Nous l'avons testé : découvrez les points forts et à quoi vous attendre en fonctionnement réel. Dans cette vidéo, nous présentons la chambre à quartz soudée de haute pureté pour la génération de plasma RF dans les équipements de gravure ICP et CCP. Regardez-nous explorer sa fabrication de précision, sa manipulation en salle blanche et ses applications réelles de fabrication de semi-conducteurs, montrant comment cette chambre à quartz maintient la stabilité du plasma tout en empêchant la contamination lors de processus de gravure exigeants.