Yüksek Saflıklı Yarım iletkenler Kuvars, Sub-7nm Wafer Etching Chambers için Saflık Temelini Oluşturur

1. Özet

Yüksek saflıklı yarı iletkenler kuvars, 7nm altındaki gelişmiş wafer üretiminde oda bileşenleri için yedeklenemez bir temel malzeme haline geldi.Düğümlerin küçülmesi, temizlik için sıkı gereksinimleri arttırır.plazma kazımıBu makalede kuvars malzemesinin özellikleri açıklanıyor,Oda saflığı kontrolü için gerekliliği, ve yüksek kaliteli kazım ekipmanlarında tipik uygulamalar.

Gelişmiş levha üretimi için yarı iletkenli plazma kazma odası içi

2Ne oldu?

Yarım iletkenler için, özellikle sentetik erimiş silikon için kullanılan yüksek saflıklı kuvars, yüksek arındırma erimiş ve hassas işleme ile işlenen ultra temiz bir inorganik malzemedir.ppb düzeyinde metal kirlilik içeriği vardır., mükemmel dielektrik yalıtım ve yüksek sıcaklıklarda ve plazma erozyonunda istikrarlı fiziksel özellikler, çekirdek plazma kazma odası tüketim malzemeleri için standart bir malzeme olarak hizmet eder.

3Neden?

Yüksek saflıklı kuvars bileşenleri, dört temel nedenden dolayı 7nm alt süreç hatları için gereklidir.
Birincisi, ultra düşük kirlilik yağışı, wafer yüzeylerinde metal iyon kirliliğini etkili bir şekilde önler.endüstri üretim kılavuzlarına göre gelişmiş düğümlerde yüksek verimi korumak için kritik olan.
İkincisi, olağanüstü plazma korozyon direnci, parçacık dökülmesini azaltır ve bileşen hizmet ömrünü uzatır, planlanmamış oda bakım zamanını azaltır.
Üçüncüsü, minimum termal genişleme katsayısı, sıcaklık dalgalanmaları altında boyutsal istikrarı sağlar ve tutarlı kazım hassasiyetini garanti eder.
Dördüncüsü, istikrarlı elektrik yalıtımı, reaksiyon odası içinde tekdüze plazma alanı dağılımını sürdürmeye yardımcı olur.

4- Nasıl?

Yüksek Saflıklı Sentetik Kuvars Kapak Yüzüğü 12 Inç Wafer CCP Plazma Kuru Çizim için

12 inç waferler için CCP plazma kuru kazım süreçlerinde, kapak halkaları gibi kuvars bileşenleri yüksek yoğunluklu plazma ve koroziv süreç gazlarına doğrudan maruz kalır.Oda duvarları ile wafer işleme alanları arasında saflık bariyeri olarak hareket ederMalzemenin saflığı doğrudan tüm reaksiyon odasının temel temizlik seviyesini belirler.Yüksek saflıklı sentetik kuvars kapak halkası12 inç wafer CCP plazma kuru kazma işlemleri için tasarlanmıştır,Yüksek kaliteli sentetik kuvars ve sınıf 100 kimyasal temizlik ile üretilmiştir, böylece 7nm altındaki gelişmiş imalatın sıkı saflık taleplerini tam olarak karşılar..

5Sık Sorulan Sorular

S1: Yüksek saflıklı kuvars neden 7nm altındaki yarı iletken işlemler için kritiktir?
Alt-7nm düğümler aşırı derecede düşük kirlilik toleransına sahiptir. Yüksek saflıklı kuvars, wafer kusurlarını ve verim kaybını önlemek için iyon yağışını ve parçacık dökülmesini en aza indirir.

S2: Doğal ve sentetik yarı iletken kuvars arasındaki fark nedir?
Sentetik kuvars daha yüksek saflığa ve daha az iç kusura sahiptir, bu da daha sıkı temizlik gereksinimleri olan gelişmiş düğümler için daha uygundur.

S3: Hangi yaygın plazma kazım odası parçaları yüksek saflıklı kuvarsdan yapılır?
Tipik ürünler arasında kapak halkaları, kenar halkaları, odak halkaları ve oda kaplamaları vardır. Bunların hepsi süreçleri istikrarlandırmak ve oda yapılarını korumak için kullanılır.

S4: Yarım iletken kuvars parçalarınız hangi temizlik standardını karşılıyor?
Tüm yarı iletken sınıfı ürünler standart fabrika temiz oda kullanım özelliklerine uymak için Sınıf 100 kimyasal temizliğe tabi tutulur.

S5: Kuvars oda bileşenleri için özel işleme sunar mısınız?
Evet, müşteri teknik çizimleri, destekleyici malzeme ve boyut ayarlamaları temelinde tamamen özelleştirilmiş üretim sağlarız.

S6: Kuvars malzemesi, oda saflığının uzun vadeli bakımını nasıl destekler?
Yüksek saflıklı kuvars neredeyse hiçbir kirletici madde yaymaz ve korozyon direnci, uzun süreli çalışma sırasında parçacık üretimini azaltır.

6Sonuç.

Yüksek saflıklı yarı iletkenler kuvars, 7nm altındaki gelişmiş wafer plazma kazım üretimi için oda temizliğini ve süreç istikrarını garanti eden temel malzemedir.Yarım iletken sınıfı sentetik kuvars bileşenlerinin seçilmesi doğrudan kontaminasyon risklerini azaltır ve uzun vadeli üretim verimini arttırır. Eğer ürün teklifleri, özel çözüm tasarımı veya kuvars oda parçaları için teknik danışmanlık gerekiyorsa, lütfen e-posta yoluyla profesyonel ekibimizle iletişime geçin:Javier.lu@ztt.cn.