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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
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GE Material Electric-Fused Quartz Chamber for AG / AST RTP High-Temperature Reaction Chamber (8-inch Wafer)
| MOQ: | 10ea 또는 협상 가능 |
| 가격: | FOB NANTONG/SHANGHAI |
| standard packaging: | 깨끗한 플라스틱 밀봉 백 + 파란색 골판지 상자 + 마스터 상자 |
| Delivery period: | 45일 |
| 결제 방법: | L/C,D/A,D/P,T/T |
| Supply Capacity: | >월 당 1000ea |
상세 정보
원래 장소
중국
브랜드 이름
JC
인증
MSDS, Rohs, REACH, ISO, GS, BV, Intertek
모델 번호
RTP-011
설명:
QUARTZ CHAMBER AG RTP 8인치 WF
사양:
238×286×62T
재료:
GE214, 124, PQ811E(전기 융합 석영) 또는 고객 요청
청소:
클래스 100 화학 세척
MOQ:
10ea 또는 협상 가능
제품 설명
The Quartz Reaction Chamber refers to a quartz process chamber (or liner) used in RTP tools by AG or AST, with "GE" material. It is the inner transparent quartz enclosure where the wafer sits during rapid thermal processing: rapid thermal annealing (RTA), implant activation, silicidation, RTO/RTN oxidation/nitridation and etc. - IR lamp light passes through the quartz to heat the wafer- Gas distribution, controlled atmosphere / low vacuum process inside- Built-in pyrometer
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