Узнайте, как сварные кварцевые камеры высокой чистоты обеспечивают точную генерацию радиочастотной плазмы для оборудования ICP и CCP-травления в производстве полупроводников. В этом видеоролике подробно рассказывается о процессах изготовления кварцевой камеры, выборе материалов и процессах контроля качества, показаны реальные применения систем глубокого реактивного ионного травления (DRIE) и объясняется, как правильная конструкция камеры предотвращает загрязнение, сохраняя при этом стабильность плазмы.