چگونه مخازن کوارتز SC با خلوص بالا در داخل نیمکت های مرطوب تولید وافر را تضمین می کنند

1خلاصه

به عنوان یک خط اصلی محصول تحتنیمه هادی های کوارتز، مخازن کوارتز SC با خلوص بالا، حامل اصلی خلوص برایصندلی های مرطوبدر چهار فرمول اصلی تمیز کردن بادکنک: APM، SPM، HPM و HF / DHF. همانطور که گره های فرآیند به زیر 7nm پیشرفت می کنند، تمیز کردن بادکنک به طور مستقیم حد بالای بهره بادکنک را تعیین می کند،و کیفیت مواد مخازن فرآیند پایه پاکسازی است. این مقاله ویژگی های مادی ما را توضیح می دهدسطح نیمه هادی مخزن کوارتز SC برای بنک های مرطوب SPM DHF AMP HPM، لزوم آن برای کنترل خلوص فرآیند مرطوب و کاربردهای هدفمند آن در مراحل کلیدی فرآیند تمیز کردن.

2چي شده؟

سطح نیمه هادی مخزن کوارتز SC برای تمیز کردن نیمکت های خیس SPM DHF AMP HPM

مخزن کوارتز سطح نیمه هادی ما مخزن بسیار تمیز و مرطوب است که در زیر نمونه کار کوارتز نیمه هادی قرار داردماشینکاری دقیق CNC و تمیز کردن شیمیایی کلاس 100. این به طور خاص برای 8-اینچ و 12-اینچ وافر بنچ های مرطوب و خطوط تمیز کردن RCA طراحی شده است، کاملا سازگار با SPM، DHF، APM و HPM محیط های شیمیایی کامل فرآیند.با محتوای ناخالصی های فلزی در سطح ppb، مقاومت بسیار عالی در برابر اسید و ثبات حرارتی، به عنوان یک ظرف فرآیند استاندارد برای تمیز کردن وافر، حک کردن اسید و خیس کردن دسته استفاده می شود. لوازم جانبی کوارتز مشابه مانند راهنمای وافر،حامل های بلند و لوله های گرمایش نیز برای تشکیل یک راه حل کامل فرآیند مرطوب در دسترس هستند.

3چرا؟

مخازن مرطوب کنار کوارتز با خالصیت بالا برای خطوط پیشرفته تمیز کردن مرطوب از چهار دلیل اصلی ضروری هستند.بارندگی یون های فلزی بسیار کم به طور موثر از آلودگی فلزی ثانویه در سطوح وافر در طول غوطه ور شدن طولانی مدت جلوگیری می کند، که برای حفظ بهره وری بالا در گره های زیر 7nm در هر دستورالعمل تولید صنعت بسیار مهم است.

دوم، مقاومت خارق العاده در برابر خوردگی شیمیایی باعث کاهش ریزش ذرات در محیط های قوی اسید، قلی و دمای بالا می شود.طول عمر خدمت قطعات را افزایش می دهد و زمان خرابی برنامه ریزی نشده در تعمیر و نگهداری نیمکت های مرطوب را کاهش می دهد.

سوم، حداقل ضریب انبساط حرارتی ثبات ابعاد را در نوسانات دمای فرآیند 50 تا 150 درجه سانتیگراد تضمین می کند.تضمین دقت ثابت حکاکی و تمیز کردن در میان دستور العمل های مختلف فرمول.

چهارم، عایق برق پایدار و سطح کوارتز کم چسبندگی به حفظ یک میدان مایع یکنواخت در داخل مخزن کمک می کند و جذب آلاینده های باقی مانده را پس از شستشوی UPW کاهش می دهد.

4چطور؟

در خطوط تولیدی وافرهای رطوبت RCA 12 اینچی، مخازن کوارتز SC ما در تمام چهار فرمول اصلی تمیز کردن مرطوب استفاده می شود، هر کدام برای مطابقت با شرایط فرآیند خاص طراحی شده اند:

1برای فرآیندهای حذف ذرات APM (SC-1):مخزن کوارتز با کنترل دمای یکپارچه، یک محیط پروکسید قلیایی با درجه حرارت 50 تا 80 درجه سانتیگراد پایدار را حفظ می کند.پشتیبانی از بلند شدن یکنواخت ذرات بدون ایجاد آسیب اضافی خشکی سطح به وافرهای سیلیکونی.

2برای فرآیندهای حذف ارگانیک SPM (Piranha):ساخت سیلیکون ذوب شده با خلوص بالا در برابر مخلوط های مرکب اسید سولفوریک و پروکسید 120-150 درجه سانتیگراد مقاومت می کند، در برابر اکسیداسیون قوی مقاومت می کند و انتقال باقیمانده گوگرد به مراحل بعدی فرآیند را به حداقل می رساند.

3برای کنترل آلودگی فلزات توسط HPM (SC-2):پس زمینه فلزی فوق العاده کم ظرف کوارتز تضمین می کند که هیچ بارش یون ثانویه ای در طول تمیز کردن هیدروکلوریک پروکسید وجود نداشته باشد، به حداکثر رساندن پیچیدگی یون فلزی و بهره وری حذف.

4برای HF/DHF اکسید ناطق حکاکی:مخزن کوارتز با خلوص بالا، شیمی HF رقیق پایدار را حفظ می کند، از رنگ آمیزی سطح وافره ناشی از ناخالصی جلوگیری می کند و از کنترل زمان دقیق برای فرایندهای بحرانی HF Last پشتیبانی می کند.

تمام مخازن بنچ خیس کوارتز SC ما قبل از تحویل تحت تمیز کردن شیمیایی کلاس 100 قرار میگیرنظرفیت های وفر (8 اینچ / 12 اینچ) و مجموعه های قطعات کوارتز متناسب بر اساس نقشه های فنی مشتری در دسترس هستند.

5سوالات عمومی

سوال 1: چرا مخازن خروجی کوارتز SC برای فرآیند های تمیز کردن نیمه هادی ضروری هستند؟

پاکسازی مرطوب دارای تحمل آلودگی بسیار کم است. کوارتز با پاکیزه ی بالا از بارندگی یون های فلزی و ریختن ذرات جلوگیری می کند.جلوگیری از آلودگی ثانویه وافره و اطمینان از تولید پایدار در گره های پیشرفته.

سوال2: تفاوت بین مخازن خیس کوارتز طبیعی و مصنوعی چیست؟

کوارتز ذوب شده مصنوعی دارای خلوص بالاتر، نقص های داخلی کمتر و مقاومت بهتر در برابر خوردگی است.که آن را مناسب تر برای گره های زیر 7nm با نیازهای سخت تر تمیز و ثبات فرآیند می کند.

س3: این مخازن کوارتز SC با چه فرآیندهای تمیز کردن مرطوب سازگار هستند؟

آنها به طور کامل با خطوط تمیز کردن APM (SC-1) ، SPM (Piranha) ، HPM (SC-2) ، HF / DHF و کامل RCA سازگار هستند، و همچنین خیس کردن اسید، حک کردن وافره و فرآیندهای پاکسازی پس از CMP در بنچ های مرطوب.

سوال 4: محصولات صندلی مرطوب کوارتز SC شما به چه استاندارد تمیز کردن ایفا می کنند؟

تمام قطعات فرآیند خیس کوارتز درجه نیمه هادی تحت تصفیه شیمیایی کلاس 100 با کنترل دقیق ذرات و باقیمانده های فلزی قرار می گیرند و کاملاً با مشخصات استاندارد استفاده از اتاق تمیز کارخانه مطابقت دارند.

س5: آیا شما تانک های مرطوب و قطعات مشابه را ارائه می دهید؟

بله، ما تولید کاملا سفارشی را بر اساس نقشه های فنی مشتری ارائه می دهیم، پشتیبانی از تنظیمات ابعاد، ظرفیت وافر، طراحی پورت و مجموعه کامل لوازم جانبی کوارتز متناسب.

س6: این مخازن کوارتز خیس متعلق به کدام دسته محصول هستند؟

آنها متعلق به خط تولید Quartz Semiconductors هستند که شامل تمام قطعات کوارتز با پاکیزه بالا است که در تجهیزات فرآیند ساخت وافره استفاده می شود.

6نتیجه گیری

تانک های خیس سطح نیمه هادی SC کوارتز ما تضمین خالصیت پایه ای برای پاکسازی خیس وافر APM، SPM، HPM و HF در دسته نیمه هادی کوارتز هستند.پشتیبانی مستقیم از عملکرد پایدار خطوط پیشرفته گره های مرطوب و بهبود بهره وری تولید در دراز مدت. انتخاب قطعات خیس کوارتز مصنوعی درجه نیمه هادی به طور موثر خطر آلودگی ثانویه را کاهش می دهد و سازگاری فرآیند را افزایش می دهد.طراحی تانک سفارشی یا مشاوره فنی برای قطعات بنک های مرطوب کوارتز SPM/DHF/APM/HPM، لطفا با تیم حرفه ای ما از طریق ایمیل تماس بگیرید:javier.lu@ztt.cn.