D

1Podsumowanie

Wyroby sztuczne, z tworzyw sztucznychjest wejściem, który najprawdopodobniej znajdzie się na ścieżce krytycznej litografii optycznej, a liczby wokół ZTSQ-02 wyjaśniają, dlaczego zespoły zamówień ponownie analizują listę źródeł: 99,99 % SiO₂, dwustronność naprężeniowa od ≤2 nm/cm w klasie A do ≤10 nm/cm w klasie D, brak linii w jednym kierunku, minimalne zamówienie o masie 20 kg obejmujące budowle NPI, 200 ton mocy miesięcznie,Wysyłka w ciągu 30-45 dni na warunkach FOB Shanghai z L/C, D/A, D/P i T/T akceptowane. Materiał jest hodowany z oczyszczonego prekursora krzemu, a nie roztopionego z rudy mineralnej,więc nie ma metalowej sygnatury pochodzącej z rudy, która umożliwia głęboką transmisję ultrafioletowąWysyłane jako ingoty i bloki do podłoża fotomaski, okien ekscimerów, puste soczewki DUV i optyki metrologicznej, udokumentowane zgodnie z MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS, BV i Intertek, w czystych, zamkniętych torebkach,Kartony główne i skrzynki drewniane.

2Co to jest naturalny cylinder kwarcowy o niskiej zawartości OH?

Kiedy zespół zakupowy pisze "syntetyczny kwarc o wysokiej czystości" na zamówieniu, zazwyczaj żąda się trzech różnych rzeczy naraz: specyfikacji chemicznej,specyfikacja optyczna i norma dokumentacjiOddzielenie ich jest pierwszym krokiem w kierunku zamówienia, które nie wróci.

Specyfikacja chemiczna jest najłatwiejsza do określenia i najtrudniejsza do zweryfikowania.₂Wyrobek z czystego prekursora ‡ hydroliza płomienia tetrachlorku krzemu jest standardem przemysłowym ‡, a następnie zwietrzany.zawartość metalu pozostałego zależy od czystości prekursora i czystości reaktoraCzystość dla rodziny ZTSQ-02 jest określona powyżej 99,99%, a istotne pytanie nie dotyczy liczby głównej, ale jakich pierwiastków pozostaje i w jakim stężeniu.Żelazo i miedź absorbują promieniowanie ultrafioletoweDostawca, który zgłasza tylko 99,99% bez tabeli ICP-MS element po elemencie, mówi połowę tego, o co pytaliście.

Specyfikacja optyczna jest miejscem, w którym znajduje się litera oceny.Dwuwymiarowe obniżenie napięćjest resztkową reakcją fotoelastyczną szkła: światło wchodzące do ciała pod napięciem dzieli się na dwa składowe ortogonalne poruszające się z różnymi prędkościami,akumulacja różnicy drogi proporcjonalnej do naprężenia i grubościWykazano go w nanometrach na centymetr ścieżki, a ZTSQ-02 jest klasyfikowany jako A ≤2, B ≤5, C ≤5 i D ≤10 nm/cm.StrzałyW przypadku, gdy w procesie składowania nie występuje żadna z tych zmian, należy określić, czy w procesie składowania nie występuje żadna z tych zmian.Przekazjest mierzona w całym pasmie roboczym, a przy 193 nm jest to liczba oddzielająca podłoże litografii od próbki laboratoryjnej.

Standardy dokumentacji sprawiają, że pierwsze dwa są sprawdzane: certyfikat na poziomie partii zawierający mapowanie dwustronności, dane transmisyjne, deklarację striae i metale śladowe, wraz z MSDS, RoHS,REACHMinimalne zamówienie 20 kg.200 ton miesięcznej mocy produkcyjnej i dostawy w ciągu 30-45 dni na warunkach FOB w Szanghaju są wtedy po prostu komercyjna koperta wokół tego systemu jakości.

PQ800E / PQ800EH ¢ Kluczowe parametry techniczne

3Dlaczego to ma znaczenie: Cztery zalety, które zmieniają czas pracy narzędzi

Kwalifikowanie drugiego źródła do optycznego kwarcu jest powolne, ponieważ tryby awarii są ciche.wymiarowo poprawne i nieco niezgodne ze specyfikacjąCztery presje zmuszają nabywców do poszukiwania lepiej zorganizowanych stosunków dostaw.

1. Próżnia między specyfikacją karty danych a partią.Wielu dostawców podaje literę oceny bez metody pomiaru.Birefringence zgłaszane jako wartość pojedynczej miejsca w środku pustej nic nie mówi o przejrzysty otwór projektu rzeczywiście używa. Dostawca, który mapuje dystrybucję i wysyła surowe dane, pozwala, aby inspekcja przychodząca stała się weryfikacją zamiast pobierania próbek.Procedura inspekcji przychodzącej podłoża kwarcowego, czyli różnica między jednodniowym i miesięcznym cyklem uwalniania.

2Kwalifikacja w małych ilościach jest prawdziwym wąskim gardłem.Minimalne zamówienie 20 kg zmienia kształt programu.Więc techniczne i handlowe tory biegną równolegleKiedy minimum wynosi tonę, próbka czeka na kontrakt, a kontrakt czeka na próbkę.

3- Jednorazowa ekspozycja na naturalny kwarc.Naturalny kwarc półprzewodnikowy zależy od kilku ciał rudy z odpowiednią chemią, a ten łańcuch nie jest czymś, co fabryka kontroluje.Syntetyczne skale mocy z reaktorami i dostawą prekursorów, a 200 ton miesięcznie wystarczy, aby wspierać kwalifikowane drugie źródło bez konkurowania o przydział.ocena ryzyka dla dostawców kwarcu, że niezależność jest istotnym wnioskiem.

4Koszt całkowity, nie cena za kilogram.Syntetyczny materiał kosztuje więcej za kilogram niż naturalny kwarc i mniej za dobrą matrycę.jeden element wyrzucony z wyrzutni, każdy z nich wiele razy eliminuje oszczędności z tańszego podłożaKupujący, którzy oceniającena za kg kwarcu syntetycznego o wysokiej czystościW związku z tym, w przypadku, gdy wprowadzono nowe przepisy, w przypadku gdy wprowadzono nowe przepisy, w przypadku gdy wprowadzono nowe przepisy, w przypadku gdy wprowadzono nowe przepisy, w przypadku gdy wprowadzono nowe przepisy, w przypadku gdy wprowadzono nowe przepisy, w przypadku gdy wprowadzono nowe przepisy.

Dodaj elementy praktyczne: dostawa w ciągu 30-45 dni z FOB Shanghai, cztery instrumenty płatnicze (L/C, D/A, D/P, T/T) obejmujące zamówienie próbne na podstawie umowy rocznej,i sekwencja opakowania czysty plastikowy worek uszczelniający, karton główny, drewniana skrzynia ), która przetrwa międzynarodowy przewóz bez przekształcania wypolerowanej powierzchni w powierzchnię obsługiwaną.To one sprawiają, że różnica techniczna jest użyteczna..

4Jak to działa w rzeczywistej produkcji: od cylindra do kwalifikowanego elementu

Przejście na ZTSQ-02 to sześciofasowy program, a zamówienie jest ważniejsze niż harmonogram.

Etap 1 Wymaganie zapisane jako pomiar

Konwersja projektu optycznego na cztery testowalne stwierdzenia: stopień dwustrumienia i przysłona, nad którą musi trwać; orientacja pasma; transmisja w nazwanym pasmie długości fali;i limity metali śladowych według pierwiastków. dodaj elementy mechaniczne: grubość, płaskość, jakość powierzchni, stan krawędzi. Wymóg wyrażony jako "wysoka czystość" będzie spełniony przez każdego dostawcę;wymóg wyrażony jako maksymalnie ¥≤2 nm/cm przy przysłonie 150 mm, przepustowość 193 nm mierzona na partię nie może być.

Faza 2

Minimalna waga 20 kg obowiązuje w tej fazie: wyciąć i polerować część świadka, a następnie przeprowadzić mapowanie polarimetrem w całej przysłonie;przenoszenie światła spektrofotometru w promieniu 193 i 248 nm w stosunku do własnej linii wyjściowej; inspekcja schematu graficznego w kierunku stosowania; i ICP-MS dla żelaza, miedzi, sodu, potasu i aluminium.Testujesz kulturę dokumentacji tak samo jak szkło..

Faza 3

Przeprowadź pełną sekwencję ̇ grubego szlifowania, łagodzenia naprężenia, drobnego szlifowania, okrążenia, polerowania ̇ na próbach i ponownie zmierz dwustronność na końcu.Jeżeli dostarczona wartość przekracza poziom klasy, rozwiązanie to etap procesu, a nie nowy dostawca, i znacznie tańsze jest dowiedzieć się o tym w fazie trzeciej niż w produkcji.

Etap 4 Zamrożenie specyfikacji zakupu

Zapisz literę klasy, definicję apertury, pasma transmisji, oświadczenie o prętach, limity metali śladowych, wymiary puste, wymagania dotyczące wygrzewki i łagodzenia naprężenia, protokół czyszczenia,opakowanie (czysty zamknięty worek)Dokument ten jest tym, co sprawia, że drugie źródło jest bardziej powtarzalne niż szczęśliwe.

Etap 5  Opracowanie modelu uzupełniania

Z możliwością produkcji 200 ton miesięcznie i dostawą w ciągu 30-45 dni model stanowi przewidywanie ciągłe oraz bufor dostosowany do cyklu polerowania i inspekcji.Przesyłki pilne przewożone drogą powietrzną w standardowym opakowaniuFOB Shanghai utrzymuje kontrolę przewozu z kupującym, a L/C, D/A, D/P lub T/T mogą być dopasowane do wielkości zamówienia.

Etap 6  Rozszerzenie na całym optycznym wybraniu materiałów

Po kwalifikowaniu się do wykonywania próbek fotomaskowych, ta sama platforma obejmuje okna laserowe ekscimerów o długości 193 i 248 nm, próby obiektywów projekcyjnych DUV, inspekcje płytek i płaskości metrologiczne,i substratów referencyjnych, w których specyfikacją jest niska dwuodziałaKażde rozszerzenie wykorzystuje ponownie dane z fazy drugiej i trzeciej, gdzie program opłaca się sam: jedna kwalifikacja materiału obejmująca kilka numerów części optycznych.

Wyślij nam rysunek, długość fali roboczej, otwór i wymagania jakości, a my oddaszmy pusty rozmiar, rekomendację materiału i cytatponieważ specyfikacja zawiera już wszystko, czego potrzebuje cytacjaOd prośby o próbkę do kwalifikowanej części, realistyczną opakowaniem jest jeden cykl próbki plus jeden cykl walidacji procesu, a okno dostawy 30-45 dni działa w obu.

5. Często zadawane pytania

Q1. Co definiuje wysoką czystość syntetycznego kwarcu w zamówieniu zakupu?

Trzy rzeczy: SiO₂zawartość ponad 99,99% metali śladowych zgłaszana przez ICP-MS element po elemencie; stopień dwustronności naprężenia z podaną metodą pomiaru i przysłoną;oraz certyfikat na poziomie partii obejmujący transmisję i striaeSama wartość czystości nie określa materiału do użytku optycznego, a litera klasyfikacji bez określonej metody nie określa dwustrustrumieniowości.

P2: Dlaczego minimalne zamówienie 20 kg jest ważne dla kwalifikacji?

Pozwala to inżynierom wyciągnąć materiał do próbnego polerowania, mapowania dwustronności i testowania transmisji przed ustaleniem warunków handlowych.Pojazdy techniczne i handlowe prowadzone są wtedy równolegle zamiast kolejno.Przy minimalnej masie jednej tony próbka czeka na kontrakt, a termin kwalifikacji sięga miesięcy.

K3. Jaki stopień dwustronności należy określić?

Klasa A w temperaturze ≤ 2 nm/cm dla podłoża fotomaski o długości 193 nm i elementów soczewek projekcyjnych, w których kontrolowana jest polaryzacja.Klasy B lub C przy ≤5 nm/cm pasują do okien ekscimerów o długości 248 nm i wielu części ścieżek oświetlenia. Klasa D przy ≤10 nm/cm jest odpowiednia dla płaskich płaszczyzn odniesienia i optyki nieobrazowania.

P4 Jakie warunki realizacji i płatności mają zastosowanie?

Dostarczenie wynosi 30-45 dni na warunkach FOB Shanghai, w porównaniu z 200 tonami metrycznymi miesięcznej pojemności.więc zamówienie próbne i umowa roczna mogą używać różnych instrumentówStandardowym opakowaniem jest czysta torba uszczelniająca, karton główny i drewniana skrzynia, która przetrwa przewóz lotniczy i morski bez dodatkowej manipulacji z polerowanymi powierzchniami.

P5: Jak możemy zweryfikować wiele bez pełnego laboratorium optycznego?

Zapytaj o surowe dane pomiarowe, a nie stempel przepustkowy: rozkład dwustronności w aperturze, wartości transmisji ze wskazanym przyrządem, orientacja pasów,i tabela elementów ICP-MSDwa niezależne pomiary na tej samej partii to wykonalny ślad audytu.

P. Czy sztuczny kwarc może zastąpić naturalny kwarc w częściach pieca?

Naturalny kwarc wygrywa w dużych rurach piecowych i łodziach, gdzie metali na poziomie ppm są tolerowane, a objętość ma znaczenie.Wymagania w zakresie absorpcji, dwustrumieniowość i jednolitość decydują o wydajności: fotomaskowe puste, optyki DUV, okna ekscymerowe i płaskości metrologiczne.

6Wniosek

Wysokiej czystości syntetyczny kwarc jest problemem pomiarowym ukrytym pod przykrywką zakupu.i pozostała część programu ̇ pobieranie próbek, kwalifikacja, uzupełnianie

Model dostaw ma tak samo duże znaczenie jak specyfikacja: mała ilość, z którą można testować, rzeczywista zdolność za kwalifikacją i wystarczająco krótkie okno dostawy do planowania.

ZTSQ-02 jest zaprojektowany tak, aby być określony w ten sposób: 99,99% SiO₂, klasy A do D od 2 nm/cm, brak prędkości w jednym kierunku, punkt wejścia 20 kg, 200 ton mocy miesięcznej i dostawa w ciągu 30-45 dni z FOB Shanghai.Następny krok:zażądać opakowania specyfikacji ZTSQ-02 i oferty próbki o masie 20 kg lub przesłać rysunek optyczny i długość fali w celu uzyskania rekomendacji klasy w ciągu dwóch dni roboczych.