आरटीपी के लिए क्वार्ट्जपैडल एज सपोर्ट (एंड इफ़ेक्टर)।
विनिर्देश:
320×237×6T
सामग्री:
GE214/124, PQ811E (इलेक्ट्रिक-फ्यूज्ड क्वार्ट्ज) या ग्राहकों द्वारा अनुरोधित
सफाई:
कक्षा 100 रासायनिक सफाई
MOQ:
10ea या परक्राम्य
प्रमुखता देना:
High-purity quartz paddle edge support
,
Wafer transfer RTP chamber support
,
Ultra-precision RTP quartz paddle
उत्पाद का वर्णन
A quartz paddle end effector is the precision handling tool—essentially the "hand" at the end of a robotic arm—used to physically transfer silicon wafers into and out of a Rapid Thermal Processing (RTP) chamber. Because RTP systems use high-intensity halogen lamps to heat wafers to extreme temperatures (often exceeding 1,000°C in just seconds), the mechanical components touching the wafer must survive brutal thermal environments without causing contamination or temperature