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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
| MOQ: | 10 Stück oder verhandelbar |
| Preis: | FOB NANTONG/SHANGHAI |
| Standard Packaging: | Sauberer Plastikversiegelungsbeutel + blauer Wellpappkarton + Umkarton |
| Delivery Period: | 45 Tage |
| Zahlungs-Methode: | L/C, D/A, D/P, T/T |
| Supply Capacity: | >1000ea pro Monat |
Ausführliche Information
Herkunftsort
China
Markenname
JC
Zertifizierung
MSDS, Rohs, REACH, ISO, GS, BV, Intertek
Modellnummer
RTP-011
Beschreibung:
QUARZKAMMER AG RTP 8-ZOLL WF
Spezifikation:
238×286×62T
Material:
GE214, 124, PQ811E (elektrischer Quarz) oder auf Kundenwunsch
Reinigung:
Chemische Reinigung der Klasse 100
Mindestbestellmenge:
10 Stück oder verhandelbar
Produkt-Beschreibung
The Quartz Reaction Chamber refers to a quartz process chamber (or liner) used in RTP tools by AG or AST, with "GE" material. It is the inner transparent quartz enclosure where the wafer sits during rapid thermal processing: rapid thermal annealing (RTA), implant activation, silicidation, RTO/RTN oxidation/nitridation and etc. - IR lamp light passes through the quartz to heat the wafer- Gas distribution, controlled atmosphere / low vacuum process inside- Built-in pyrometer
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