إنتاج كميات كبيرة من الـ EUV عالي الجودة حجر الأساس يرفع شريطًا للقناع الصوتي الكوارتز الصناعي

1. معلم الصناعة: High-NA EUV يدخل الإنتاج الضخم

في 15 يوليو 2026، أصبحت Intel Foundry أول شركة مصنعة تقوم بشحن شرائح منطقية كبيرة الحجم مصنوعة باستخدام تقنية ASML's High-NA EUV على عقدة المعالجة 18A الخاصة بها. مع تحول أنظمة High-NA من البحث والتطوير إلى التصنيع الضخم، تواجه ركائز قناع الكوارتز الاصطناعي متطلبات أداء أعلى بشكل حاد. بالنسبة للعقد دون 2 نانومتر، تحدد خصائص المادة الفارغة للقناع بشكل مباشر دقة الزخرفة ودقة التراكب وإنتاجية الرقاقة النهائية.

نموذج قناع كيرشوف ثلاثي الأبعاد وصارم: EUV

2. متطلبات أكثر صرامة لركائز قناع NA العالي

بالمقارنة مع أدوات 0.33NA EUV القياسية، توفر أنظمة High-NA دقة أعلى بنسبة 70% تقريبًا، مع فرض متطلبات أكثر صرامة على فراغات القناع:

• CTE منخفض جدًا: تعمل كثافة طاقة الأشعة فوق البنفسجية الأعلى على زيادة الضغط الحراري. يعد التمدد الحراري القريب من الصفر أمرًا بالغ الأهمية لتجنب تغيير النمط وأخطاء التراكب.

• دقة السطح على المستوى الذري: يلزم تحقيق التسطيح الشديد والتجانس البصري لمنع الانحراف الحرج في الأبعاد وتدهور التصوير.

• عيوب داخلية قريبة من الصفر: تنتقل الشوائب أو الفقاعات التي تقل عن الميكرون مباشرة إلى الرقائق باعتبارها عيوبًا قاتلة، مما يجعل الجودة الخالية من العيوب أمرًا إلزاميًا.

3. ركائز الكوارتز الضوئية عالية NA الجاهزة مقاس 6.6 بوصة

توفر شركة Nantong Jingcai Precision ركائز قناع ضوئي من الكوارتز الاصطناعي مقاس 6.6 بوصة تم تصميمها وفقًا لمواصفات High-NA:

• قاعدة سيليكا منصهرة اصطناعية عالية النقاء، CTE منخفضة للغاية، نفاذية أكبر من 99% عبر نطاقات DUV/EUV

• تسطيح كامل السطح في حدود 1 ميكرومتر، مع التحكم الدقيق في خشونة السطح والضغط الداخلي

• يقلل الفحص متعدد المراحل من الفقاعات الداخلية والشوائب من أجل نقل النمط بشكل موثوق

• متوافق مع SEMI، ومتوافق تمامًا مع ماسحات الأقنعة السائدة في جميع أنحاء العالم

ومن خلال سلاسل التوريد المتكاملة، فإننا ندعم أيضًا المواصفات المخصصة للبحث والتطوير والخطوط التجريبية. للحصول على الاستشارة الفنية أو تقييم العينة، اتصل بفريقنا الخارجي: javier.lu@ztt.cn