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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
| MOQ: | 10ea ou negociável |
| Preço: | FOB NANTONG/SHANGHAI |
| standard packaging: | Saco de vedação de plástico limpo + caixa de papelão ondulado azul + caixa mestra |
| Delivery period: | 45 dias |
| Método do pagamento: | L/C,D/A,D/P,T/T |
| Supply Capacity: | >1000ea por mês |
Informações detalhadas
Lugar de origem
China
Marca
JC
Certificação
MSDS, Rohs, REACH, ISO, GS, BV, Intertek
Número do modelo
RTP-011
Descrição:
CÂMARA DE QUARTZO AG RTP 8 POLEGADAS WF
Especificação:
238×286×62T
Material:
GE214, 124, PQ811E (quartzo com fusível elétrico) ou solicitado pelos clientes
Limpeza:
Limpeza química classe 100
Quantidade mínima:
10ea ou negociável
Descrição do produto
The Quartz Reaction Chamber refers to a quartz process chamber (or liner) used in RTP tools by AG or AST, with "GE" material. It is the inner transparent quartz enclosure where the wafer sits during rapid thermal processing: rapid thermal annealing (RTA), implant activation, silicidation, RTO/RTN oxidation/nitridation and etc. - IR lamp light passes through the quartz to heat the wafer- Gas distribution, controlled atmosphere / low vacuum process inside- Built-in pyrometer
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