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Plasma Etching Quartz Ring PQ811E Ground Cover Ring for HTD ESC Chamber
| MOQ: | 30eaまたは交渉可能 |
| 価格: | FOB Shanghai |
| standard packaging: | きれいなプラスチックの密封袋 + 青い段ボール箱 + マスター カートン |
| Delivery period: | 30～45日 |
| 支払方法: | T/T、L/C、D/A、D/P |
| Supply Capacity: | 1000ea/月 |
詳細情報
起源の場所
南通市、江蘇の陶磁器
ブランド名
JC
証明
MSDS, Rohs, REACH, ISO, GS, BV, Intertek
モデル番号
ETCH-046
仕様:
Φ349.45×Φ331.67×10.26mm
材料:
半導体グレードの PQ811E 溶融石英
許容範囲:
±0.01mm
表面処理:
グランドとラップ仕上げ
クリーニング:
クラス100の化学洗浄
応用:
HTD ESC プラズマ エッチング チャンバー
ハイライト:
Plasma Etching Quartz Ring
,HTD ESC Ground Cover Ring
,PQ811E Fused Quartz Ring
製品の説明
The Plasma Etching Quartz Ring presented here is a precision ground cover ring engineered for HTD electrostatic chuck (ESC) etching chambers. Fabricated from semiconductor-grade PQ811E fused quartz, this ring shields the wafer edge and the surrounding chamber hardware from reactive plasma while maintaining dimensional stability throughout long etch campaigns. Manufactured in an ISO-controlled facility and finished with Class 100 chemical cleaning, the ring delivers the low
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