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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
| MOQ: | 10 unités ou négociable |
| Prix: | FOB NANTONG/SHANGHAI |
| Standard Packaging: | Sac de scellage en plastique propre + boîte en carton ondulé bleue + carton principal |
| Delivery Period: | 45 jours |
| Méthode De Paiement: | LC, D/A, D/P, T/T |
| Supply Capacity: | >1000 unités par mois |
Les informations détaillées
Lieu d'origine
Chine
Nom de marque
JC
Certification
MSDS, Rohs, REACH, ISO, GS, BV, Intertek
Numéro de modèle
RTP-011
Description:
QUARTZ CHAMBER AG RTP 8 POUCES WF
Spécification:
238×286×62T
Matériel:
GE214, 124, PQ811E (quartz fondu électrique) ou demandé par les clients
Nettoyage:
Nettoyage chimique classe 100
Quantité minimale de commande:
10 unités ou négociable
Description de produit
The Quartz Reaction Chamber refers to a quartz process chamber (or liner) used in RTP tools by AG or AST, with "GE" material. It is the inner transparent quartz enclosure where the wafer sits during rapid thermal processing: rapid thermal annealing (RTA), implant activation, silicidation, RTO/RTN oxidation/nitridation and etc. - IR lamp light passes through the quartz to heat the wafer- Gas distribution, controlled atmosphere / low vacuum process inside- Built-in pyrometer
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