کشف کنید که چگونه محفظه های کوارتز جوش داده شده با خلوص بالا، تولید پلاسمای RF دقیق را برای تجهیزات حکاکی ICP و CCP در ساخت نیمه هادی ها امکان پذیر می کنند. این ویدئو شرح عمیقی از ساخت محفظه کوارتز، انتخاب مواد و فرآیندهای کنترل کیفیت ارائه میکند، کاربردهای واقعی در سیستمهای حکاکی یون راکتیو عمیق (DRIE) را نشان میدهد و توضیح میدهد که چگونه طراحی مناسب محفظه از آلودگی جلوگیری میکند و در عین حال پایداری پلاسما را حفظ میکند.