عرضه کوارتز مصنوعی با خلوص بالا: فاقد کیفیت ZTSQ-02 در 30-45 روز

1. خلاصه

کوارتز مصنوعی با خلوص بالامحتمل‌ترین ورودی است که در مسیر بحرانی لیتوگرافی نوری قرار می‌گیرد، و اعداد مربوط به ZTSQ-02 دلیل تجدید نظر تیم‌های خرید در لیست منابع خود را توضیح می‌دهند: 99.99 درصد SiO، انکسار دوگانه تنش از ≤2 نانومتر بر سانتی‌متر در درجه A تا ≤10 نانومتر بر سانتی‌متر در درجه D، بدون رگه در یک جهت، حداقل سفارش 20 کیلوگرم که شامل ساخت‌های NPI می‌شود، ظرفیت 200 تن متریک در ماه، و تحویل 30 تا 45 روزه با شرایط FOB شانگهای با پذیرش L/C، D/A، D/P و T/T. این ماده از یک پیش‌ساز سیلیکونی خالص شده رشد می‌کند نه از ذوب سنگ معدن، بنابراین هیچ امضای فلزی ناشی از سنگ معدن ندارد - ویژگی که انتقال در فرابنفش عمیق را ممکن می‌سازد. این ماده به صورت شمش و بلوک برای زیرلایه‌های ماسک نوری، پنجره‌های اگزایمر، بلوک‌های لنز DUV و اپتیک‌های اندازه‌گیری ارسال می‌شود، که با MSDS، RoHS، REACH، ISO، GS، BV و Intertek مستند شده است، در کیسه‌های تمیز مهر و موم شده، کارتن‌های اصلی و جعبه‌های چوبی.

2. استوانه کوارتز طبیعی با OH پایین چیست؟

هنگامی که یک تیم خرید "کوارتز مصنوعی با خلوص بالا" را در یک درخواست خرید می‌نویسد، معمولاً سه چیز همزمان درخواست می‌شود: یک مشخصات شیمیایی، یک مشخصات نوری و یک استاندارد مستندسازی. جدا کردن آنها اولین قدم به سوی یک سفارش خرید است که برگشت نمی‌خورد.

مشخصات شیمیایی بخشی آسان برای بیان و سخت‌ترین بخش برای تأیید است. کوارتز مصنوعی SiO آمورف است که از یک پیش‌ساز خالص شده رشد می‌کند - هیدرولیز شعله‌ای تتراکلرید سیلیکون استاندارد صنعتی است - و سپس شیشه‌ای می‌شود. از آنجایی که سیلیکون به صورت گاز وارد می‌شود نه سنگ خرد شده، محتوای فلز باقی‌مانده توسط خلوص پیش‌ساز و تمیزی راکتور تعیین می‌شود، نه زمین‌شناسی. خلوص برای خانواده ZTSQ-02 بالاتر از 99.99 درصد ذکر شده است، و سوال معنی‌دار رقم اصلی نیست، بلکه این است که کدام عناصر و با چه غلظتی باقی می‌مانند. آهن و مس در فرابنفش عمیق جذب می‌کنند؛ سدیم و لیتیوم مهاجرت می‌کنند؛ آلومینیوم پراکنده می‌شود. تأمین‌کننده‌ای که فقط "99.99 درصد" را بدون جدول ICP-MS عنصر به عنصر گزارش می‌دهد، نیمی از آنچه را که پرسیده‌اید به شما می‌گوید.

مشخصات نوری جایی است که حرف درجه قرار می‌گیرد. انکسار دوگانه تنش پاسخ فوتوالاستیک باقی‌مانده شیشه است: نور ورودی به یک جسم تحت تنش به دو جزء متعامد تقسیم می‌شود که با سرعت‌های متفاوتی حرکت می‌کنند و اختلاف مسیری متناسب با تنش و ضخامت انباشته می‌کنند. این بر حسب نانومتر بر سانتی‌متر مسیر بیان می‌شود، و ZTSQ-02 به صورت A ≤2، B ≤5، C ≤5 و D ≤10 نانومتر بر سانتی‌متر درجه‌بندی می‌شود. رگه - استریا - تغییر شاخص لایه‌ای ناشی از فرآیند رسوب است که در یک جهت بدون رگه کنترل می‌شود. انتقال در باند کاری اندازه‌گیری می‌شود، و در 193 نانومتر رقمی است که یک زیرلایه لیتوگرافی را از یک نمونه آزمایشگاهی جدا می‌کند.

استاندارد مستندسازی چیزی است که دو مورد اول را قابل حسابرسی می‌کند: گواهی سطح بچ که نقشه‌برداری انکسار دوگانه، داده‌های انتقال، بیانیه رگه و فلزات ردیابی را حمل می‌کند، در کنار انطباق با MSDS، RoHS، REACH، ISO، GS، BV و Intertek. حداقل سفارش 20 کیلوگرم، ظرفیت 200 تن متریک در ماه و تحویل 30 تا 45 روزه با شرایط FOB شانگهای صرفاً چارچوب تجاری اطراف آن سیستم کیفیت هستند.

PQ800E / PQ800EH — پارامترهای فنی کلیدی

صلاحیت یک منبع دوم برای کوارتز نوری کند است زیرا حالت‌های خرابی خاموش هستند. یک بچ بد شکسته نمی‌رسد؛ شفاف، از نظر ابعادی صحیح و به طور جزئی خارج از مشخصات می‌رسد، و آسیب ماه‌ها بعد در گزارش بازده لیتوگرافی ظاهر می‌شود. چهار فشار خریداران را وادار می‌کند تا به دنبال یک رابطه تأمین ساختاریافته‌تر باشند.

1. شکاف مشخصات بین دیتاشیت و بچ.

بسیاری از تأمین‌کنندگان یک حرف درجه را بدون روش اندازه‌گیری نقل می‌کنند. انکسار دوگانه که به عنوان یک مقدار نقطه واحد در مرکز یک بلوک گزارش می‌شود، هیچ اطلاعاتی در مورد دهانه شفافی که طرح شما واقعاً استفاده می‌کند به شما نمی‌دهد. تأمین‌کننده‌ای که توزیع را نقشه‌برداری کرده و داده‌های خام را ارسال می‌کند، اجازه می‌دهد بازرسی ورودی به جای نمونه‌برداری، تأیید شود. برای تیم‌هایی که در حال تهیه "رویه بازرسی ورودی کوارتز" هستند، این تفاوت بین چرخه آزادسازی یک روزه و یک ماهه است.2. صلاحیت مقدار کم، گلوگاه واقعی است. حداقل سفارش 20 کیلوگرم شکل برنامه را تغییر می‌دهد. مهندسی می‌تواند مواد را برای یک پولیش آزمایشی، نقشه‌برداری انکسار دوگانه و اسکن انتقال قبل از اتمام مذاکرات تجاری دریافت کند، بنابراین مسیرهای فنی و تجاری به صورت موازی اجرا می‌شوند. هنگامی که حداقل یک تن است، نمونه منتظر قرارداد می‌ماند و قرارداد منتظر نمونه می‌ماند.3. قرار گرفتن در معرض منبع واحد بر روی کوارتز طبیعی.

کوارتز طبیعی درجه نیمه‌هادی به تعداد کمی از بدنه سنگ معدن با شیمی مناسب بستگی دارد، و این زنجیره چیزی نیست که یک کارخانه کنترل کند. ظرفیت مصنوعی با راکتورها و تأمین پیش‌ساز مقیاس می‌شود، و 200 تن متریک در ماه برای پشتیبانی از یک منبع دوم واجد شرایط بدون رقابت برای تخصیص کافی است. برای "ارزیابی ریسک تأمین‌کننده کوارتز نوری"، این استقلال یافته‌ای است که اهمیت دارد.4. هزینه کل، نه قیمت هر کیلوگرم.

مواد مصنوعی در هر کیلوگرم گران‌تر از کوارتز طبیعی و ارزان‌تر از دای خوب هستند. یک بچ جذب شده در 193 نانومتر، یک ماسک نوری رد شده، یک عنصر تصویربرداری اسقاطی - هر کدام صرفه‌جویی ناشی از یک زیرلایه ارزان‌تر را بارها و بارها از بین می‌برند. خریدارانی که "قیمت هر کیلوگرم کوارتز مصنوعی با خلوص بالا" را در برابر نرخ ضایعات و ساعات بازرسی معیار قرار می‌دهند، تقریباً همیشه به سمت درجه دقیق‌تر می‌روند.موارد عملی را اضافه کنید: تحویل 30 تا 45 روزه از FOB شانگهای، چهار ابزار پرداخت (L/C، D/A، D/P، T/T) که سفارش آزمایشی را تا توافق سالانه پوشش می‌دهد، و یک توالی بسته‌بندی - کیسه پلاستیکی تمیز، کارتن اصلی، جعبه چوبی - که بدون تبدیل سطح پولیش شده به یک سطح لمس شده، در برابر حمل و نقل بین‌المللی مقاومت می‌کند. اینها به تنهایی متمایز کننده نیستند؛ آنها چیزی هستند که متمایز کننده فنی را قابل استفاده می‌کنند.4. نحوه عملکرد در تولید واقعی: از استوانه تا قطعه واجد شرایطانتقال به ZTSQ-02 یک برنامه شش فازی است، و ترتیب مهم‌تر از برنامه است. آنچه در ادامه می‌آید، توالی است که تیم مهندسی ما با مشتریان نوری جدید اجرا می‌کند.

فاز 1 — نوشتن الزام به عنوان یک اندازه‌گیریطراحی نوری را به چهار گزاره قابل آزمایش تبدیل کنید: درجه انکسار دوگانه و دهانه‌ای که باید در آن حفظ شود؛ جهت رگه؛ انتقال در یک باند طول موج نامگذاری شده؛ و محدودیت‌های فلزات ردیابی بر اساس عنصر. موارد مکانیکی را اضافه کنید - ضخامت، صافی، کیفیت سطح، وضعیت لبه. الزامی که به صورت "خلوص بالا" بیان می‌شود توسط هر تأمین‌کننده‌ای برآورده می‌شود؛ الزامی که به صورت "حداکثر ≤2 نانومتر بر سانتی‌متر در دهانه 150 میلی‌متری، انتقال 193 نانومتر اندازه‌گیری شده در هر بچ" بیان می‌شود، نمی‌تواند.فاز 2 — یک نمونه 20 کیلوگرمی بردارید و خودتان آن را آزمایش کنیدحداقل 20 کیلوگرم برای این فاز وجود دارد. یک قطعه شاهد برش داده و پولیش کنید، سپس نقشه‌برداری پولاریمتر را در سراسر دهانه کامل اجرا کنید؛ انتقال اسپکتروفتومتر در 193 و 248 نانومتر در برابر خط پایه خودتان؛ بازرسی سایه‌نگار در جهت استفاده؛ و ICP-MS برای آهن، مس، سدیم، پتاسیم و آلومینیوم. نتایج را با گواهی بچ مقایسه کنید. شما در حال آزمایش فرهنگ مستندسازی به اندازه شیشه هستید.

فاز 3 — اثبات فرآیند، نه فقط بلوک

سنگ‌زنی و پولیش می‌تواند تنش اضافه کند. توالی کامل را اجرا کنید - سنگ‌زنی خشن، تسکین تنش، سنگ‌زنی ظریف، پرداخت، پولیش - بر روی بلوک‌های نمونه و انکسار دوگانه را در پایان دوباره اندازه‌گیری کنید. اگر مقدار تحویل شده از درجه بالاتر رفت، راه‌حل یک مرحله فرآیند است، نه یک تأمین‌کننده جدید، و یافتن آن در فاز سه بسیار ارزان‌تر از تولید است.

فاز 4 — مشخصات خرید را نهایی کنید

حرف درجه، تعریف دهانه، باند انتقال، بیانیه رگه، محدودیت‌های فلزات ردیابی، ابعاد بلوک، الزامات بازپخت و تسکین تنش، پروتکل تمیز کردن، بسته‌بندی (کیسه تمیز مهر و موم شده، کارتن اصلی، جعبه چوبی) و محتویات گواهی را بنویسید. این سند چیزی است که یک منبع دوم را تکرارپذیر می‌کند نه خوش‌شانس.

فاز 5 — مدل جایگزینی را بسازید

با ظرفیت 200 تن متریک در ماه و تحویل 30 تا 45 روزه، مدل یک پیش‌بینی غلتان به علاوه یک بافر به اندازه چرخه پولیش و بازرسی است. بچ‌های فوری با هوا در بسته استاندارد حمل می‌شوند؛ حجم برنامه‌ریزی شده با دریا می‌رود. FOB شانگهای کنترل حمل و نقل را با خریدار نگه می‌دارد، و L/C، D/A، D/P یا T/T می‌تواند با اندازه سفارش مطابقت داده شود.

فاز 6 — گسترش در کل صورتحساب مواد نوری

پس از واجد شرایط شدن برای ماسک‌های نوری، همین پلتفرم پنجره‌های لیزر اگزایمر در 193 و 248 نانومتر، بلوک‌های لنز تصویربرداری DUV، تخت‌های بازرسی ویفر و اندازه‌گیری، و زیرلایه‌های مرجع را که در آنها انکسار دوگانه کم مشخصه است، پوشش می‌دهد. هر توسعه مجدداً از داده‌های فاز دو و سه استفاده می‌کند، که در آن برنامه هزینه خود را توجیه می‌کند: یک صلاحیت مواد که چندین شماره قطعه نوری را پوشش می‌دهد.

نقشه را، طول موج کاری، دهانه و الزام درجه را ارسال کنید و ما اندازه بلوک، توصیه مواد و قیمت را برمی‌گردانیم - معمولاً بدون دور توضیح، زیرا مشخصات در حال حاضر حاوی تمام مواردی است که قیمت‌گذاری به آن نیاز دارد. از درخواست نمونه تا قطعه واجد شرایط، پاکت واقع‌بینانه یک چرخه نمونه به علاوه یک چرخه اعتبارسنجی فرآیند است، و پنجره تحویل 30 تا 45 روزه در هر دو اجرا می‌شود.

5. پرسش و پاسخ

Q1. چه چیزی کوارتز مصنوعی با خلوص بالا را در سفارش خرید تعریف می‌کند؟

سه چیز: محتوای SiO

2

بالاتر از 99.99 درصد با فلزات ردیابی که عنصر به عنصر توسط ICP-MS گزارش شده است؛ یک درجه انکسار دوگانه تنش با روش اندازه‌گیری و دهانه مشخص شده؛ و یک گواهی سطح بچ که انتقال و رگه را پوشش می‌دهد. یک رقم خلوص به تنهایی ماده را برای استفاده نوری تعریف نمی‌کند، و یک حرف درجه بدون روش مشخص شده، انکسار دوگانه را تعریف نمی‌کند.

Q2. چرا حداقل سفارش 20 کیلوگرم برای صلاحیت مهم است؟

این به مهندسی اجازه می‌دهد تا مواد را برای یک پولیش آزمایشی، نقشه‌برداری انکسار دوگانه و آزمایش انتقال قبل از نهایی شدن شرایط تجاری دریافت کند. سپس مسیرهای فنی و تجاری به صورت موازی به جای متوالی اجرا می‌شوند. با حداقل یک تن، نمونه منتظر قرارداد می‌ماند و جدول زمانی صلاحیت ماه‌ها طول می‌کشد. بیست کیلوگرم برای یک قطعه شاهد و یک مجموعه اندازه‌گیری کامل کافی است.

Q3. کدام درجه انکسار دوگانه را باید مشخص کنیم؟

درجه A در ≤2 نانومتر بر سانتی‌متر برای زیرلایه‌های ماسک نوری 193 نانومتر و عناصر لنز تصویربرداری که در آن قطبش کنترل می‌شود. درجه B یا C در ≤5 نانومتر بر سانتی‌متر برای پنجره‌های اگزایمر 248 نانومتر و بسیاری از قطعات مسیر نور مناسب است. درجه D در ≤10 نانومتر بر سانتی‌متر برای تخت‌های مرجع و اپتیک‌های غیرتصویری کافی است. حرف درجه، نه رقم خلوص، قیمت قطعه را تعیین می‌کند.

Q4. چه زمان تحویل و شرایط پرداخت اعمال می‌شود؟Q5. چگونه یک بچ را بدون آزمایشگاه نوری کامل تأیید کنیم؟

داده‌های اندازه‌گیری خام را بخواهید، نه برچسب موفقیت: توزیع انکسار دوگانه در سراسر دهانه، مقادیر انتقال با ابزار مرجع، جهت رگه، و جدول عناصر ICP-MS. سپس بر روی یک قطعه شاهد با پولاریمتر و اسپکتروفتومتر خودتان تأیید کنید. دو اندازه‌گیری مستقل بر روی یک بچ، یک مسیر حسابرسی قابل اجرا است.

Q6. آیا کوارتز مصنوعی می‌تواند جایگزین کوارتز طبیعی در قطعات کوره شود؟

معمولاً نه از نظر هزینه، و اغلب نه از نظر هندسه. کوارتز طبیعی برای لوله‌های کوره بزرگ و قایق‌ها که فلزات در سطح ppm قابل تحمل هستند و حجم مهم است، برنده می‌شود. کوارتز مصنوعی در مواردی که جذب، انکسار دوگانه و همگنی عملکرد را تعیین می‌کنند، مشخص می‌شود: ماسک‌های نوری، اپتیک‌های DUV، پنجره‌های اگزایمر و تخت‌های اندازه‌گیری. این دو مکمل یکدیگر هستند، نه قابل تعویض.

6. نتیجه‌گیری

کوارتز مصنوعی با خلوص بالا یک مشکل اندازه‌گیری است که به عنوان یک تصمیم خرید پنهان شده است. درجه انکسار دوگانه، دهانه، باند طول موج و محدودیت‌های فلزات ردیابی را اصلاح کنید، و بقیه برنامه - نمونه‌برداری، صلاحیت، جایگزینی - روتین می‌شود. آنها را مبهم بگذارید و هر بچی به یک مذاکره تبدیل می‌شود، با هزینه ضایعات در سمت خریدار میز.

مدل تأمین به همان اندازه مشخصات اهمیت دارد: یک مقدار ورودی کوچک برای آزمایش، ظرفیت واقعی پشت صلاحیت، و یک پنجره تحویل کوتاه برای برنامه‌ریزی.

ZTSQ-02 به گونه‌ای ساخته شده است که به این شکل مشخص شود: 99.99 درصد SiO

2

، درجه‌های A تا D از 2 نانومتر بر سانتی‌متر، بدون رگه در یک جهت، نقطه ورود 20 کیلوگرم، 200 تن متریک ظرفیت ماهانه و تحویل 30 تا 45 روزه از FOB شانگهای.

گام بعدی:

بسته مشخصات ZTSQ-02 و قیمت‌گذاری نمونه 20 کیلوگرمی را درخواست کنید، یا نقشه نوری و طول موج خود را برای توصیه درجه در عرض دو روز کاری ارسال کنید.