ (এমওকিউ) 50 টুকরা (ডিজাইন জটিলতার উপর ভিত্তি করে আলোচনাযোগ্য) । সাংহাই বন্দর মাধ্যমে আমাদের রপ্তানি সরবরাহ চ্যানেল ব্যবহার করে,প্রিন্ট অনুমোদনের পর থেকে সাধারণ ভর উত্পাদন সময় 30 থেকে 45 দিন.
VI. উপসংহার
সংক্ষেপে, উচ্চ বিশুদ্ধতা কাস্টমাইজড Consumable PQ কোয়ার্টজ সমাধান leveraging প্রক্রিয়া অভিন্নতা বজায় রাখার জন্য গুরুত্বপূর্ণ, কণা ত্রুটি প্রতিরোধ,এবং চাহিদাপূর্ণ 200mm প্লাজমা শুকনো খোদাই চক্র সময় টুল রানটাইম প্রসারিতন্যান্টোং জিংকাই প্রিসিশন কোং লিমিটেড (Nantong Jingcai Precision Co., Ltd) উচ্চমানের প্রশান্ত মহাসাগরীয় কোয়ার্টজ উপাদানকে যথার্থ সিএনসি গ্রিলিং (±0.01 মিমি পর্যন্ত) এর সাথে যুক্ত করে নির্মাতাদের টেকসই,আধুনিক উত্পাদন লাইন জন্য উপযুক্ত নির্ভরযোগ্য consumablesআমাদের ইন্টিগ্রেটেড প্রোডাকশন ০ প্রাথমিক উপাদান সরবরাহ থেকে শুরু করে চূড়ান্ত ক্লাস ১০০ ক্লিনরুম প্যাকেজিং পর্যন্ত ০ প্রতিটি অংশকে আপনার যন্ত্রপাতিতে পার্টিকুলার ঝুঁকি ছাড়াই একীভূত করে।
আপনার প্রক্রিয়া উপার্জন অপ্টিমাইজ করার জন্য পদক্ষেপ নিনঃ আমরা বিশ্বব্যাপী ব্যবসায়িক অংশীদারদের কাছ থেকে অনুসন্ধান স্বাগত জানাই। আজই আমাদের ইঞ্জিনিয়ারিং উপদেষ্টা দলের সাথে যোগাযোগ করুনjavier.lu@ztt.cnঅথবা ফোন/ওয়েইচ্যাট এর মাধ্যমে+86-18964035085আপনার প্রযুক্তিগত অঙ্কন জমা দিতে।আমরা 1 ¢ 2 ব্যবসায়িক দিনের মধ্যে একটি দ্রুত বাণিজ্যিক উদ্ধৃতি প্রদান এবং আপনার কাস্টমাইজড উত্পাদন সরঞ্জাম প্রয়োজনীয়তা অনুসারে একটি পেশাদারী প্রযুক্তিগত মূল্যায়ন অফার করবে.
আরও দেখুন
ইটচ রিং এর প্রধান উপকরণ কি কি?
2026-05-19
অর্ধপরিবাহী উত্পাদনে, ইটচ রিংগুলি (সাধারণত ফোকাস রিং বা প্রান্ত রিং হিসাবে উল্লেখ করা হয়) হ'ল প্লাজমা ইটচিং চেম্বারের ভিতরে সিলিকন ওয়েফারের চারপাশে ব্যবহারযোগ্য উপাদান।তাদের প্রাথমিক কাজ হল ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক (ইএসসি) কে শারীরিকভাবে রক্ষা করা এবং প্লাজমা গর্তকে বৈদ্যুতিকভাবে আকৃতি দেওয়া যাতে ওয়েফারের খুব প্রান্ত পর্যন্ত অভিন্ন খোদাই নিশ্চিত করা যায়.
যেহেতু এগুলি সরাসরি আক্রমণাত্মক, উচ্চ-শক্তির প্লাজমার সংস্পর্শে আসে, তাই এগুলিকে উচ্চ-পরিচ্ছন্ন উপাদান দিয়ে তৈরি করতে হবে যা রাসায়নিক ক্ষয় এবং শারীরিক স্পটারিংয়ের প্রতিরোধী।সর্বাধিক ব্যবহৃত উপকরণগুলির মধ্যে রয়েছে:
1. উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ (SiO2)
ঐতিহাসিকভাবে সবচেয়ে সাধারণ উপাদান, অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ (99.99% + সিলিকা) তার পরিষ্কার বৈশিষ্ট্য এবং খরচ কার্যকারিতা কারণে কারখানায় ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
নিম্নলিখিত ক্ষেত্রে সবচেয়ে ভালো ব্যবহার করা হয়:সিলিকন ইটচিং এবং অ্যাপ্লিকেশন যেখানে ট্রেস ধাতু দূষণ কমাতে গুরুত্বপূর্ণ।
উপকারিতা:অত্যন্ত বিশুদ্ধ, কম তাপীয় প্রসার, এবং কম প্রাথমিক উপাদান খরচ।
কনস:ফ্লোরিন ভিত্তিক প্লাজমা (CF4, SF6, NF3) এর সংস্পর্শে আসার সাথে সাথে তুলনামূলকভাবে দ্রুত ক্ষয় হয়। এটি পরাধীন হওয়ার সাথে সাথে, পরিবর্তিত রিং জ্যামিতি "কান ড্রিফট," প্রতিস্থাপন জন্য ঘন ঘন সরঞ্জাম বন্ধ বাধ্য.
2সিলিকন কার্বাইড (সিআইসি)
সিলিকন কার্বাইড (CVD SiC) বা উচ্চ-গ্রেড সিন্টারিংয়ের মাধ্যমে বিশেষভাবে উত্পাদিত) দ্রুত উন্নত, উচ্চ-শক্তির নোডগুলির জন্য মূলধারার পছন্দ হয়ে উঠেছে।
নিম্নলিখিত ক্ষেত্রে সবচেয়ে ভালো ব্যবহার করা হয়:হাই-অ্যাসেপ্ট রেসিও (এইচএআর) ইটচিং, যেমন 3 ডি এনএন্ড সিঁড়ি ইটচিং এবং ফিনএফইটি / জিএএ ফ্যাব্রিকেশন।
উপকারিতা:এটি ফ্লোরিন এবং ক্লোরিন প্লাজমাতে কোয়ার্টজের চেয়ে আকারের অর্ডার ধীর গতিতে ক্ষয় করে।এর জীবনকাল উল্লেখযোগ্যভাবে বাড়ানো এবং সরঞ্জামটির মোট মালিকানা ব্যয় (টিসিও) হ্রাস করাএটি উচ্চ তাপ পরিবাহিতা, যা ওয়েফারের প্রান্তের তাপমাত্রা স্থিতিশীল রাখে।
কনস:উচ্চ প্রাথমিক উত্পাদন এবং উপাদান খরচ (প্রায়শই কোয়ার্টজের দামের 3x থেকে 5x) ।
3একক-ক্রিস্টাল (মনোক্রিস্টালিন) বা পলি-ক্রিস্টালিন সিলিকন (সিআই)
উচ্চ বিশুদ্ধ সিলিকন ব্যবহার করে নিশ্চিত করা হয় যে ফোকাস রিংটি ঠিক ওয়েফারের একটি এক্সটেনশন হিসাবে আচরণ করে।
নিম্নলিখিত ক্ষেত্রে সবচেয়ে ভালো ব্যবহার করা হয়:অক্সাইড (SiO2) ইটিং প্রক্রিয়া।
উপকারিতা:যেহেতু রিংটি একটি স্ট্যান্ডার্ড ওয়েফারের রাসায়নিক রচনার সাথে মিলে যায়, রিং থেকে স্পট করা বা খোদাই করা যে কোনও ছোট পদার্থ চেম্বারে একেবারে শূন্য বিদেশী উপাদান দূষণ প্রবর্তন করে।
কনস:কোয়ার্টজের মতো, এটি একটি ভোক্তা হিসাবে আচরণ করে যা নির্দিষ্ট রাসায়নিক পদার্থের অধীনে সময়ের সাথে সাথে অবনমিত হয়, নিয়মিত নির্ধারিত প্রতিস্থাপন প্রয়োজন।
4উন্নত সেরামিকস ও লেপ
বিশেষ বা অত্যন্ত ক্ষয়কারী পরিবেশের জন্য, বিশেষায়িত সিরামিকগুলি প্রয়োগ করা হয়ঃঅ্যালুমিনিয়াম (এআই 2 ও 3): উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি এবং ভাল ডাইলেক্ট্রিক পারফরম্যান্স সরবরাহ করে,যদিও এটি মারাত্মকভাবে বোমা ফেললে কণা ফেলতে পারে. ইট্রিয়াম অক্সাইড (Y2O3 / ইট্রিয়া): প্রায়শই আক্রমণাত্মক হ্যালোজেন প্লাজমা মোকাবেলায় সিরামিক বা ধাতব রিং বেসের উপরে একটি অত্যন্ত প্লাজমা প্রতিরোধী লেপ হিসাবে ব্যবহৃত হয়। সিলিকন নাইট্রাইড (Si3N4):তাপীয় ধাক্কা প্রতিরোধের এবং যান্ত্রিক অনমনীয়তা নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তা জন্য নির্বাচিত.
বিষয়বস্তু নির্বাচন সংক্ষিপ্তসার
আরও দেখুন
সীমাহীন নির্ভুলতা: কেন ৬.৬-ইঞ্চি সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ফটোমাস্ক বিশ্বব্যাপী ফাউন্ড্রিগুলির জন্য নতুন গোল্ড স্ট্যান্ডার্ড
2026-04-29
.gtr-container-k9x2y7 {
font-family: Verdana, Helvetica, "Times New Roman", Arial, sans-serif;
color: #333;
line-height: 1.6;
padding: 15px;
max-width: 100%;
box-sizing: border-box;
overflow-wrap: break-word;
word-break: normal;
}
.gtr-container-k9x2y7__title-main {
font-size: 18px;
font-weight: bold;
color: #0000FF;
margin-bottom: 20px;
text-align: left;
}
.gtr-container-k9x2y7__title-section {
font-size: 16px;
font-weight: bold;
color: #0000FF;
margin-top: 25px;
margin-bottom: 15px;
text-align: left;
}
.gtr-container-k9x2y7 p {
font-size: 14px;
margin-bottom: 15px;
text-align: left !important;
line-height: 1.6;
}
.gtr-container-k9x2y7 ul {
margin: 0 0 15px 0;
padding: 0;
list-style: none !important;
}
.gtr-container-k9x2y7 ul li {
list-style: none !important;
position: relative;
padding-left: 25px;
margin-bottom: 8px;
font-size: 14px;
text-align: left;
}
.gtr-container-k9x2y7 ul li::before {
content: "•" !important;
position: absolute !important;
left: 0 !important;
color: #0000FF;
font-size: 1.2em;
line-height: 1.6;
top: 0;
}
.gtr-container-k9x2y7 hr {
border: none;
border-top: 1px solid #eee;
margin: 30px 0;
}
.gtr-container-k9x2y7__table-wrapper {
width: 100%;
overflow-x: auto;
margin-bottom: 20px;
}
.gtr-container-k9x2y7 table {
width: 100%;
border-collapse: collapse !important;
border-spacing: 0 !important;
margin-bottom: 0;
min-width: 400px;
}
.gtr-container-k9x2y7 th,
.gtr-container-k9x2y7 td {
border: 1px solid #ccc !important;
padding: 10px 15px !important;
text-align: left !important;
vertical-align: top !important;
font-size: 14px;
word-break: normal;
overflow-wrap: normal;
}
.gtr-container-k9x2y7 th {
font-weight: bold !important;
background-color: #f0f0f0;
color: #333;
}
.gtr-container-k9x2y7 tr:nth-child(even) {
background-color: #f9f9f9;
}
@media (min-width: 768px) {
.gtr-container-k9x2y7 {
padding: 25px 30px;
max-width: 960px;
margin: 0 auto;
}
.gtr-container-k9x2y7__title-main {
font-size: 22px;
margin-bottom: 30px;
}
.gtr-container-k9x2y7__title-section {
font-size: 18px;
margin-top: 35px;
margin-bottom: 20px;
}
.gtr-container-k9x2y7__table-wrapper {
overflow-x: hidden;
}
.gtr-container-k9x2y7 table {
min-width: auto;
}
}
সীমাহীন নির্ভুলতাঃ কেন ৬.৬ ইঞ্চি সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ফটোগ্রাম গ্লোবাল ফাউন্ড্রিগুলির জন্য নতুন গোল্ড স্ট্যান্ডার্ড
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের দ্রুত বিকশিত ল্যান্ডস্কেপে, উচ্চতর সার্কিট ঘনত্ব এবং ছোট প্রক্রিয়া নোডের জন্য অনুসন্ধান কখনই বন্ধ হয় না।এবং জাপান ন্যানো-স্কেল পদার্থবিজ্ঞানের সীমানা অতিক্রম করছেবিশেষ করে, ৬.৬ ইঞ্চি সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ফটোগ্রাফি উচ্চ-নির্ভুলতা লিথোগ্রাফির ভিত্তি হিসাবে আবির্ভূত হয়েছে।
1ন্যানো-স্কেল নির্ভুলতার ভিত্তি
কেন এই বিশেষ স্তরটি Tier-1 নির্মাতারা এবং বিশেষ গবেষণা ল্যাবের মধ্যে একইভাবে এত আকর্ষণীয় হয়ে উঠছে? The answer lies in the intrinsic properties of synthetic quartz—a material engineered to withstand the extreme demands of Deep UV (DUV) light sources while maintaining near-perfect structural integrity.
অতি-নিম্ন তাপীয় সম্প্রসারণঃ তীব্র এক্সপোজার চক্রের সাথে উচ্চ-ভলিউম উত্পাদনের সময়, এমনকি মাইক্রোস্কোপিক তাপীয় ওঠানামা প্যাটার্ন শিফট সৃষ্টি করতে পারে।সিন্থেটিক কোয়ার্টজ প্যাটার্ন ওভারলে নির্ভুলতা নিখুঁত স্থিতিশীলতা নিশ্চিত, ব্যয়বহুল ওয়েফারের ত্রুটি প্রতিরোধ করে।
উচ্চতর অপটিক্যাল স্পষ্টতাঃ আই-লাইন, ক্রাফ, এবং আরএফ লিথোগ্রাফির জন্য অনুকূলিত, আমাদের সাবস্ট্র্যাটগুলি সাধারণত 99% এরও বেশি গভীর ইউভি (ডিইউভি) সংক্রমণ হার সরবরাহ করে,বিচ্যুত আলোর হস্তক্ষেপ ছাড়াই স্পষ্ট এবং সঠিক প্যাটার্ন স্থানান্তর নিশ্চিত করা.
শূন্য ত্রুটি গুণমানঃ উচ্চ বিশুদ্ধতাযুক্ত সিন্থেটিক সিলিকা অভ্যন্তরীণ অন্তর্ভুক্তি এবং বুদবুদকে হ্রাস করে, যা উন্নত নোডগুলিতে ওয়েফার ফলন সর্বাধিক করার জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।
2কৌশলগত আঞ্চলিক অন্তর্দৃষ্টিঃ বৈশ্বিক চাহিদা পূরণ
উত্তর আমেরিকাঃ এআই এবং অটোমোটিভ চিপ পুনরুত্থান চালাচ্ছে
উত্তর আমেরিকায়, দেশীয় উৎপাদন পুনরুজ্জীবিত হওয়ার সাথে সাথে দীর্ঘ এক্সপোজার চক্রের প্রতিরোধ করতে সক্ষম স্তরগুলির জন্য চাহিদা বাড়ছে। আমাদের 6.6 ইঞ্চি কোয়ার্টজ প্লেটগুলি এআই অ্যাক্সিলারেটর এবং উচ্চ-কার্যকারিতা পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টরগুলির উত্পাদনের জন্য প্রয়োজনীয় চরম স্থায়িত্ব সরবরাহ করে.
এশিয়া-প্যাসিফিক (জাপান, কোরিয়া, দক্ষিণ-পূর্ব এশিয়া): ভর উৎপাদন কেন্দ্র
মেমরি এবং উন্নত লজিক চিপগুলির ক্ষেত্রে বিশ্বের শীর্ষস্থানীয় হিসাবে, জাপান এবং দক্ষিণ কোরিয়ার ক্লায়েন্টরা আপোসহীন সমতলতা (টিআইআর) দাবি করে। আমাদের পণ্যগুলি কঠোরভাবে এসইএমআই মান মেনে চলে,সাধারণ স্ক্যানারগুলির সাথে নিরবচ্ছিন্ন একীকরণ নিশ্চিত করাএদিকে, আমরা দক্ষিণ-পূর্ব এশিয়ার (উদাহরণস্বরূপ, ভিয়েতনাম, মালয়েশিয়া) প্রতিষ্ঠানগুলোকে ব্যাক-এন্ড সমাবেশ থেকে ফ্রন্ট-এন্ড ম্যানুফ্যাকচারিং-এ রূপান্তর করতে সহায়তা করছি।
অস্ট্রেলিয়াঃ ফোটনিক্স ও কোয়ান্টাম গবেষণায় অগ্রণী
কোয়ান্টাম কম্পিউটিং এবং বিশেষায়িত সেন্সর ক্ষেত্রে, কৃত্রিম কোয়ার্টজের উচ্চ সংক্রমণ নির্ভুল পরীক্ষামূলক তথ্য অর্জনের মূল চাবিকাঠি।
3মূল প্রযুক্তিগত বিবরণী
উপসংহারঃ উচ্চ বিশুদ্ধতার অপটিক্যাল সমাধানের মাধ্যমে পরবর্তী প্রজন্মের লিথোগ্রাফিকে শক্তিশালী করা
যেমন অর্ধপরিবাহী শিল্প ছোট নোডের দিকে ধাক্কা দেয়, ত্রুটির সুযোগ কার্যত অদৃশ্য হয়ে গেছে। একটি ফটোমাস্ক কেবলমাত্র তার উপর নির্মিত সাবস্ট্র্যাটের মতোই নির্ভরযোগ্য।সিলিকন ভ্যালি থেকে সিউল এবং টোকিও পর্যন্ত উচ্চ প্রযুক্তির কেন্দ্রগুলিতে নির্মাতাদের জন্য, আমাদের ৬.৬ ইঞ্চি সাবস্ট্রেটগুলি অত্যন্ত অপটিক্যাল স্পষ্টতার সাথে স্থায়িত্বের ভারসাম্য বজায় রাখার জন্য পছন্দের পছন্দ।
আপনার ওয়েফার উৎপাদন বাড়ানোর জন্য প্রস্তুত?
আপনার লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার ক্ষেত্রে পাতলা পদার্থ বা তাপীয় অস্থিতিশীলতাকে সমস্যা হতে দেবেন না।আমাদের ইঞ্জিনিয়ারিং টিম আপনার নির্দিষ্ট প্রকল্পের প্রয়োজনের জন্য বিস্তারিত প্রযুক্তিগত তথ্য শীট এবং বিশেষায়িত ভলিউম মূল্য প্রদান করতে প্রস্তুত.
আরও দেখুন