Ontdek hoe zeer zuivere gelaste kwartskamers nauwkeurige RF-plasmageneratie mogelijk maken voor ICP- en CCP-etsapparatuur in de halfgeleiderproductie. Deze video biedt een diepgaande uitleg van de fabricage van kwartskamers, materiaalselectie en kwaliteitscontroleprocessen, toont toepassingen in de echte wereld in systemen voor diep reactief ionenetsen (DRIE) en legt uit hoe een goed kamerontwerp contaminatie voorkomt terwijl de plasmastabiliteit behouden blijft.