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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
| MOQ: | 10eaまたは交渉可能 |
| 価格: | FOB NANTONG/SHANGHAI |
| standard packaging: | きれいなプラスチックの密封袋 + 青い段ボール箱 + マスター カートン |
| Delivery period: | 45日 |
| 支払方法: | L/C、D/A、D/P、T/T |
| Supply Capacity: | >1000ea/月 |
詳細情報
起源の場所
中国
ブランド名
JC
証明
MSDS, Rohs, REACH, ISO, GS, BV, Intertek
モデル番号
RTP-011
説明:
QUARTZ CHAMBER AG RTP 8 インチ WF
仕様:
238×286×62T
材料:
GE214、124、PQ811E（電気溶融石英）または顧客の要求
クリーニング:
クラス100の化学洗浄
MOQ:
10eaまたは交渉可能
製品の説明
The Quartz Reaction Chamber refers to a quartz process chamber (or liner) used in RTP tools by AG or AST, with "GE" material. It is the inner transparent quartz enclosure where the wafer sits during rapid thermal processing: rapid thermal annealing (RTA), implant activation, silicidation, RTO/RTN oxidation/nitridation and etc. - IR lamp light passes through the quartz to heat the wafer- Gas distribution, controlled atmosphere / low vacuum process inside- Built-in pyrometer
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