水晶部屋

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March 18, 2026
Video Description:
高純度の溶接石英チャンバーが、半導体製造における ICP および CCP エッチング装置の正確な RF プラズマ生成をどのように可能にするかをご覧ください。このビデオでは、石英チャンバーの製造、材料の選択、品質管理プロセスの詳細なウォークスルーを提供し、ディープ反応性イオン エッチング (DRIE) システムでの実際のアプリケーションを示し、適切なチャンバー設計がプラズマの安定性を維持しながら汚染を防ぐ方法を説明します。
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