উচ্চ বিশুদ্ধতা অর্ধপরিবাহী কোয়ার্টজ Sub-7nm ওয়েফার ইটচিং চেম্বারের বিশুদ্ধতার ভিত্তি গঠন করে

1. সংক্ষিপ্তসার

উচ্চ বিশুদ্ধতা অর্ধপরিবাহী কোয়ার্টজ sub-7nm উন্নত ওয়েফার উত্পাদন মধ্যে চেম্বার উপাদান জন্য একটি অপরিহার্য বেস উপাদান হয়ে উঠেছে,কারণ নোড সংকোচন কঠোর পরিচ্ছন্নতা প্রয়োজনীয়তা উত্থাপনপ্লাজমা খোদাইযেমনটি শীর্ষস্থানীয় কারখানা প্রক্রিয়া প্রতিবেদনে তুলে ধরা হয়েছে, এমনকি ধাতব অশুচিতাগুলি মারাত্মক ওয়েফারের ত্রুটি এবং তীব্র ফলন ড্রপ সৃষ্টি করতে পারে। এই নিবন্ধটি কোয়ার্টজ উপাদান বৈশিষ্ট্য ব্যাখ্যা করে,চেম্বারের বিশুদ্ধতা নিয়ন্ত্রণের জন্য এর প্রয়োজনীয়তা, এবং হাই-এন্ড ইটচিং সরঞ্জামগুলিতে সাধারণ অ্যাপ্লিকেশন।

উন্নত ওয়েফার তৈরির জন্য সেমিকন্ডাক্টর প্লাজমা ইটচিং চেম্বারের অভ্যন্তর

2কি ব্যাপার?

সেমিকন্ডাক্টর ব্যবহারের জন্য উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ, বিশেষত সিন্থেটিক ফিউজড সিলিকা, একটি অতি-পরিচ্ছন্ন অজৈব উপাদান যা উচ্চ-পরিচ্ছন্নতা গলন এবং যথার্থ মেশিনিংয়ের মাধ্যমে প্রক্রিয়াজাত করা হয়।এটিতে ppb স্তরের ধাতব অমেধ্য রয়েছে, চমৎকার dielectric বিচ্ছিন্নতা, এবং স্থায়ী উচ্চ তাপমাত্রা এবং প্লাজমা ক্ষয় অধীনে স্থিতিশীল শারীরিক বৈশিষ্ট্য, কোর প্লাজমা খোদাই চেম্বার consumables জন্য একটি মান উপাদান হিসাবে পরিবেশন।

3কেন?

উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ উপাদানগুলি চারটি মূল কারণে সাব-7nm প্রক্রিয়া লাইনগুলির জন্য অপরিহার্য।
প্রথমত, অতি-নিম্ন অমেধ্য precipitation কার্যকরভাবে wafer পৃষ্ঠ উপর ধাতু আয়ন দূষণ এড়াতে,যা শিল্প উৎপাদন নির্দেশিকা অনুযায়ী উন্নত নোডগুলিতে উচ্চ ফলন বজায় রাখার জন্য সমালোচনামূলক.
দ্বিতীয়ত, অসামান্য প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধের কণা ছড়িয়ে পড়া হ্রাস করে এবং উপাদান সেবা জীবন প্রসারিত, অপ্রত্যাশিত চেম্বার রক্ষণাবেক্ষণ বন্ধ সময় কাটা।
তৃতীয়ত, ন্যূনতম তাপীয় প্রসারণ সহগ তাপমাত্রা ওঠানামা অধীনে মাত্রিক স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে, ধ্রুবক খোদাই যথার্থতা গ্যারান্টি।
চতুর্থত, স্থিতিশীল বৈদ্যুতিক বিচ্ছিন্নতা প্রতিক্রিয়া চেম্বারের ভিতরে প্লাজমা ক্ষেত্রের অভিন্ন বিতরণ বজায় রাখতে সহায়তা করে।

4কিভাবে?

উচ্চ বিশুদ্ধতা সিন্থেটিক কোয়ার্টজ কভার রিং জন্য 12 ইঞ্চি ওয়েফার সিসিপি প্লাজমা শুকনো খোদাই

১২ ইঞ্চি ওয়াফারের জন্য সিসিপি প্লাজমা শুষ্ক ইটচিং প্রক্রিয়ায়, কোয়ার্টজ উপাদান যেমন কভার রিংগুলি সরাসরি উচ্চ ঘনত্বের প্লাজমা এবং ক্ষয়কারী প্রক্রিয়া গ্যাসের সংস্পর্শে আসে,চেম্বার দেয়াল এবং ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ এলাকার মধ্যে বিশুদ্ধতা বাধা হিসাবে কাজ করেউপাদান বিশুদ্ধতা সরাসরি সমগ্র প্রতিক্রিয়া চেম্বারের প্রাথমিক পরিচ্ছন্নতা স্তর নির্ধারণ করে।উচ্চ বিশুদ্ধতা সিন্থেটিক কোয়ার্টজ কভার রিং১২ ইঞ্চি ওফারের সিসিপি প্লাজমা ড্রাই ইট প্রসেস এর জন্য ডিজাইন করা হয়েছে,প্রিমিয়াম সিন্থেটিক কোয়ার্টজ এবং ক্লাস 100 রাসায়নিক পরিষ্কারের সাথে তৈরি করা হয়েছে যাতে sub-7nm উন্নত উত্পাদনের কঠোর বিশুদ্ধতার চাহিদা পুরোপুরি সন্তুষ্ট হয়.

5প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্ন

প্রশ্ন 1: কেন উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ sub-7nm অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া জন্য সমালোচনামূলক?
সাব-৭এনএম নোডগুলির দূষণ সহনশীলতা অত্যন্ত কম। উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ ওয়াফারের ত্রুটি এবং ফলন হ্রাস রোধ করতে আয়ন precipitation এবং কণা shedding ন্যূনতম।

প্রশ্ন ২: প্রাকৃতিক এবং সিন্থেটিক সেমিকন্ডাক্টর কোয়ার্টজের মধ্যে পার্থক্য কী?
সিন্থেটিক কোয়ার্টজের উচ্চতর বিশুদ্ধতা এবং কম অভ্যন্তরীণ ত্রুটি রয়েছে, এটি আরও কঠোর পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তার সাথে উন্নত নোডগুলির জন্য আরও উপযুক্ত করে তোলে।

প্রশ্ন 3: উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ থেকে কোন সাধারণ প্লাজমা ইটচিং চেম্বার অংশগুলি তৈরি করা হয়?
সাধারণ পণ্যগুলির মধ্যে রয়েছে কভার রিং, প্রান্ত রিং, ফোকাস রিং এবং চেম্বার লিনার, যা সমস্ত প্রক্রিয়া স্থিতিশীল করতে এবং চেম্বার কাঠামো রক্ষা করতে ব্যবহৃত হয়।

প্রশ্ন 4: আপনার সেমিকন্ডাক্টর কোয়ার্টজ অংশগুলি কোন পরিষ্কারের মান পূরণ করে?
সকল সেমিকন্ডাক্টর গ্রেড পণ্য ক্লাস 100 রাসায়নিক পরিষ্কারের মধ্য দিয়ে যায় যাতে স্ট্যান্ডার্ড ফ্যাব ক্লিনরুম ব্যবহারের স্পেসিফিকেশনগুলি মেনে চলতে পারে।

প্রশ্ন 5: আপনি কি কোয়ার্টজ চেম্বারের উপাদানগুলির জন্য কাস্টম মেশিনিং অফার করেন?
হ্যাঁ, আমরা গ্রাহকের প্রযুক্তিগত অঙ্কন, সমর্থনকারী উপাদান এবং মাত্রা সমন্বয় উপর ভিত্তি করে সম্পূর্ণ কাস্টমাইজড উৎপাদন প্রদান।

প্রশ্ন 6: কোয়ার্টজ উপাদানটি কীভাবে দীর্ঘমেয়াদী চেম্বার বিশুদ্ধতা বজায় রাখতে সহায়তা করে?
উচ্চ বিশুদ্ধ কোয়ার্টজ প্রায় কোনও দূষণকারী পদার্থ ছাড়ে না, এবং এর ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা দীর্ঘমেয়াদী অপারেশনের সময় কণা উৎপন্ন হ্রাস করে।

6উপসংহার

উচ্চ বিশুদ্ধতা অর্ধপরিবাহী কোয়ার্টজ হ'ল প্রাথমিক উপাদান যা সাব -7nm উন্নত ওয়েফার প্লাজমা ইটচিং উত্পাদনের জন্য চেম্বার পরিষ্কারতা এবং প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে।অর্ধপরিবাহী গ্রেডের সিন্থেটিক কোয়ার্টজ উপাদান নির্বাচন সরাসরি দূষণের ঝুঁকি হ্রাস করে এবং দীর্ঘমেয়াদী উত্পাদন ফলন উন্নত করে. আপনি যদি পণ্যের উদ্ধৃতি, কাস্টম সমাধান নকশা বা কোয়ার্টজ চেম্বার অংশের জন্য প্রযুক্তিগত পরামর্শ প্রয়োজন, ইমেইলের মাধ্যমে আমাদের পেশাদারী দলের সাথে যোগাযোগ করুনঃjavier.lu@ztt.cn.