উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ এন্ড এফেক্টর ব্লেডসঃ সাব -7nm ফ্রন্ট-এন্ড লাইনের জন্য দূষণ মুক্ত ওয়েফার হ্যান্ডলিং

1. সংক্ষিপ্তসার

যেহেতু sub-7nm ওয়েফার উৎপাদন কণা এবং ধাতু দূষণের জন্য শূন্য সহনশীলতার মান বৃদ্ধি করে, এমনকি ওয়েফার স্থানান্তরের সময় প্রবর্তিত মাইক্রো স্কেল অমেধ্যগুলি অপরিবর্তনীয় ডিভাইস ত্রুটির কারণ হতে পারে.এই অনুষ্ঠানটিউচ্চ বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ শেষ ইফেক্টর ব্লেড, একটি সমালোচনামূলক হ্যান্ডলিং উপাদান 300mm ওয়েফার স্থানান্তরপ্লাজমা খোদাইআমরা তার উপাদান সুবিধা, কাঠামোগত নকশা এবং নির্ভরযোগ্যতা কর্মক্ষমতা ব্যাখ্যা করবে, কিভাবে এটি scratch-free অর্জন,নিম্ন কণা ওয়েফার হ্যান্ডলিং এবং উন্নত উত্পাদন লাইন স্থিতিশীল অপারেশন সমর্থন করে.

2কি ব্যাপার?

একটি উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ শেষ effector ফলক একটি স্পষ্টতা wafer হ্যান্ডলিং উপাদান অধীনেঅর্ধপরিবাহী কোয়ার্টজশ্রেণী, উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ উপাদান থেকে অতি সুনির্দিষ্ট গ্রিলিং এবং প্রান্ত পোলিশিং দিয়ে মেশিনযুক্ত। ওয়েফার প্রসেসিং সরঞ্জামের ভিতরে রোবোটিক বাহুতে ইনস্টল করা হয়েছে,এটি পিকিংয়ের জন্য সরাসরি যোগাযোগের বাহক হিসাবে কাজ করে, প্রক্রিয়া চেম্বারগুলির মধ্যে 300 মিমি ওয়েফার স্থাপন এবং স্থানান্তর, স্থিতিশীল এবং দূষণ মুক্ত ওয়েফার চলাচল নিশ্চিত করে।

3কেন?

উন্নত সাব-৭ এনএম ফ্রন্ট-এন্ড প্রোডাকশন লাইনের জন্য, কোয়ার্টজ এন্ড এফেক্টর ব্লেড অনন্য মূল্য প্রদান করে যা সিরামিক বা ধাতব বিকল্প দ্বারা প্রতিস্থাপিত হতে পারে না।আল্ট্রা-উচ্চ উপাদান বিশুদ্ধতা যোগাযোগের সময় কণা ছড়িয়ে এবং ধাতু আয়ন মুক্তি হ্রাসদ্বিতীয়ত, চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা এটিকে চেম্বারগুলির মধ্যে তাপমাত্রা পরিবর্তনের সাথে মানিয়ে নিতে দেয়,পজিশনিংয়ের নির্ভুলতাকে প্রভাবিত করে এমন তাপীয় বিকৃতি এড়ানোতৃতীয়ত, সুনির্দিষ্টভাবে পোলিশ করা যোগাযোগের পৃষ্ঠগুলি ওয়েফারের পিছনের অংশের স্ক্র্যাচ এবং মাইক্রো-ক্র্যাকগুলি রোধ করে, লুকানো ফলন ক্ষতি হ্রাস করে।স্থিতিশীল নিরোধক বৈশিষ্ট্যগুলি হ্যান্ডলিংয়ের সময় সংবেদনশীল ওয়েফার কাঠামোর বৈদ্যুতিন স্ট্যাটিক নিষ্কাশনের ক্ষতি এড়ায়.

4কিভাবে?

৩০০ মিমি ওফারেপ্লাজমা খোদাইউত্পাদন লাইন, শেষ কার্যকারক ব্লেডগুলি লোড পোর্ট এবং প্রতিক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে ঘন ঘন পিক-অ্যান্ড-প্লেস অ্যাকশন সম্পাদন করে। তাদের সমতলতা,প্রান্তের গুণমান এবং পৃষ্ঠের পরিচ্ছন্নতা সরাসরি স্থানান্তর ফলন এবং সরঞ্জাম আপটাইম নির্ধারণ করে.

300 মিমি ওয়েফার ইটচিং সরঞ্জামের জন্য উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ শেষ ইফেক্টর ব্লেড

আমাদের উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ শেষ কার্যকারক ব্লেড প্রধানধারার 300mm ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জাম জন্য ডিজাইন করা হয়,মাইক্রন স্তরের সমতলতা নিয়ন্ত্রণ এবং মিরর-পোলিশ যোগাযোগের প্রান্তগুলি সহজে ওয়েফার হ্যান্ডলিং নিশ্চিত করার জন্যসেমিকন্ডাক্টর গ্রেডের উচ্চ বিশুদ্ধ কোয়ার্টজ দিয়ে তৈরি এবং ক্লাস ১০০ পরিষ্কারের সাথে শেষ, এটি কঠোর ক্লিনরুম স্পেসিফিকেশন পূরণ করে।আমরা বিভিন্ন সরঞ্জাম মডেলের জন্য সম্পূর্ণ কাস্টমাইজড সেবা প্রদানব্লেডের আকৃতি, আকার এবং মাউন্ট স্ট্রাকচারের সমন্বয় সহ।

5প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্ন

প্রশ্ন ১ঃ কোয়ার্টজ এন্ড এফেক্টর ব্লেডের মূল কাজ কী?

এটি একটি রোবোটিক বাহুতে মাউন্ট করা হয় যা প্রক্রিয়া চেম্বারগুলির মধ্যে 300 মিমি ওয়েফারগুলি বাছাই, স্থানান্তর এবং স্থাপন করে, স্থিতিশীল, দূষণ মুক্ত ওয়েফার হ্যান্ডলিং নিশ্চিত করে।

প্রশ্ন ২ঃ সিরের পরিবর্তে কোয়ার্টজ কেন ব্যবহার করবেন?অত্যাধুনিক লাইনের শেষ কার্যকারীর জন্য?

উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ কম কণা shedding এবং কোন ধাতু precipitation আছে, ভাল তাপ স্থিতিশীলতা সঙ্গে, এটি দূষণ-সংবেদনশীল sub-7nm প্রক্রিয়া জন্য নিরাপদ করে তোলে।

প্রশ্ন 3: আপনার স্ট্যান্ডার্ড ব্লেডগুলি কোন আকারের ওয়েফার সমর্থন করে?

স্ট্যান্ডার্ড মডেলগুলি 12 ইঞ্চি (300 মিমি) ওয়েফারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; 8 ইঞ্চি ওয়েফার সরঞ্জামগুলির জন্য কাস্টম সমাধানগুলিও উপলব্ধ।

প্রশ্ন ৪ঃ আপনার ব্লেডগুলি কি প্রধানধারার ওয়েফার প্রসেসিং সরঞ্জামগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ?

স্ট্যান্ডার্ড আকারগুলি সর্বাধিক জনপ্রিয় খোদাই এবং জমা দেওয়ার প্ল্যাটফর্মগুলির সাথে মেলে; বিশেষ সরঞ্জামগুলির জন্য কাস্টম মাউন্ট স্ট্রাকচার তৈরি করা যেতে পারে।

প্রশ্ন ৫: উচ্চমানের কোয়ার্টজ ব্লেড কিভাবে উৎপাদন উৎপাদন বাড়ায়?

এটি ট্রান্সফার চলাকালীন ব্যাকসাইড স্ক্র্যাচ, কণা দূষণ এবং ইএসডি ঝুঁকি হ্রাস করে, লুকানো ওয়েফারের ত্রুটি হ্রাস করে এবং অপ্রত্যাশিত সরঞ্জামের ডাউনটাইম হ্রাস করে।

প্রশ্ন 6: আপনি বিশেষ আকারের সাথে শেষ প্রভাবক ব্লেড কাস্টমাইজ করতে পারেন?

হ্যাঁ, আমরা গ্রাহকের অঙ্কন উপর ভিত্তি করে সম্পূর্ণ কাস্টম উৎপাদন অফার, ফলক প্রোফাইল, বেধ এবং মাউন্ট ইন্টারফেস সমন্বয় সমর্থন।

6উপসংহার

উন্নত অর্ধপরিবাহী উত্পাদন মধ্যে দূষণ মুক্ত ওয়েফার স্থানান্তর এবং প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করার জন্য উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ শেষ effector ব্লেড মূল উপাদান।উচ্চ মানের কোয়ার্টজ হ্যান্ডলিং অংশ সরাসরি স্থানান্তর-প্ররোচিত ত্রুটি হ্রাস এবং সামগ্রিক লাইন ফলন উন্নত.

পণ্যের উদ্ধৃতি, কাস্টম কাঠামো নকশা বা প্রযুক্তিগত পরামর্শের জন্য, দয়া করে আমাদের দলের সাথে যোগাযোগ করুনjavier.lu@ztt.cn.