낮은 OH 천연 석영 실린더공급은 모든 웨이퍼 팹 용량 증가 뒤에 숨어 있는 조용한 병목 현상이며, PQ 브랜드로 거래되는 Nantong Jingcai Precision은 현재 월간 용량 2,000미터톤, 최소 주문 수량 50kg, FOB 상하이 기준 리드 타임 30~45일의 PQ800E 및 PQ800EH 등급을 배송하고 있습니다. 두 등급 모두 고순도 천연 석영 모래를 화염 융합하여 고온 열 주기 동안 기포 핵 생성과 크리스토발석 성장을 제한하기 위해 수산기 함량을 의도적으로 억제합니다. 데이터시트 내용: 밀도 2.2 g/cm3, 열 전도성 2.28 W/m·K(1,000 °C 기준), 열팽창 계수 5.5 × 10-7/°C, 연화점 1,670°C, 어닐링점 1,210°C, 변형점 1,110°C. MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS, BV 및 Intertek 표준에 따라 문서화된 자재 배송은 깨끗하고 밀봉된 백, 마스터 상자 및 나무 상자에 포장되며 퍼니스 튜브, 보트, 로드, 확산 하드웨어 및 고급 광학 블랭크에 적합합니다.
천연 석영 실린더는 합성 실리콘 함유 가스가 아닌 자연 발생 고순도 석영 모래에서 용융된 용융 실리카의 고체 직원형 본체입니다. 두 경로는 서로 다른 불순물 지문, 서로 다른 수산기(OH) 수준 및 서로 다른 기포 집단을 생성하기 때문에 공정 엔지니어에게 이러한 구별이 중요합니다. 천연 석영은 원래 광석(알루미늄, 나트륨, 칼륨, 리튬, 칼슘 및 철)의 미량 특성을 백만분율에서 십억분율 수준으로 유지하는 반면, 합성 용융 실리카는 포함되지 않은 것으로 정의됩니다. 용광로 하드웨어의 경우 자연스러운 경로는 경제적으로 합리적인 경로입니다. 엔지니어링 작업은 그에 따른 것을 제어하는 것입니다.
하이드록실 함량이 정의 변수입니다. 용융 실리카의 OH는 유리 네트워크에 결합된 실라놀 그룹(Si-OH)으로 존재합니다. 이는 2.73 µm 근처에 중심을 둔 흡수대를 사용하여 푸리에 변환 적외선 분광법으로 비파괴적으로 측정되며 중량 기준 백만분율로 보고됩니다. 표준 용융 석영은 일반적으로 150~400ppm OH를 운반합니다. 낮은 OH 등급은 해당 기준치보다 훨씬 낮은 수준으로 유지되며 정확한 수치는 각 로트의 분석 인증서에 기록됩니다. PQ800E 및 PQ800EH 지정은 동일한 천연 석영 제품군의 두 가지 사양 등급을 식별하며 EH 변형은 기포 밀도 및 로트 간 반복성이 중요한 응용 분야를 위해 더 엄격한 내부 제어 창에 대해 제공됩니다. 최종 등급 선택은 카탈로그 기본값이 아닌 고객의 열 프로필을 기준으로 공정 엔지니어가 수행합니다.
3개의 열 기준점은 사용 시 재료의 작동 방식을 정의합니다. 그만큼변형점1,110°C는 내부 응력이 천천히 완화되는 온도입니다(점도는 10에 가깝습니다).14.5Pa·s)이며 영구적인 치수 안정성을 위한 실용적인 한도입니다. 그만큼어닐링 포인트1,210°C의 온도에서는 몇 달이 아닌 몇 분 만에 스트레스가 완화됩니다(점도는 10에 가깝습니다).13Pa·s), 가공 후 사용된 온도입니다. 그만큼연화점1,670°C에서 점성 흐름이 시작됩니다(점도는 10에 가깝습니다).7.6Pa·s)은 실린더가 튜브로 흡입되는 온도입니다. 5.5 × 10의 열팽창 계수-7/°C(붕규산 유리의 약 18분의 1)에 1,000°C에서 2.28W/m·K의 열전도도를 더하면 차가운 튜브가 뜨거운 영역에서 살아남을 수 있습니다.
순도는 SiO로 표현됩니다.2콘텐츠. 반도체 등급 재료는 99.9999%(6N)로 지정되며, 잔여 1ppm은 어떤 금속, 어떤 농도, 어떤 이동성 상태인지에 대한 상업적 주장이 존재하는 곳입니다.
| 재산 | 값 | 왜 중요한가요? |
|---|---|---|
| SiO2청정 | 99.9999%(6N) | 웨이퍼 처리를 위한 금속 오염 예산 |
| 밀도 | 2.2g/cm3 | 로트 일관성 및 자재 식별 |
| 열전도율(1,000°C) | 2.28W/m·K | 더 평평한 열 구배, 더 낮은 충격 스트레스 |
| 열팽창 계수 | 5.5×10-7/°C | 열충격 저항, 치수 안정성 |
| 연화점 | 1,670°C | 튜브 드로잉/성형 온도 |
| 어닐링 포인트 | 1,210℃ | 가공 후 응력 완화 |
| 변형점 | 1,110℃ | 치수 안정성을 위한 실용적인 천장 |
| MOQ / 용량 | 50kg / 2,000t/월 | 볼륨 램프를 통해 파일럿 빌드 |
| 배송/약관 | 30~45일, FOB 상하이 | 신용장, D/A, D/P, T/T |
구매자가 낮은 OH 사양을 선택하게 만드는 문제는 외관상의 문제가 아닙니다. 그것은 4,000시간 후에 구부러진 확산관, 유리질이 없는 내부 벽으로 추적되는 입자 이동, 또는 아무도 챔버에 할당할 수 없는 금속 오염으로 인해 폐기된 많은 웨이퍼로 도착합니다. 이러한 각 실패에는 유리측 메커니즘이 있으며 각각은 수산기 함량에 민감합니다.
1. 1,100~1,300°C에서의 실투 저항성.대략 1,150°C 이상에서 용융 실리카는 SiO의 결정 다형체인 크리스토발석의 핵을 생성하기 시작합니다.2- 표면과 기포 경계면에서. 크리스토발석은 주변 유리와 밀도와 열팽창이 다르기 때문에 변형으로 인해 미세 응력, 파편 및 미립자가 생성됩니다. 실라놀 그룹은 핵 생성을 위한 활성화 에너지를 낮추고 네트워크가 치밀해짐에 따라 수증기를 방출하여 내부에서 기포 성장을 촉진합니다. OH가 낮을수록 발병이 늦어지고 속도가 느려집니다. 즉, 적격 튜브 수명이 길어지고 예정된 교체 횟수가 줄어듭니다. 이것이 바로 구매자가 다음을 검색하는 이유입니다.낮은 수산기 융합 석영 실린더 공급 업체그들은 일반적으로 가격을 보고 쇼핑하지 않습니다. 그들은 실패 사이의 시간을 구매합니다.
2. ppb 수준의 오염 관리.나트륨과 리튬은 네트워크 수정자입니다. 실제 이동성을 가지고 유리 구조에 위치하며 열 바이어스에 따라 표면으로 이동하여 웨이퍼로 이동할 수 있습니다. 철, 구리 및 알루미늄은 장치 측면에서 원자당 더 나쁩니다. 제어된 알칼리 프로필을 갖춘 6N 천연 석영은 공장에 용광로 보트, 패들 및 튜브 라이너에 대한 방어 가능한 오염 예산과 감사 후에도 유지되는 인증서를 제공합니다. 관련 롱테일 질문 —확산로용 석영 실린더 금속 불순물 규격— 회의실에서 답변을 받기 전에 종이로 답변을 받습니다.
3. 열충격 및 처짐 성능.5.5×10-7/°C 팽창 계수는 주어진 온도 구배에 대해 매우 낮은 변형률을 의미하며, 1,000°C에서 2.28W/m·K 전도도는 처음부터 구배가 가파르게 되는 것을 방지합니다. 실질적인 이점은 800°C에서 로드인을 견디고, 1,200°C 공정 담금을 견디고, 20사이클 후에 둥근 튜브를 타원형 튜브로 바꾸는 누적 뒤틀림 없이 복귀하는 실린더입니다.
4. 보안 및 인증 속도를 제공합니다.원자재는 일정이 조용히 사라지는 곳입니다. 월간 용량 2,000미터톤, 파일럿 및 엔지니어링 구축을 지원하는 최소 주문 수량 50kg, 배송 기간 30~45일, 인증 경로 6개(MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS, BV, Intertek)는 구매 팀이 12개월의 공백 없이 두 번째 소스 자격을 얻을 수 있음을 의미합니다. L/C, D/A, D/P 및 T/T 결제에는 첫 번째 시험 주문부터 연간 계약까지의 범위가 포함됩니다. 구매자 벤치마킹을 위해고순도 석영 원료 가격라인다운 이벤트 비용에 비해 비교가 거의 이루어지지 않습니다.
용광로에 인접한 애플리케이션 추가: 에피택시 벨자, 산화 및 확산 라이너, HF 및 HNO를 처리하는 습식 벤치 탱크3동일한 저기포 본체가 광학적으로 마감 처리된 화학, 포토마스크 또는 렌즈 블랭크. 하나의 자재 플랫폼, 여러 자격 경로.
석영 실린더를 지정하는 것은 다운스트림 프로세스가 알려지면 간단해집니다. 아래 워크플로는 엔지니어링 팀이 샘플부터 생산까지 새로운 프로젝트를 지원하는 방식을 반영합니다.
PQ800E 및 PQ800EH는 다운스트림 드로잉, 보링 또는 슬라이싱에 적합한 크기의 실린더로 공급됩니다. 완성된 튜브 외경, 벽 두께 및 길이, 각 방향의 가공 여유를 명시합니다. 일반적인 확산 튜브는 3-5mm 벽과 150-300mm OD를 실행합니다. 벨병은 더 크고 얇을 수 있습니다. 재료가 연화점 1,670°C에서 인발되기 때문에 벽 동심도는 연삭이 아닌 인출 시 설정됩니다. 따라서 실린더 자체의 동심도와 활 공차에 따라 튜브의 형태가 결정됩니다.
1,100°C 미만에서 연속 서비스를 수행하면 더 넓은 기포 등급을 견딜 수 있습니다. 1,200~1,300°C에서 지속적인 작동 또는 RTP 및 에피택시의 빠른 램프 속도는 더 엄격한 등급을 정당화합니다. 최대 온도, 체류 시간, 사이클 수 및 대기(O2, N2, HCl, 증기). 증기 및 HCl 서비스는 낮은 OH가 가장 빨리 회수되는 곳입니다. 둘 다 앞서 설명한 수산기 구동 실패 모드를 가속화하기 때문입니다.
다이아몬드 툴링, 낮은 이송 속도 및 넉넉한 절삭유. 용융 실리카는 부서지기 쉽고 노치에 민감합니다. 부서진 가장자리는 열 순환 시 균열의 원인이 됩니다. 연삭 또는 드릴링 작업 후에는 표면에 발생하는 응력을 완화하기 위해 부품을 1,150~1,210°C에서 어닐링해야 합니다. 해당 어닐링을 건너뛰는 것이 반환된 샘플에서 볼 수 있는 현장 균열의 가장 일반적인 원인입니다.
표준 제조 프로토콜: 제어된 HF 담그기(짧은 시간에 담그는 경우 5~10%), 탈이온수에서 18.2MΩ·cm 저항률까지 오버플로 헹구고 여과된 질소에서 건조합니다. 포장은 청소만큼 중요합니다. 깨끗한 플라스틱 밀봉 백, 마스터 상자, 나무 상자 — 50kg 표준 팩에 사용된 것과 동일한 순서입니다. 청소 후 취급 시 헹굼으로 제거된 물질이 다시 발생합니다.
4가지 측정은 대부분의 인증 프로토콜을 포괄합니다. 로트 인증서에 대한 FTIR의 2.73 µm 하이드록실. 평행광 하에서 육안 또는 광학 스캔을 통한 기포 등급 및 크기 분포. 소화된 시료에 대한 ICP-MS의 금속 불순물은 단일 숫자가 아닌 원소별로 보고됩니다. 부품에 빠른 램프가 나타나는 경우 팽창계에 의한 열 팽창.
산화 및 확산에서 실린더는 O2 하에서 1,000~1,300°C로 작동하는 수평 또는 수직 용광로에서 라이너 또는 튜브가 됩니다.2, N2아니면 증기. 에피택시에서는 동일한 재료가 감압 상태에서 염소화 화학물질에 노출되는 벨병과 인젝터 하드웨어를 형성합니다. 젖은 벤치에서는 석영 탱크에 HF, HNO가 저장됩니다.3화학적 불활성과 낮은 입자 배출율이 모두 중요한 SC-1 혼합물. 급속 열 처리에서는 벽이 얇은 구성 요소가 몇 초 만에 1,000°C 상승을 보이며 낮은 팽창 계수가 구조적 작업을 수행합니다. 광학 분야에서는 기포가 적은 몸체를 얇게 썰고, 연마하고, 연마하여 창, 웨이퍼 및 광 가이드를 만듭니다.
석영 소모품은 일회성 구매가 아닌 반복 품목입니다. 월별 용량이 2,000미터톤이고 배송 기간이 30~45일인 실용적인 모델은 튜브 교체 간격에 맞는 안전 재고 규모를 갖춘 연속 예측입니다. L/C, D/A, D/P 및 T/T 조건을 사용하면 상업적 구조가 운영 구조를 따를 수 있습니다. 도면과 공정 설명을 보내주시면 등급 추천, 치수 검토, 견적을 보내드립니다.
OH는 융합 실리카 네트워크에 결합된 실라놀 그룹을 의미하며 FTIR로 2.73μm 근처에서 측정되고 ppm 단위로 보고됩니다. 낮은 OH 등급은 표준 용융 석영의 일반적인 150~400ppm보다 훨씬 낮은 수산기를 유지하여 기포 성장을 억제하고 고온 서비스 중 크리스토발석 핵 생성을 지연시킵니다. 이는 용광로 튜브의 수명을 가장 자주 종료시키는 두 가지 메커니즘입니다.
둘 다 동일한 재료 계열의 저OH 천연 석영 실린더 등급이며 고순도 석영 모래를 화염 융합합니다. EH 변형은 빠른 램프 또는 공격적인 화학 공정을 위해 수산기 수준 및 기포 밀도에 대한 더 엄격한 내부 제어 창에 대해 공급됩니다. 우리 엔지니어들은 귀하의 열 프로필과 대기에 맞는 등급을 확인합니다. 증기 산화 또는 HCl 서비스의 경우 EH 변형을 지정하십시오.
최소 주문 수량은 50kg이며 엔지니어링 빌드 및 파일럿 라인을 지원합니다. 배송은 FOB 상하이 조건으로 30~45일 소요되며 L/C, D/A, D/P 및 T/T가 모두 허용됩니다. 용량은 월 2,000미터톤이므로 검증 후 볼륨 확장에는 새로운 공급망이 필요하지 않습니다. 성적이 확정되면 롤링 예측 일정을 요청하세요.
배송은 수산기 함량, 순도 및 주요 열 특성을 다루는 로트 수준 분석 인증서와 함께 MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS, BV 및 Intertek 표준에 따라 문서화됩니다. 이는 대부분의 Fab 자격 및 EHS 감사에서 요구하는 문서 세트이며, 연간이 아닌 로트별로 발행됩니다.
예. 공차가 포함된 완성된 도면을 보내주시면 견적 전 기계 가공성, 연신 방향, 어닐링 요구 사항을 검토합니다. 가공된 표면은 1,150~1,210°C에서 응력 완화가 필요합니다. 형상이 허용하는 경우 나중에 그라인딩하는 것보다 그리기 단계에서 중요한 치수를 설정하는 것이 좋습니다. 사양에 어닐링 요구 사항을 포함합니다.
연속 서비스는 일반적으로 최대 약 1,100~1,200°C까지 지정되며 치수 안정성이 유지되는 변형점 1,110°C로 제한됩니다. 깨끗하고 건조한 대기에서는 1,300°C까지 짧은 온도 상승이 가능하지만 실투가 가속화되고 수명이 단축됩니다. 연화는 서비스 온도가 아닌 성형 온도인 1,670°C에서 발생합니다.
저-OH 천연 석영은 필수품 품목이 아닙니다. 이는 수산기 수준, 기포 밀도 및 금속 불순물 프로필에 따라 용광로 튜브의 지속 시간과 웨이퍼가 챔버에서 얼마나 깨끗한지 결정하는 제어된 재료 시스템입니다. 150~400ppm OH의 표준 용융 석영 본체는 한동안 작동한 다음 유리화되지 않고 입자를 흘리며 처짐 현상이 발생합니다. 일반적으로 제조실에서 가장 편리하지 않은 부분입니다. 낮은 OH 경로는 감사 후에도 유지되는 문서를 통해 해당 실패 모드를 측정 가능한 한계로 밀어냅니다.
PQ800E 및 PQ800EH는 6N 순도, 5.5 × 10-7/°C 팽창 계수, 1,110°C 변형점, 50kg 최소 주문에 따른 월간 용량 2,000미터톤. 샘플, 로트 인증서 및 볼륨 가격은 동일한 체인에서 제공됩니다.
다음 단계:튜브 도면, 최대 공정 온도 및 분위기를 보내주십시오. 영업일 기준 2일 이내에 등급 권장사항, 치수 검토 및 FOB 상하이 견적을 보내드립니다. 또는 PQ 석영 원자재 카탈로그를 다운로드하여 확정하기 전에 전체 사양 범위를 비교해 보세요.
낮은 OH 천연 석영 실린더공급은 모든 웨이퍼 팹 용량 증가 뒤에 숨어 있는 조용한 병목 현상이며, PQ 브랜드로 거래되는 Nantong Jingcai Precision은 현재 월간 용량 2,000미터톤, 최소 주문 수량 50kg, FOB 상하이 기준 리드 타임 30~45일의 PQ800E 및 PQ800EH 등급을 배송하고 있습니다. 두 등급 모두 고순도 천연 석영 모래를 화염 융합하여 고온 열 주기 동안 기포 핵 생성과 크리스토발석 성장을 제한하기 위해 수산기 함량을 의도적으로 억제합니다. 데이터시트 내용: 밀도 2.2 g/cm3, 열 전도성 2.28 W/m·K(1,000 °C 기준), 열팽창 계수 5.5 × 10-7/°C, 연화점 1,670°C, 어닐링점 1,210°C, 변형점 1,110°C. MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS, BV 및 Intertek 표준에 따라 문서화된 자재 배송은 깨끗하고 밀봉된 백, 마스터 상자 및 나무 상자에 포장되며 퍼니스 튜브, 보트, 로드, 확산 하드웨어 및 고급 광학 블랭크에 적합합니다.
천연 석영 실린더는 합성 실리콘 함유 가스가 아닌 자연 발생 고순도 석영 모래에서 용융된 용융 실리카의 고체 직원형 본체입니다. 두 경로는 서로 다른 불순물 지문, 서로 다른 수산기(OH) 수준 및 서로 다른 기포 집단을 생성하기 때문에 공정 엔지니어에게 이러한 구별이 중요합니다. 천연 석영은 원래 광석(알루미늄, 나트륨, 칼륨, 리튬, 칼슘 및 철)의 미량 특성을 백만분율에서 십억분율 수준으로 유지하는 반면, 합성 용융 실리카는 포함되지 않은 것으로 정의됩니다. 용광로 하드웨어의 경우 자연스러운 경로는 경제적으로 합리적인 경로입니다. 엔지니어링 작업은 그에 따른 것을 제어하는 것입니다.
하이드록실 함량이 정의 변수입니다. 용융 실리카의 OH는 유리 네트워크에 결합된 실라놀 그룹(Si-OH)으로 존재합니다. 이는 2.73 µm 근처에 중심을 둔 흡수대를 사용하여 푸리에 변환 적외선 분광법으로 비파괴적으로 측정되며 중량 기준 백만분율로 보고됩니다. 표준 용융 석영은 일반적으로 150~400ppm OH를 운반합니다. 낮은 OH 등급은 해당 기준치보다 훨씬 낮은 수준으로 유지되며 정확한 수치는 각 로트의 분석 인증서에 기록됩니다. PQ800E 및 PQ800EH 지정은 동일한 천연 석영 제품군의 두 가지 사양 등급을 식별하며 EH 변형은 기포 밀도 및 로트 간 반복성이 중요한 응용 분야를 위해 더 엄격한 내부 제어 창에 대해 제공됩니다. 최종 등급 선택은 카탈로그 기본값이 아닌 고객의 열 프로필을 기준으로 공정 엔지니어가 수행합니다.
3개의 열 기준점은 사용 시 재료의 작동 방식을 정의합니다. 그만큼변형점1,110°C는 내부 응력이 천천히 완화되는 온도입니다(점도는 10에 가깝습니다).14.5Pa·s)이며 영구적인 치수 안정성을 위한 실용적인 한도입니다. 그만큼어닐링 포인트1,210°C의 온도에서는 몇 달이 아닌 몇 분 만에 스트레스가 완화됩니다(점도는 10에 가깝습니다).13Pa·s), 가공 후 사용된 온도입니다. 그만큼연화점1,670°C에서 점성 흐름이 시작됩니다(점도는 10에 가깝습니다).7.6Pa·s)은 실린더가 튜브로 흡입되는 온도입니다. 5.5 × 10의 열팽창 계수-7/°C(붕규산 유리의 약 18분의 1)에 1,000°C에서 2.28W/m·K의 열전도도를 더하면 차가운 튜브가 뜨거운 영역에서 살아남을 수 있습니다.
순도는 SiO로 표현됩니다.2콘텐츠. 반도체 등급 재료는 99.9999%(6N)로 지정되며, 잔여 1ppm은 어떤 금속, 어떤 농도, 어떤 이동성 상태인지에 대한 상업적 주장이 존재하는 곳입니다.
| 재산 | 값 | 왜 중요한가요? |
|---|---|---|
| SiO2청정 | 99.9999%(6N) | 웨이퍼 처리를 위한 금속 오염 예산 |
| 밀도 | 2.2g/cm3 | 로트 일관성 및 자재 식별 |
| 열전도율(1,000°C) | 2.28W/m·K | 더 평평한 열 구배, 더 낮은 충격 스트레스 |
| 열팽창 계수 | 5.5×10-7/°C | 열충격 저항, 치수 안정성 |
| 연화점 | 1,670°C | 튜브 드로잉/성형 온도 |
| 어닐링 포인트 | 1,210℃ | 가공 후 응력 완화 |
| 변형점 | 1,110℃ | 치수 안정성을 위한 실용적인 천장 |
| MOQ / 용량 | 50kg / 2,000t/월 | 볼륨 램프를 통해 파일럿 빌드 |
| 배송/약관 | 30~45일, FOB 상하이 | 신용장, D/A, D/P, T/T |
구매자가 낮은 OH 사양을 선택하게 만드는 문제는 외관상의 문제가 아닙니다. 그것은 4,000시간 후에 구부러진 확산관, 유리질이 없는 내부 벽으로 추적되는 입자 이동, 또는 아무도 챔버에 할당할 수 없는 금속 오염으로 인해 폐기된 많은 웨이퍼로 도착합니다. 이러한 각 실패에는 유리측 메커니즘이 있으며 각각은 수산기 함량에 민감합니다.
1. 1,100~1,300°C에서의 실투 저항성.대략 1,150°C 이상에서 용융 실리카는 SiO의 결정 다형체인 크리스토발석의 핵을 생성하기 시작합니다.2- 표면과 기포 경계면에서. 크리스토발석은 주변 유리와 밀도와 열팽창이 다르기 때문에 변형으로 인해 미세 응력, 파편 및 미립자가 생성됩니다. 실라놀 그룹은 핵 생성을 위한 활성화 에너지를 낮추고 네트워크가 치밀해짐에 따라 수증기를 방출하여 내부에서 기포 성장을 촉진합니다. OH가 낮을수록 발병이 늦어지고 속도가 느려집니다. 즉, 적격 튜브 수명이 길어지고 예정된 교체 횟수가 줄어듭니다. 이것이 바로 구매자가 다음을 검색하는 이유입니다.낮은 수산기 융합 석영 실린더 공급 업체그들은 일반적으로 가격을 보고 쇼핑하지 않습니다. 그들은 실패 사이의 시간을 구매합니다.
2. ppb 수준의 오염 관리.나트륨과 리튬은 네트워크 수정자입니다. 실제 이동성을 가지고 유리 구조에 위치하며 열 바이어스에 따라 표면으로 이동하여 웨이퍼로 이동할 수 있습니다. 철, 구리 및 알루미늄은 장치 측면에서 원자당 더 나쁩니다. 제어된 알칼리 프로필을 갖춘 6N 천연 석영은 공장에 용광로 보트, 패들 및 튜브 라이너에 대한 방어 가능한 오염 예산과 감사 후에도 유지되는 인증서를 제공합니다. 관련 롱테일 질문 —확산로용 석영 실린더 금속 불순물 규격— 회의실에서 답변을 받기 전에 종이로 답변을 받습니다.
3. 열충격 및 처짐 성능.5.5×10-7/°C 팽창 계수는 주어진 온도 구배에 대해 매우 낮은 변형률을 의미하며, 1,000°C에서 2.28W/m·K 전도도는 처음부터 구배가 가파르게 되는 것을 방지합니다. 실질적인 이점은 800°C에서 로드인을 견디고, 1,200°C 공정 담금을 견디고, 20사이클 후에 둥근 튜브를 타원형 튜브로 바꾸는 누적 뒤틀림 없이 복귀하는 실린더입니다.
4. 보안 및 인증 속도를 제공합니다.원자재는 일정이 조용히 사라지는 곳입니다. 월간 용량 2,000미터톤, 파일럿 및 엔지니어링 구축을 지원하는 최소 주문 수량 50kg, 배송 기간 30~45일, 인증 경로 6개(MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS, BV, Intertek)는 구매 팀이 12개월의 공백 없이 두 번째 소스 자격을 얻을 수 있음을 의미합니다. L/C, D/A, D/P 및 T/T 결제에는 첫 번째 시험 주문부터 연간 계약까지의 범위가 포함됩니다. 구매자 벤치마킹을 위해고순도 석영 원료 가격라인다운 이벤트 비용에 비해 비교가 거의 이루어지지 않습니다.
용광로에 인접한 애플리케이션 추가: 에피택시 벨자, 산화 및 확산 라이너, HF 및 HNO를 처리하는 습식 벤치 탱크3동일한 저기포 본체가 광학적으로 마감 처리된 화학, 포토마스크 또는 렌즈 블랭크. 하나의 자재 플랫폼, 여러 자격 경로.
석영 실린더를 지정하는 것은 다운스트림 프로세스가 알려지면 간단해집니다. 아래 워크플로는 엔지니어링 팀이 샘플부터 생산까지 새로운 프로젝트를 지원하는 방식을 반영합니다.
PQ800E 및 PQ800EH는 다운스트림 드로잉, 보링 또는 슬라이싱에 적합한 크기의 실린더로 공급됩니다. 완성된 튜브 외경, 벽 두께 및 길이, 각 방향의 가공 여유를 명시합니다. 일반적인 확산 튜브는 3-5mm 벽과 150-300mm OD를 실행합니다. 벨병은 더 크고 얇을 수 있습니다. 재료가 연화점 1,670°C에서 인발되기 때문에 벽 동심도는 연삭이 아닌 인출 시 설정됩니다. 따라서 실린더 자체의 동심도와 활 공차에 따라 튜브의 형태가 결정됩니다.
1,100°C 미만에서 연속 서비스를 수행하면 더 넓은 기포 등급을 견딜 수 있습니다. 1,200~1,300°C에서 지속적인 작동 또는 RTP 및 에피택시의 빠른 램프 속도는 더 엄격한 등급을 정당화합니다. 최대 온도, 체류 시간, 사이클 수 및 대기(O2, N2, HCl, 증기). 증기 및 HCl 서비스는 낮은 OH가 가장 빨리 회수되는 곳입니다. 둘 다 앞서 설명한 수산기 구동 실패 모드를 가속화하기 때문입니다.
다이아몬드 툴링, 낮은 이송 속도 및 넉넉한 절삭유. 용융 실리카는 부서지기 쉽고 노치에 민감합니다. 부서진 가장자리는 열 순환 시 균열의 원인이 됩니다. 연삭 또는 드릴링 작업 후에는 표면에 발생하는 응력을 완화하기 위해 부품을 1,150~1,210°C에서 어닐링해야 합니다. 해당 어닐링을 건너뛰는 것이 반환된 샘플에서 볼 수 있는 현장 균열의 가장 일반적인 원인입니다.
표준 제조 프로토콜: 제어된 HF 담그기(짧은 시간에 담그는 경우 5~10%), 탈이온수에서 18.2MΩ·cm 저항률까지 오버플로 헹구고 여과된 질소에서 건조합니다. 포장은 청소만큼 중요합니다. 깨끗한 플라스틱 밀봉 백, 마스터 상자, 나무 상자 — 50kg 표준 팩에 사용된 것과 동일한 순서입니다. 청소 후 취급 시 헹굼으로 제거된 물질이 다시 발생합니다.
4가지 측정은 대부분의 인증 프로토콜을 포괄합니다. 로트 인증서에 대한 FTIR의 2.73 µm 하이드록실. 평행광 하에서 육안 또는 광학 스캔을 통한 기포 등급 및 크기 분포. 소화된 시료에 대한 ICP-MS의 금속 불순물은 단일 숫자가 아닌 원소별로 보고됩니다. 부품에 빠른 램프가 나타나는 경우 팽창계에 의한 열 팽창.
산화 및 확산에서 실린더는 O2 하에서 1,000~1,300°C로 작동하는 수평 또는 수직 용광로에서 라이너 또는 튜브가 됩니다.2, N2아니면 증기. 에피택시에서는 동일한 재료가 감압 상태에서 염소화 화학물질에 노출되는 벨병과 인젝터 하드웨어를 형성합니다. 젖은 벤치에서는 석영 탱크에 HF, HNO가 저장됩니다.3화학적 불활성과 낮은 입자 배출율이 모두 중요한 SC-1 혼합물. 급속 열 처리에서는 벽이 얇은 구성 요소가 몇 초 만에 1,000°C 상승을 보이며 낮은 팽창 계수가 구조적 작업을 수행합니다. 광학 분야에서는 기포가 적은 몸체를 얇게 썰고, 연마하고, 연마하여 창, 웨이퍼 및 광 가이드를 만듭니다.
석영 소모품은 일회성 구매가 아닌 반복 품목입니다. 월별 용량이 2,000미터톤이고 배송 기간이 30~45일인 실용적인 모델은 튜브 교체 간격에 맞는 안전 재고 규모를 갖춘 연속 예측입니다. L/C, D/A, D/P 및 T/T 조건을 사용하면 상업적 구조가 운영 구조를 따를 수 있습니다. 도면과 공정 설명을 보내주시면 등급 추천, 치수 검토, 견적을 보내드립니다.
OH는 융합 실리카 네트워크에 결합된 실라놀 그룹을 의미하며 FTIR로 2.73μm 근처에서 측정되고 ppm 단위로 보고됩니다. 낮은 OH 등급은 표준 용융 석영의 일반적인 150~400ppm보다 훨씬 낮은 수산기를 유지하여 기포 성장을 억제하고 고온 서비스 중 크리스토발석 핵 생성을 지연시킵니다. 이는 용광로 튜브의 수명을 가장 자주 종료시키는 두 가지 메커니즘입니다.
둘 다 동일한 재료 계열의 저OH 천연 석영 실린더 등급이며 고순도 석영 모래를 화염 융합합니다. EH 변형은 빠른 램프 또는 공격적인 화학 공정을 위해 수산기 수준 및 기포 밀도에 대한 더 엄격한 내부 제어 창에 대해 공급됩니다. 우리 엔지니어들은 귀하의 열 프로필과 대기에 맞는 등급을 확인합니다. 증기 산화 또는 HCl 서비스의 경우 EH 변형을 지정하십시오.
최소 주문 수량은 50kg이며 엔지니어링 빌드 및 파일럿 라인을 지원합니다. 배송은 FOB 상하이 조건으로 30~45일 소요되며 L/C, D/A, D/P 및 T/T가 모두 허용됩니다. 용량은 월 2,000미터톤이므로 검증 후 볼륨 확장에는 새로운 공급망이 필요하지 않습니다. 성적이 확정되면 롤링 예측 일정을 요청하세요.
배송은 수산기 함량, 순도 및 주요 열 특성을 다루는 로트 수준 분석 인증서와 함께 MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS, BV 및 Intertek 표준에 따라 문서화됩니다. 이는 대부분의 Fab 자격 및 EHS 감사에서 요구하는 문서 세트이며, 연간이 아닌 로트별로 발행됩니다.
예. 공차가 포함된 완성된 도면을 보내주시면 견적 전 기계 가공성, 연신 방향, 어닐링 요구 사항을 검토합니다. 가공된 표면은 1,150~1,210°C에서 응력 완화가 필요합니다. 형상이 허용하는 경우 나중에 그라인딩하는 것보다 그리기 단계에서 중요한 치수를 설정하는 것이 좋습니다. 사양에 어닐링 요구 사항을 포함합니다.
연속 서비스는 일반적으로 최대 약 1,100~1,200°C까지 지정되며 치수 안정성이 유지되는 변형점 1,110°C로 제한됩니다. 깨끗하고 건조한 대기에서는 1,300°C까지 짧은 온도 상승이 가능하지만 실투가 가속화되고 수명이 단축됩니다. 연화는 서비스 온도가 아닌 성형 온도인 1,670°C에서 발생합니다.
저-OH 천연 석영은 필수품 품목이 아닙니다. 이는 수산기 수준, 기포 밀도 및 금속 불순물 프로필에 따라 용광로 튜브의 지속 시간과 웨이퍼가 챔버에서 얼마나 깨끗한지 결정하는 제어된 재료 시스템입니다. 150~400ppm OH의 표준 용융 석영 본체는 한동안 작동한 다음 유리화되지 않고 입자를 흘리며 처짐 현상이 발생합니다. 일반적으로 제조실에서 가장 편리하지 않은 부분입니다. 낮은 OH 경로는 감사 후에도 유지되는 문서를 통해 해당 실패 모드를 측정 가능한 한계로 밀어냅니다.
PQ800E 및 PQ800EH는 6N 순도, 5.5 × 10-7/°C 팽창 계수, 1,110°C 변형점, 50kg 최소 주문에 따른 월간 용량 2,000미터톤. 샘플, 로트 인증서 및 볼륨 가격은 동일한 체인에서 제공됩니다.
다음 단계:튜브 도면, 최대 공정 온도 및 분위기를 보내주십시오. 영업일 기준 2일 이내에 등급 권장사항, 치수 검토 및 FOB 상하이 견적을 보내드립니다. 또는 PQ 석영 원자재 카탈로그를 다운로드하여 확정하기 전에 전체 사양 범위를 비교해 보세요.
