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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
| MOQ: | 10ea o negociable |
| Precio: | FOB NANTONG/SHANGHAI |
| Standard Packaging: | Bolsa de plástico limpia con sellado + caja corrugada azul + caja principal |
| Delivery Period: | 45 dias |
| Forma De Pago: | LC, D/A, D/P, T/T |
| Supply Capacity: | >1000ea por mes |
Información detallada
Lugar de origen
China
Nombre de la marca
JC
Certificación
MSDS, Rohs, REACH, ISO, GS, BV, Intertek
Número de modelo
RTP-011
Descripción:
CÁMARA DE CUARZO AG RTP 8 PULGADAS WF
Especificación:
238×286×62T
Material:
GE214, 124, PQ811E (cuarzo electrofundido) o solicitado por los clientes
Limpieza:
Limpieza química clase 100
Cantidad mínima de pedido:
10ea o negociable
Descripción de producto
The Quartz Reaction Chamber refers to a quartz process chamber (or liner) used in RTP tools by AG or AST, with "GE" material. It is the inner transparent quartz enclosure where the wafer sits during rapid thermal processing: rapid thermal annealing (RTA), implant activation, silicidation, RTO/RTN oxidation/nitridation and etc. - IR lamp light passes through the quartz to heat the wafer- Gas distribution, controlled atmosphere / low vacuum process inside- Built-in pyrometer
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