Πώς οι δεξαμενές υψηλής καθαρότητας SC Quartz εξασφαλίζουν την απόδοση κυψελών σε υγρά παγκάκια

1Συνοπτική

Ως βασική γραμμή προϊόντωνΗμιαγωγοί Κουαρτς, οι δεξαμενές υψηλής καθαρότητας σμιγδάλου SC είναι ο βασικός φορέας καθαρότητας γιαΒρεγμένα παγκάκιακαθώς οι κόμβοι της διαδικασίας προχωρούν σε υπο-7nm, ο υγρός καθαρισμός καθορίζει άμεσα το ανώτατο όριο της απόδοσης των πλακών,και η ποιότητα του υλικού των δεξαμενών διεργασίας είναι το θεμέλιο της καθαριότητας καθαρισμούΑυτό το άρθρο εξηγεί τις υλικές ιδιότητες τωνΣημείο ημιαγωγών SC Κουάρτζια δεξαμενή για SPM DHF AMP HPM βρεγμένα παγκάκια, την αναγκαιότητά του για τον έλεγχο της καθαρότητας της υγρής διαδικασίας και τις στοχευμένες εφαρμογές του σε όλα τα βασικά στάδια της διαδικασίας καθαρισμού.

2- Τι;

Σημείο ημιαγωγών SC Κουάρτζια δεξαμενή για SPM DHF AMP HPM υγρό καθαρισμό πάγκου

Η δεξαμενή μας είναι ένα εξαιρετικά καθαρό δοχείο υγρής διαδικασίας από το χαρτοφυλάκιο της Semiconductors Quartz, κατασκευασμένο από υψηλής ποιότητας συνθετικό λιωμένο πυρίτιο μέσω υψηλής καθαρότητας τήξης.επεξεργασία CNC ακριβείας και χημικός καθαρισμός κλάσης 100Είναι ειδικά σχεδιασμένο για βρεγμένα παγκάκια με βάρη 8 ιντσών και 12 ιντσών και γραμμές καθαρισμού RCA, πλήρως συμβατό με SPM, DHF, APM και HPM σε χημικά περιβάλλοντα πλήρους διαδικασίας.Με περιεκτικότητα σε μεταλλικές προσμείξεις σε επίπεδο ppb, εξαιρετική αντοχή σε οξέα και θερμική σταθερότητα, χρησιμεύει ως τυποποιημένο δοχείο διαδικασίας για καθαρισμό πλακιδίων, ξύρισμα με οξύ και βρύση παρτίδας.Οι φορείς ανύψωσης και οι σωλήνες θέρμανσης είναι επίσης διαθέσιμοι για να σχηματίσουν μια πλήρη λύση υγρής διαδικασίας.

3Γιατί;

Οι δεξαμενές υγρού κλιβάνου υψηλής καθαρότητας είναι απαραίτητες για προηγμένες γραμμές υγρού καθαρισμού για τέσσερις βασικούς λόγους.η εξαιρετικά χαμηλή βροχόπτωση ιόντων μετάλλων αποτρέπει αποτελεσματικά τη δευτερογενή μόλυνση μετάλλων στις επιφάνειες των πλακών κατά τη διάρκεια της μακροχρόνιας βύθισης, η οποία είναι κρίσιμη για τη διατήρηση υψηλής απόδοσης σε κόμβους υπο-7nm ανά βιομηχανικές κατευθυντήριες γραμμές κατασκευής.

Δεύτερον, η εξαιρετική αντοχή στη χημική διάβρωση μειώνει την απόρριψη σωματιδίων κάτω από ισχυρά οξέα, ισχυρά αλκαλικά και περιβάλλοντα υψηλών θερμοκρασιών.παρατείνει τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων και μειώνει την απρόβλεπτη συντήρηση των υγρών πάγκων.

Τρίτον, ο ελάχιστος συντελεστής θερμικής διαστολής εξασφαλίζει σταθερότητα των διαστάσεων σε διακυμάνσεις θερμοκρασίας διαδικασίας μεταξύ 50 °C και 150 °C.διασφάλιση σταθερής ακρίβειας χαρακτικής και καθαρισμού σε διάφορες συνταγές σύνθεσης.

Τέταρτον, η σταθερή ηλεκτρική μόνωση και η επιφάνεια του χαλαζιού με χαμηλή προσκόλληση συμβάλλουν στη διατήρηση ομοιόμορφου πεδίου υγρού στο εσωτερικό της δεξαμενής και μειώνουν την απορροφή υπολειμμάτων ρύπων μετά το πλύσιμο UPW.

4- Πώς;

Στις γραμμές παραγωγής των 12 ιντσών Wafer RCA Wet Benches, οι δεξαμενές μας με κουάρτς SC χρησιμοποιούνται σε όλους τους τέσσερις βασικούς τύπους υγρού καθαρισμού, ο καθένας από τους οποίους έχει σχεδιαστεί για να ταιριάζει με συγκεκριμένες συνθήκες διαδικασίας:

1Για τις διαδικασίες αφαίρεσης σωματιδίων APM (SC-1):Η δεξαμενή του κουάρτζου με ενσωματωμένο έλεγχο θερμοκρασίας διατηρεί σταθερό περιβάλλον αλκαλικού υπεροξειδίου 50~80 °C,υποστήριξη της ομοιόμορφης ανάρτησης των σωματιδίων χωρίς την εισαγωγή επιπλέον ζημιών από την τραχύτητα της επιφάνειας στις πλακίδες πυριτίου.

2Για τις διαδικασίες οργανικής αφαίρεσης SPM (Piranha):Η κατασκευή υψηλής καθαρότητας λιωμένου πυριτίου αντέχει στα συμπυκνωμένα μείγματα υπεροξειδίου του θείου σε θερμοκρασία 120-150 °C, αντιστέκεται σε ισχυρή οξείδωση και ελαχιστοποιεί τη μεταφορά υπολειμμάτων θείου σε επόμενα στάδια της διαδικασίας.

3Για τον έλεγχο της μόλυνσης από μέταλλα με HPM (SC-2):Το εξαιρετικά χαμηλό μεταλλικό υπόβαθρο του δοχείου του κουάρτζου εξασφαλίζει την απουσία δευτερεύουσας βροχόπτωσης ιόντων κατά τη διάρκεια του καθαρισμού με υπεροξείδιο του υδροχλωρίου, μεγιστοποιώντας την πολυπλοκότητα των ιόντων μετάλλων και την αποτελεσματικότητα αφαίρεσης.

4Για την εγγενή χαραγή οξειδίου HF/DHF:Η δεξαμενή υψηλής καθαρότητας χαλαζίου διατηρεί σταθερή χημεία αραιωμένου HF, αποφεύγει τη χρωματισμό της επιφάνειας της πλάκας που προκαλείται από ακαθαρσίες και υποστηρίζει ακριβή έλεγχο χρόνου για τις κρίσιμες διαδικασίες HF Last.

Όλες οι δεξαμενές μας υποβάλλονται σε χημικό καθαρισμό πριν από την παράδοση.Οι χωρητικότητες των πλακών (8 ίντσες / 12 ίντσες) και τα αντίστοιχα σύνολα εξαρτημάτων κουαρτζού είναι διαθέσιμα με βάση τα τεχνικά σχέδια του πελάτη.

5. Ενημερωτικά ερωτήματα

Ε: Γιατί οι δεξαμενές υγρού πάγκου με σιδηροτροφικό χαλαζία SC είναι κρίσιμες για τις διαδικασίες υγρού καθαρισμού των ημιαγωγών;

Το υψηλής καθαρότητας χαλαζία αποτρέπει τη βροχόπτωση ιόντων μετάλλου και την απόρριψη σωματιδίων.αποφυγή της δευτερογενούς μόλυνσης των πλακών και διασφάλιση σταθερής απόδοσης σε προηγμένους κόμβους.

Ε2: Ποια είναι η διαφορά μεταξύ των φυσικών και των συνθετικών δεξαμενών υγρού κλιβάνου με χαλαζία;

Το συνθετικό λιωμένο χαλαζία έχει υψηλότερη καθαρότητα, λιγότερα εσωτερικά ελαττώματα και καλύτερη αντοχή στη διάβρωση,καθιστώντας το πιο κατάλληλο για κόμβους υπο-7nm με αυστηρότερες απαιτήσεις καθαρότητας και σταθερότητας της διαδικασίας.

Ε3: Με ποιες διαδικασίες υγρού καθαρισμού είναι συμβατές αυτές οι δεξαμενές σιδηρουργικού χαλαζίου;

Είναι πλήρως συμβατές με τις γραμμές καθαρισμού APM (SC-1), SPM (Piranha), HPM (SC-2), HF/DHF και πλήρεις γραμμές καθαρισμού RCA, καθώς και με τις διαδικασίες ενυδάτωσης οξέος, χαρακτικής σε πλακίδια και CMP μετά τον καθαρισμό σε βρεγμένα παγκάκια.

Ε4: Ποιο πρότυπο καθαρισμού πληρούν τα προϊόντα υγρού πάγκου σας από κουάρτς SC;

Όλα τα τμήματα υγρής διαδικασίας κουαρτζίου με βαθμό ημιαγωγού υποβάλλονται σε χημικό καθαρισμό κλάσης 100 με αυστηρό έλεγχο σωματιδίων και υπολειμμάτων μετάλλων, σύμφωνα με τις προδιαγραφές χρήσης καθαρών χώρων.

Ε5: Προσφέρετε εξατομικευμένες δεξαμενές υγρών τραπεζών SC κουαρτς και συμβατά εξαρτήματα;

Ναι, παρέχουμε πλήρως εξατομικευμένη παραγωγή με βάση τα τεχνικά σχέδια του πελάτη, υποστηρίζοντας προσαρμογές σε διάσταση, χωρητικότητα πλακιδίων, σχεδιασμό λιμένων και πλήρη παρόμοια σύνολα αξεσουάρ κουαρτς.

Ε6: Σε ποια κατηγορία προϊόντων ανήκουν αυτές οι δεξαμενές κβαρτζίου υγρού πάγκου;

Ανήκουν στη γραμμή προϊόντων Semiconductors Quartz, η οποία καλύπτει όλα τα εξαρτήματα υψηλής καθαρότητας που χρησιμοποιούνται σε εξοπλισμό κατασκευής πλακών.

6Συμπέρασμα.

Οι δεξαμενές υγρού πάγκου μας SC Quartz είναι η βασική εγγύηση καθαρότητας για τον καθαρισμό υγρών πλακιδίων APM, SPM, HPM και HF σε πλήρη διαδικασία στην κατηγορία Semiconductors Quartz,άμεση υποστήριξη της σταθερής λειτουργίας των γραμμών Wet Benches προηγμένου κόμβου και βελτίωση της μακροπρόθεσμης απόδοσης παραγωγήςΗ επιλογή υγρά συστατικών συνθετικού κουάρτζου σε βαθμό ημιαγωγού μειώνει αποτελεσματικά τους κινδύνους δευτερογενούς μόλυνσης και βελτιώνει τη συνέπεια της διαδικασίας.Προσαρμοσμένο σχεδιασμό δεξαμενών ή τεχνική συμβουλευτική για τα τμήματα των βρεγμένων πάγκων υδραργύρου SPM/DHF/APM/HPM, επικοινωνήστε με την επαγγελματική ομάδα μας μέσω email:Javier.lu@ztt.cn.