হাই-এনএ ইইউভি ভর উত্পাদন সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ফটোমাস্ক সাবস্ট্র্যাটের জন্য মাইলস্টোন লিফট বার

1. শিল্প মাইলফলক: উচ্চ-এনএ ইইউভি ব্যাপক উৎপাদনে প্রবেশ করেছে

15 জুলাই, 2026-এ, ইন্টেল ফাউন্ড্রি তার 18A প্রসেস নোডে ASML-এর High-NA EUV প্রযুক্তি দিয়ে তৈরি উচ্চ-ভলিউম লজিক চিপ পাঠানোর প্রথম নির্মাতা হয়ে ওঠে। যেহেতু হাই-এনএ সিস্টেমগুলি R&D থেকে ভর উত্পাদনে স্থানান্তরিত হয়, সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ফটোমাস্ক সাবস্ট্রেটগুলি তীব্রভাবে উচ্চতর কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তার মুখোমুখি হয়। সাব-2nm নোডের জন্য, মাস্ক ফাঁকা উপাদান বৈশিষ্ট্য সরাসরি প্যাটার্নিং নির্ভুলতা, ওভারলে নির্ভুলতা এবং চূড়ান্ত ওয়েফার ফলন নির্ধারণ করে।

Kirchhoff-টাইপ এবং কঠোর 3D মাস্ক মডেলিং: EUV

2. উচ্চ-এনএ মাস্ক সাবস্ট্রেটের জন্য আরও কঠিন প্রয়োজনীয়তা

স্ট্যান্ডার্ড 0.33NA EUV টুলের সাথে তুলনা করে, হাই-এনএ সিস্টেমগুলি ~70% বেশি রেজোলিউশন প্রদান করে, যেখানে মাস্ক ব্ল্যাঙ্কগুলিতে আরও কঠোর চাহিদা আরোপ করা হয়:

• অতি-নিম্ন CTE: উচ্চতর EUV শক্তির ঘনত্ব তাপীয় চাপকে প্রশস্ত করে। প্যাটার্ন স্থানান্তর এবং ওভারলে ত্রুটিগুলি এড়াতে শূন্যের কাছাকাছি তাপ সম্প্রসারণ গুরুত্বপূর্ণ।

• পারমাণবিক-স্তরের পৃষ্ঠের নির্ভুলতা: সমালোচনামূলক মাত্রা বিচ্যুতি এবং ইমেজিং অবক্ষয় রোধ করতে চরম সমতলতা এবং অপটিক্যাল একজাতীয়তা প্রয়োজন।

• কাছাকাছি-শূন্য অভ্যন্তরীণ ত্রুটি: সাব-মাইক্রন অন্তর্ভুক্তি বা বুদবুদগুলি মারাত্মক ত্রুটি হিসাবে সরাসরি ওয়েফারগুলিতে স্থানান্তরিত হয়, শূন্য-ত্রুটি গুণমানকে বাধ্যতামূলক করে।

3. হাই-এনএ রেডি 6.6-ইঞ্চি ফটোমাস্ক কোয়ার্টজ সাবস্ট্রেটস

Nantong Jingcai Precision উচ্চ-NA স্পেসিফিকেশনের জন্য নির্মিত 6.6-ইঞ্চি সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ফটোমাস্ক সাবস্ট্রেট অফার করে:

• উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিন্থেটিক ফিউজড সিলিকা বেস, অতি-নিম্ন CTE, >99% DUV/EUV ব্যান্ড জুড়ে ট্রান্সমিট্যান্স

• পৃষ্ঠের রুক্ষতা এবং অভ্যন্তরীণ চাপের কঠোর নিয়ন্ত্রণ সহ 1μm এর মধ্যে পূর্ণ-পৃষ্ঠ সমতলতা

• মাল্টি-স্টেজ পরিদর্শন নির্ভরযোগ্য প্যাটার্ন স্থানান্তরের জন্য অভ্যন্তরীণ বুদবুদ এবং অন্তর্ভুক্তি হ্রাস করে

• আধা-সঙ্গতিপূর্ণ, বিশ্বব্যাপী মূলধারার মাস্ক স্ক্যানারগুলির সাথে সম্পূর্ণ সামঞ্জস্যপূর্ণ

সমন্বিত আপস্ট্রিম সাপ্লাই চেইনের সাথে, আমরা R&D এবং পাইলট লাইনের জন্য কাস্টম স্পেসিফিকেশন সমর্থন করি। প্রযুক্তিগত পরামর্শ বা নমুনা মূল্যায়নের জন্য, আমাদের বিদেশী দলের সাথে যোগাযোগ করুন: javier.lu@ztt.cn