Bahan Baku Murni 6N Silinder Kuarsa Alami OH Rendah PQ800E/PQ800EH untuk Tabung Tungku Semikonduktor

1. Ringkasan

Low OH natural quartz cylinderSupply is the quiet bottleneck behind every wafer fab capacity ramp, dan Nantong Jingcai Precision trading under the PQ brand is now shipping PQ800E and PQ800EH grades with 2,000 metric ton of monthly capacity (kapasitas bulanan), jumlah pesanan minimum 50 kg, dan 30-45 hari lead times pada FOB Shanghai terms.dengan kandungan hidroksil sengaja ditekan untuk membatasi nukleasi gelembung dan pertumbuhan kristoblit selama siklus termal suhu tinggi. The datasheet reads: density 2.2 g/cm3, thermal conductivity 2.28 W/m·K at 1,000 °C, coefficient of thermal expansion 5.5 × 10^-7/°C, softening point 1,670 °C, annealing point 1,210 °C and strain point 1,110 °C. Bahan kapal didokumentasikan untuk MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS, BV dan standar Intertek, dikemas dalam kantong tertutup bersih,Master cartons and wooden crates (Karton master dan peti kayu), dan memenuhi syarat untuk tabung tungku, perahu, batang, difusi hardware dan high-end optics blank.

2Apa itu Low-OH Natural Quartz Cylinder?

Sebuah silinder kuarsa alami adalah tubuh padat, melingkar lurus dari silika cair yang dilelehkan dari pasir kuarsa murni yang terjadi secara alami daripada dari gas yang mengandung silikon sintetis.The distinction matters to process engineers because the two routes produce different impurity fingerprints. Perbedaan ini penting bagi insinyur proses karena kedua rute menghasilkan sidik jari kotoran yang berbeda.Kuarsa alami membawa tanda tangan jejak dari bijih asli aluminium, natrium, kalium, lithium,kalsium dan besi pada bagian-per-juta untuk bagian-per-miliar tingkat sementara sintetis cair silika didefinisikan oleh apa yang tidak mengandungUntuk perangkat keras tungku, rute alami adalah yang rasional secara ekonomi; tugas rekayasa adalah untuk mengontrol apa yang datang dengan itu.

OH dalam silika cair ada sebagai gugus silanol (SiOH) terikat ke dalam jaringan kaca.Hal ini diukur non-destructively oleh Fourier-transform infrared spectroscopyStandard fused quartz typically carries 150~400 ppm OH; low-OH grades are held far below that threshold,dan angka yang tepat ditulis dalam sertifikat analisis untuk setiap lot. The PQ800E dan PQ800EH designations identify two specification grades of the same natural-quartz family,dengan varian EH yang disediakan terhadap jendela kontrol internal yang lebih ketat untuk aplikasi di mana kepadatan gelembung dan repeatability lot-to-lot sangat penting.Pemilihan kelas akhir dibuat dengan insinyur proses kami terhadap profil termal pelanggan, bukan dengan default katalog.

Tiga titik referensi termal mendefinisikan bagaimana material berperilaku dalam layanan.Titik keteganganof 1,110 °C adalah suhu di mana internal stress relaxes only slowly (viscosity near 10^14.5Pa·s) and is the practical ceiling for permanent dimensional stability.Titik pengelasandari 1,210 ° C adalah di mana stres dilepaskan dalam beberapa menit daripada bulan (viscosity dekat 10¹³Pa·s), dan adalah suhu yang digunakan setelah mesin.titik peradanganof 1,670 °C marks the onset of viscous flow (viscosity near 10^7.6Pa·s) dan adalah suhu di mana silinder ditarik ke dalam tabung.^-7/ ° C ≈ sekitar seperdelapan belas dari kaca borosilikat ≈ ditambah konduktivitas termal 2.28 W / m · K pada 1.000 ° C adalah apa yang memungkinkan tabung dingin untuk bertahan di zona panas.

Purity is expressed as SiO₂Semiconductor-grade material is specified at 99.9999 % (6N), and the residual 1 ppm is where the commercial argument lives: which metals, at what concentration, in what mobility state.

PQ800E / PQ800EH ️ Key Technical Parameters

3Mengapa Itu Penting: Empat Keuntungan yang Mengubah Uptime Alat

Rasa sakit yang membawa pembeli ke spesifikasi OH rendah jarang kosmetik.atau banyak wafer yang dibuang karena kontaminasi logam yang tidak bisa ditugaskan ke ruang.Masing-masing kegagalan memiliki mekanisme sisi kaca, dan masing-masing sensitif terhadap kandungan hidroksil.

1. Resistensi Devitrification pada 1.100-1.300 °C.Above roughly 1,150 °C, silika fused begins to nucleate cristobalite ∙ polymorph kristal dari SiO₂Cristobalite memiliki kepadatan yang berbeda dan ekspansi termal yang berbeda dari kaca sekitarnya, jadi transformasi menghasilkan mikro-tekanan.spalling dan particulateKelompok silanol menurunkan energi aktivasi untuk nukleasi itu, dan mereka juga melepaskan uap air saat jaringan mengental, yang memberi makan pertumbuhan gelembung dari dalam.OH yang lebih rendah berarti awal yang lebih lambat dan tingkat yang lebih lambat.: lebih lama kualitas hidup tabung dan lebih sedikit penggantian yang dijadwalkan.low hydroxyl fused quartz cylinder supplierMereka biasanya tidak berbelanja dengan harga ̇ Mereka membeli jam antara kegagalan.

2Kontrol kontaminasi pada tingkat ppb.Natrium dan lithium adalah modifier jaringan: mereka duduk di struktur kaca dengan mobilitas nyata, dan di bawah bias termal mereka bermigrasi ke permukaan, di mana mereka dapat mentransfer ke wafer.Tembaga dan aluminium lebih buruk per atom dalam hal perangkat.Kuarsa alami 6N dengan profil alkali terkontrol memberi fab anggaran kontaminasi yang dapat dipertahankan untuk perahu tungku, dayung, dan tabung liner, dan sertifikat yang bertahan dari audit.Pertanyaan ekor panjang yang relevanspesifikasi impurity quartz cylinder metal for diffusion furnacesJawabannya di atas kertas sebelum di ruang sidang.

3. Termal shock dan sag kinerja.A 5.5 × 10^-7/°C koefisien ekspansi diterjemahkan ke dalam ketegangan yang sangat rendah untuk gradien suhu yang diberikan, sementara 2.28 W/m·K konduktivitas pada 1.000 °C menjaga gradien dari menjadi curam di tempat pertama.Manfaat praktisnya adalah silinder yang toleransi load-in di 800 ° C, bertahan dalam proses rendaman 1.200 °C, dan kembali tanpa warp kumulatif yang mengubah tabung bulat menjadi oval setelah 20 siklus.

4. Keamanan pasokan dan kecepatan kualifikasi.Bahan baku adalah di mana jadwal mati diam-diam. kapasitas 2.000 metric ton bulanan, jumlah pesanan minimum 50 kg yang mendukung pilot dan konstruksi teknik, pengiriman 30-45 hari,dan enam rute sertifikasi (MSDS), RoHS, REACH, ISO, GS, BV, Intertek) berarti tim pembelian dapat memenuhi syarat sumber kedua tanpa celah dua belas bulan.D/P dan T/T mencakup rentang dari pesanan uji coba pertama hingga kontrak tahunan. Untuk benchmarking pembeliharga bahan baku quartz murni tinggiAgainst the cost of a line-down event, the comparison is rarely close.

Add the applications that sit adjacent to the furnace: epitaxy bell jars, oxidation and diffusion liners, wet-bench tanks handling HF and HNO₃dan fotomask atau lensa kosong dimana tubuh low-bubble yang sama selesai secara optik.

4Bagaimana cara kerjanya dalam produksi nyata: Dari silinder ke komponen yang berkualitas.

Menentukan silinder kuarsa mudah sekali proses ke bawah diketahui. Aliran kerja di bawah ini mencerminkan bagaimana tim rekayasa kami mendukung proyek baru dari sampel hingga produksi.

Langkah 1: Mendefinisikan geometri selesai, bukan hanya kosong

PQ800E dan PQ800EH disediakan sebagai silinder berukuran untuk menggambar, boring atau slicing.dan the machining allowance in each directionSebuah tabung difusi tipikal berjalan 150~300 mm OD dengan dinding 3~5 mm; sebuah cangkir lonceng bisa lebih besar dan lebih tipis.wall concentricity is set at the draw., bukan pada grind sehingga silinder sendiri konsentrisitas dan toleransi busur menentukan apa tabung bisa menjadi.

Langkah 2 ️ Match grade to thermal profile

Layanan terus menerus di bawah 1.100 °C toleransi kelas gelembung yang lebih luas; operasi berkelanjutan di 1.200-1.300 °C, atau kecepatan ramping cepat dalam RTP dan epitaxy, membenarkan tingkat yang lebih ketat.Berikan kami suhu maksimum., waktu tinggal, jumlah siklus dan atmosfer (O)₂N.₂Steam dan layanan HCl adalah di mana OH rendah membayar kembali tercepat, karena keduanya mempercepat mode kegagalan hidroksi yang didorong sebelumnya.

Langkah 3 Mesin dengan bahan habis pakai yang tepat

Fused silika adalah rapuh dan notch-sensitive: tepi yang terpecah menjadi asal crack di bawah siklus termal.Setelah operasi grinding atau pengeboranSelain itu, bagian-bagian harus dipanaskan pada 1.150 ∼ 1.210 °C untuk meringankan stres yang diperkenalkan di permukaan.

Langkah 4 Clean, then verify the clean

Standard fab protocol: a controlled HF dip (5 ‰ 10 % for a short, timed immersion), overflow rinsing in deionized water to 18.2 MΩ·cm resistivity, then drying in filtered nitrogen. Standar fab protocol: a controlled HF dip (5 ‰ 10 % for a short, timed immersion), overflow rinsing in deionized water to 18.2 MΩ·cm resistivity, then drying in filtered nitrogen.Packing then matters as much as cleaning. Pengemasan kemudian penting seperti membersihkan.Setiap penanganan setelah membersihkan akan mengembalikan apa yang dihilangkan.

Langkah 5 Inspeksi Incoming yang bisa Anda pertahankan

Empat pengukuran mencakup sebagian besar protokol kualifikasi hidroksi oleh FTIR pada 2.73 μm terhadap sertifikat lot Bubble kelas dan ukuran distribusi oleh scan visual atau optik di bawah cahaya kolimasiMetallic impurities by ICP-MS pada sampel yang dicernaTermal ekspansi oleh dilatometer, jika bagian akan melihat ramps cepat.

Langkah 6 - Deploy into the real process

Dalam oksidasi dan difusi, silinder menjadi liner atau tabung dalam tungku horizontal atau vertikal yang berjalan 1.000-1.300 °C di bawah O₂N.₂Dalam epitaxy, bahan yang sama membentuk kendi lonceng dan perangkat keras injektor yang terkena kimia klorinasi pada tekanan rendah.₃dan SC-1 campuran di mana kemandulan kimia dan tingkat partikel rendah menumpahkan kedua masalah.dan koefisien ekspansi yang rendah melakukan pekerjaan struktural.Dalam optik, tubuh low-bubble diiris, diratakan dan dipoles menjadi jendela, wafer dan panduan cahaya.

Langkah 7: Rencanakan ritme replenishment

Dengan kapasitas 2.000 metrik ton per bulan dan pengiriman 30-45 hari,Model praktis adalah ramalan bergulir dengan stok keselamatan yang disesuaikan dengan interval penggantian tabung Anda.. L/C, D/A, D/P dan T/T terms allow the commercial structure to follow the operational one. Send drawings and a process description, and we will return a grade recommendation,a dimensional review and a quote..

5. FAQ

Q1. What does low OH mean in a quartz cylinder, and why does it matter?

OH mengacu pada kelompok silanol yang terikat ke dalam jaringan silika fused, diukur oleh FTIR dekat 2.73 μm dan dilaporkan dalam ppm.Low-OH grades hold hydroxyl far below the 150~400 ppm typical of standard fused quartz. Low-OH grades hold hydroxyl far below the 150~400 ppm typical of standard fused quartz, yang menekan pertumbuhan gelembung dan menunda nukleasi kristobalite selama layanan suhu tinggi dua mekanisme yang paling sering mengakhiri kehidupan tabung tungku.

Q2. Apa perbedaan antara PQ800E dan PQ800EH?

Keduanya adalah kelas silinder kuarsa alami OH rendah dari keluarga material yang sama, api-fused dari pasir kuarsa murni.The EH variant is supplied against a tighter internal control window on hydroxyl level and bubble density (Varian EH disediakan melawan jendela kontrol internal yang lebih ketat pada tingkat hidroksil dan kepadatan gelembung), untuk proses dengan ramps cepat atau kimia agresif. insinyur kami mengkonfirmasi tingkat yang tepat terhadap profil termal dan atmosfer Anda.

Q3. What are the MOQ, lead time and price terms?

Minimum order quantity is 50 kg, which supports engineering builds and pilot lines. Delivery runs 30~45 days on FOB Shanghai terms, with L/C, D/A, D/P and T/T all accepted. Capacity stands at 2,000 metric ton per month, jadi skala volume setelah kualifikasi tidak memerlukan rantai pasokan baru.

Q4. Sertifikasi dan dokumentasi apa yang datang dengan materi?

Pengiriman didokumentasikan untuk MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS, BV dan standar Intertek, dengan sertifikat analisis tingkat tinggi yang mencakup kandungan hidroksil, kemurnian dan sifat termal utama.Ini adalah dokumentasi yang diminta oleh sebagian besar kualifikasi fab dan audit EHS., dan itu dikeluarkan per lot daripada per tahun.

Q5. Dapatkah Anda memasok bagian mesin untuk gambar kami alih-alih silinder mentah?

Yes. Send the finished drawing with tolerances and we review machinability, draw direction and annealing requirements before quoting.210 °C; di mana geometri memungkinkan, kita lebih memilih untuk menetapkan dimensi kritis pada tahap tarik daripada menggiling mereka setelahnya.

Q6. What is the maximum service temperature you recommend?

Layanan terus menerus biasanya ditentukan hingga sekitar 1,100 ∼ 1,200 °C, dibatasi oleh titik ketegangan 1,110 °C di mana stabilitas dimensi dipertahankan.300 °C adalah mungkin dalam bersihPerlembatan terjadi pada 1,670 °C, yang merupakan suhu pembentukan, bukan suhu layanan.

6Kesimpulan

Low-OH natural quartz bukan barang komoditas; itu adalah sistem material terkontrol yang tingkat hidroksilnya,bubble population and metallic impurity profile menentukan how long a furnace tube lasts and how clean a wafer leaves the chamber (populasi gelembung dan profil kotoran logam menentukan berapa lama tabung tungku bertahan dan seberapa bersih wafer meninggalkan ruang). Sebuah tubuh kuarsa standar di 150-400 ppm OH akan bekerja untuk sementara waktu, kemudian devitrify, menumpahkan partikel dan sag biasanya di fab's paling nyaman kuartal.The low-OH route pushes that failure mode out by a measurable margin (Jalan rendah OH mendorong mode kegagalan itu keluar dengan margin yang dapat diukur), dengan dokumentasi yang bertahan dari audit.

PQ800E dan PQ800EH deliver that control with 6N purity, a 5.5 × 10^-7/°C koefisien ekspansi, titik ketegangan 1,110 °C, dan 2.000 metric ton kapasitas bulanan di belakang pesanan minimum 50 kg. Sampel, sertifikat lot dan harga volume datang dari rantai yang sama.

Langkah selanjutnya:Kirimkan gambar tabung, suhu proses maksimum dan atmosfer.a dimensional review and an FOB Shanghai quotation within two business days atau download the PQ quartz raw material catalogue and compare the full specification range before you commit.