نیمه هادی های خالص کوارتز پایه خالص برای اتاق های حکاکی وفر زیر 7nm را تشکیل می دهد

1خلاصه

کوارتز نيمه هدايت كننده ي با طهارت بالا به ماده ي پايه اي غيرقابل تعويض براي قطعات اتاقي در توليد پيشرفته وافرهاي زير 7 نانوميتر تبديل شده استاز آنجا که کوچک شدن گره ها الزامات سختگیرانه ای را برای تمیز کردننقاشی پلاسماهمانطور که در گزارش های فرآیند تولید برجسته برجسته شده است، حتی ناخالصی های فلزی ردیابی می تواند باعث نقص های کشنده و کاهش چشمگیر بهره وری شود. این مقاله ویژگی های مواد کوارتز را توضیح می دهد،لزوم آن برای کنترل خلاء اتاق، و کاربردهای معمول در تجهیزات حکاکی پیشرفته.

داخل اتاق حکاکی پلاسمای نیمه هادی برای تولید پیشرفته وافره

2چي شده؟

کوارتز خالص برای استفاده از نیمه هادی، به ویژه سیلیس فیوز شده مصنوعی، یک ماده غیر ارگانیک بسیار تمیز است که از طریق ذوب و ماشینکاری دقیق پردازش می شود.حاوی ناخالصی های فلزی در سطح ppb است.، عایق دی الکتریک عالی و خواص فیزیکی پایدار در زیر دمای بالا و فرسایش پلاسما پایدار، به عنوان یک ماده استاندارد برای مصرف کننده های اتاق حکاکی پلاسما هسته ای استفاده می شود.

3چرا؟

اجزای کوارتز با خلوص بالا برای خطوط فرعی فرای 7 نانومتری به چهار دلیل اصلی ضروری هستند.
اول، بارندگی های بسیار کم آلودگی به طور موثر از آلودگی یون های فلزی در سطوح وافره جلوگیری می کند،که برای حفظ بهره وری بالا در گره های پیشرفته بر اساس دستورالعمل های تولید صنعت ضروری است..
دوم، مقاومت خارق العاده در برابر خوردگی پلاسما باعث کاهش ریزش ذرات می شود و طول عمر خدمت قطعات را افزایش می دهد و زمان توقف نگهداری غیر برنامه ریزی شده اتاق را کاهش می دهد.
سوم، حداقل ضریب انبساط حرارتی ثبات ابعاد را در معرض نوسانات دما تضمین می کند و دقت ثابت حکاکی را تضمین می کند.
چهارم، عایق الکتریکی پایدار به حفظ توزیع یکنواخت میدان پلاسما در داخل اتاق واکنش کمک می کند.

4چطور؟

حلقه پوشش کوارتز سنتيکي با طهارت بالا براي 12 اينچ ويفر CCP پلازما خشك

در فرآیندهای حکاکی خشک پلاسما CCP برای وافرهای 12 اینچی، اجزای کوارتزی مانند حلقه های پوشش به طور مستقیم در معرض پلاسما با تراکم بالا و گاز های فرآوری خوردنی قرار می گیرند.که به عنوان یک موانع خلوص بین دیواره های اتاق و مناطق پردازش وافر عمل می کند. خلوص مواد به طور مستقیم سطح پاکسازی اولیه کل اتاق واکنش را تعیین می کند.حلقه پوشش کوارتز مصنوعی با خلوص بالابرای فرآیند های خیس کردن خشک پلاسمای CCP 12 اینچی طراحی شده است،با کوارتز مصنوعی برتر و تمیز کردن شیمیایی کلاس 100 تولید شده است تا به طور کامل نیازهای خالص دقیق تولید پیشرفته زیر 7nm را برآورده کند.

5سوالات عمومی

سوال 1: چرا کوارتز با خلوص بالا برای فرایندهای نیمه هادی زیر 7 نانومیتر حیاتی است؟
گره های زیر 7 نانومیتر تحمل آلودگی بسیار پایین دارند. کوارتز با خلوص بالا بارش یون ها و ریزش ذرات را به حداقل می رساند تا از نقص های وفر و از دست دادن بهره جلوگیری شود.

سوال2: تفاوت بین کوارتز نیمه هادی طبیعی و مصنوعی چیست؟
کوارتز مصنوعی دارای خلوص بالاتر و نقایص داخلی کمتری است، که آن را برای گره های پیشرفته با الزامات سختگیرانه تر تمیز کردن مناسب تر می کند.

س3: کدام قطعات رایج اتاق حکاکی پلاسما از کوارتز با خلوص بالا ساخته شده اند؟
محصولات معمول شامل حلقه های پوشش، حلقه های لبه، حلقه های تمرکز و پوشش اتاق است که همه برای ثبات فرآیندها و محافظت از سازه های اتاق استفاده می شوند.

سوال 4: اجزای کوارتز نیمه هادی شما به چه استانداردی برای تمیز کردن پاسخ می دهند؟
تمام محصولات درجه نیمه هادی تحت تمیز کردن شیمیایی کلاس 100 قرار می گیرند تا با مشخصات استاندارد استفاده از اتاق تمیز کارخانه مطابقت داشته باشند.

Q5: آیا شما ارائه ماشینکاری سفارشی برای قطعات اتاق کوارتز؟
بله، ما تولید کاملا سفارشی را بر اساس نقشه های فنی مشتری، مواد پشتیبانی و تنظیم ابعاد ارائه می دهیم.

س6: چگونه مواد کوارتز از حفظ طهارت اتاق در دراز مدت پشتیبانی می کنند؟
کوارتز خالص تقریباً هیچ آلاینده ای را منتشر نمی کند و مقاومت آن در برابر خوردگی باعث کاهش تولید ذرات در طول کار طولانی مدت می شود.

6نتیجه گیری

کوارتز نیمه هادی با خلوص بالا ماده پایه ای است که تمیز اتاق و ثبات فرآیند را برای تولید ابریزه ای پلاسمایی پیشرفته زیر 7nm تضمین می کند.انتخاب قطعات کوارتز مصنوعی درجه نیمه هادی به طور مستقیم خطرات آلودگی را کاهش می دهد و بهره وری تولید را در دراز مدت بهبود می بخشد. اگر شما نیاز به نقل قول محصول، طراحی راه حل سفارشی یا مشاوره فنی برای قطعات اتاق کوارتز، لطفا با تیم حرفه ای ما از طریق ایمیل تماس بگیرید:javier.lu@ztt.cn.