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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
| एमओक्यू: | 10ea या परक्राम्य |
| कीमत: | FOB NANTONG/SHANGHAI |
| standard packaging: | साफ प्लास्टिक सीलिंग बैग + नीला नालीदार बॉक्स + मास्टर कार्टन |
| Delivery period: | 45 दिन |
| भुगतान विधि: | एल/सी,डी/ए,डी/पी,टी/टी |
| Supply Capacity: | >1000ea प्रति माह |
विस्तृत जानकारी
उत्पत्ति के प्लेस
चीन
ब्रांड नाम
JC
प्रमाणन
MSDS, Rohs, REACH, ISO, GS, BV, Intertek
मॉडल संख्या
आरटीपी-011
विवरण:
क्वार्ट्ज चैंबर एजी आरटीपी 8-इंच डब्ल्यूएफ
विनिर्देश:
238×286×62टी
सामग्री:
GE214, 124, PQ811E (इलेक्ट्रिक-फ्यूज्ड क्वार्ट्ज) या ग्राहकों द्वारा अनुरोधित
सफाई:
कक्षा 100 रासायनिक सफाई
MOQ:
10ea या परक्राम्य
उत्पाद का वर्णन
The Quartz Reaction Chamber refers to a quartz process chamber (or liner) used in RTP tools by AG or AST, with "GE" material. It is the inner transparent quartz enclosure where the wafer sits during rapid thermal processing: rapid thermal annealing (RTA), implant activation, silicidation, RTO/RTN oxidation/nitridation and etc. - IR lamp light passes through the quartz to heat the wafer- Gas distribution, controlled atmosphere / low vacuum process inside- Built-in pyrometer
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