Les semi-conducteurs de haute pureté Le quartz constitue la base de pureté des chambres de gravure sous 7 nm

1. Résumé

Le quartz de semi-conducteurs de haute pureté est devenu un matériau de base irremplaçable pour les composants de chambre dans la fabrication de plaquettes avancées sous 7 nm,Le rétrécissement des nœuds soulève des exigences strictes en matière de propreté pourgravure au plasmaComme le soulignent les principaux rapports de processus de fabrication, même des traces d'impuretés métalliques peuvent causer des défauts mortels des plaquettes et des baisses de rendement rapides.sa nécessité pour le contrôle de la pureté de la chambre, et des applications typiques dans les équipements de gravure haut de gamme.

Intérieur de la chambre de gravure au plasma à semi-conducteurs pour la fabrication avancée de plaquettes

2Quoi?

Le quartz de haute pureté pour l'utilisation dans les semi-conducteurs, en particulier la silice fusionnée synthétique, est un matériau inorganique ultra-propre traité par fusion à haute purification et usinage de précision.Il présente une teneur en impuretés métalliques de niveau ppb, une excellente isolation diélectrique et des propriétés physiques stables à haute température et une érosion plasmique soutenue, servant de matériau standard pour les consommables de la chambre de gravure au plasma.

3Pourquoi?

Les composants de quartz de haute pureté sont essentiels pour les lignes de procédés sous 7 nm pour quatre raisons principales.
Tout d'abord, la précipitation à impuretés très faibles évite efficacement la contamination par des ions métalliques sur les surfaces des plaquettes,qui est essentiel pour maintenir un rendement élevé aux nœuds avancés selon les directives de fabrication de l'industrie.
Deuxièmement, la résistance exceptionnelle au plasma à la corrosion réduit la perte de particules et prolonge la durée de vie des composants, ce qui réduit les temps d'arrêt de maintenance non planifiés de la chambre.
Troisièmement, le coefficient de dilatation thermique minimal assure une stabilité dimensionnelle sous les fluctuations de température, garantissant une précision de gravure constante.
Quatrièmement, l'isolation électrique stable aide à maintenir une distribution uniforme du champ de plasma à l'intérieur de la chambre de réaction.

4Comment?

Ringe de couverture de quartz synthétique de haute pureté pour une gaufre de 12 pouces

Dans les procédés de gravure à sec par plasma CCP pour des plaquettes de 12 pouces, les composants en quartz tels que les anneaux de couverture sont directement exposés à un plasma à haute densité et à des gaz de processus corrosifs,agissant comme barrière de pureté entre les parois de la chambre et les zones de traitement des plaquettesLa pureté du matériau détermine directement le niveau de pureté de base de la chambre de réaction.Rings de couverture en quartz synthétique de haute puretéest conçu pour les procédés de gravure à sec par plasma CCP sur des plaquettes de 12 pouces,Fabriqué avec du quartz synthétique de qualité supérieure et un nettoyage chimique de classe 100 pour satisfaire pleinement aux exigences strictes en matière de pureté de la fabrication avancée sous 7 nm.

5. FAQ

Q1: Pourquoi le quartz de haute pureté est-il essentiel pour les processus de semi-conducteurs sous 7 nm?
Le quartz de haute pureté minimise les précipitations ioniques et les particules pour prévenir les défauts de la gaufre et la perte de rendement.

Q2: Quelle est la différence entre le quartz semi-conducteur naturel et synthétique?
Le quartz synthétique a une pureté plus élevée et moins de défauts internes, ce qui le rend plus approprié pour les nœuds avancés avec des exigences de propreté plus strictes.

Q3: Quelles pièces communes de la chambre de gravure au plasma sont faites de quartz de haute pureté?
Les produits typiques sont les anneaux de couverture, les anneaux de bord, les anneaux de mise au point et les revêtements de chambre, tous utilisés pour stabiliser les processus et protéger les structures de chambre.

Q4: Quelles normes de nettoyage sont remplies par vos pièces en quartz de semi-conducteurs?
Tous les produits de qualité semi-conducteurs sont soumis à un nettoyage chimique de classe 100 pour se conformer aux spécifications d'utilisation standard des salles blanches de fabrication.

Q5: Offrez-vous un usinage personnalisé pour les composants de la chambre en quartz?
Oui, nous fournissons une production entièrement personnalisée basée sur les dessins techniques du client, le matériel de support et les ajustements dimensionnels.

Q6: Comment le matériel de quartz soutient-il le maintien à long terme de la pureté de la chambre?
Le quartz de haute pureté ne libère presque aucun contaminant et sa résistance à la corrosion réduit la production de particules lors d'un fonctionnement à long terme.

6Conclusion

Le quartz de semi-conducteurs de haute pureté est le matériau de base qui garantit la propreté de la chambre et la stabilité du processus pour la production avancée de gravure plasmatique de plaquettes sous 7 nm.La sélection de composants de quartz synthétique de qualité semi-conducteur réduit directement les risques de contamination et améliore le rendement de production à long terme. Si vous avez besoin de devis de produits, de conception de solutions personnalisées ou de consultation technique pour les pièces de chambre en quartz, veuillez contacter notre équipe professionnelle par e-mail:Je vous en prie..