ในการผลิตครึ่งตัวนํา เครื่องฉีดแหวน (ที่เรียกกันทั่วไปว่าแหวนโฟกัสหรือแหวนขอบ) เป็นส่วนประกอบที่ใช้ได้ที่ล้อมแผ่นซิลิคอนภายในห้องฉีดพลาสมางานหลักของพวกเขาคือการปกป้องเช็คไฟฟ้าสแตตติก (ESC) และสร้างรูปร่างไฟฟ้าของแผ่นพลาสมาเพื่อให้แน่ใจว่าการถักแบบเรียบร้อย.
เนื่องจากพวกมันถูกเผชิญกับพลาสมาที่รุนแรงและพลังงานสูง โดยตรง พวกมันต้องทําจากวัสดุที่บริสุทธิ์สูง ที่ทนต่อการกัดกรองทางเคมีและการพ่นพ่นทางกายภาพวัสดุที่ใช้บ่อยที่สุดคือ:
1ควาร์ทซ์ความบริสุทธิ์สูง (SiO2)
ในทางประวัติศาสตร์วัสดุที่ทั่วไปที่สุดคือควอตซ์ความบริสุทธิ์สูงสุด (99.99% + ซิลิก้า) ถูกใช้อย่างแพร่หลายในโรงงานเนื่องจากคุณสมบัติที่สะอาดและประหยัด
2. ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)
ซิลิคอนคาร์ไบด์ กลับกลายเป็นตัวเลือกหลักสําหรับหน่วยขั้วที่มีความก้าวหน้าและมีพลังงานสูง
3. เซลิสติกเดียว (โมโนคริสตัลลีน) หรือซิลิคซิลิคโพลิกคริสตัลลีน (Si)
การใช้ซิลิคอนความบริสุทธิ์สูง ทําให้วงแหวนโฟกัสประพฤติเหมือนกับการขยายของโวฟเฟอร์เอง
4. เซรามิคและการเคลือบที่พัฒนา
สําหรับสภาพแวดล้อมที่เหมาะสมหรือเกิดการกัดรังแรง, เซรามิกพิเศษถูกนําไปใช้: อลูมิเนีย (AI2O3): ให้ความแข็งแกร่งทางกลสูงและผลประกอบการ dielectric ดี,แม้ว่ามันจะปล่อยอนุภาคได้ ถ้าถูกระเบิดหนัก.Yttrium Oxide (Y2O3 / Yttria): มักใช้เป็นเคลือบที่ทนต่อพลาสมาสูงเหนือฐานแหวนเซรามิกหรือโลหะเพื่อต่อต้านพลาสมาฮาโลเจนที่รุนแรงเลือกตามความต้องการความต้านทานแรงกระแทกทางความร้อนและความแข็งแรงทางกล.
สรุปการเลือกสาระ
ในการผลิตครึ่งตัวนํา เครื่องฉีดแหวน (ที่เรียกกันทั่วไปว่าแหวนโฟกัสหรือแหวนขอบ) เป็นส่วนประกอบที่ใช้ได้ที่ล้อมแผ่นซิลิคอนภายในห้องฉีดพลาสมางานหลักของพวกเขาคือการปกป้องเช็คไฟฟ้าสแตตติก (ESC) และสร้างรูปร่างไฟฟ้าของแผ่นพลาสมาเพื่อให้แน่ใจว่าการถักแบบเรียบร้อย.
เนื่องจากพวกมันถูกเผชิญกับพลาสมาที่รุนแรงและพลังงานสูง โดยตรง พวกมันต้องทําจากวัสดุที่บริสุทธิ์สูง ที่ทนต่อการกัดกรองทางเคมีและการพ่นพ่นทางกายภาพวัสดุที่ใช้บ่อยที่สุดคือ:
1ควาร์ทซ์ความบริสุทธิ์สูง (SiO2)
ในทางประวัติศาสตร์วัสดุที่ทั่วไปที่สุดคือควอตซ์ความบริสุทธิ์สูงสุด (99.99% + ซิลิก้า) ถูกใช้อย่างแพร่หลายในโรงงานเนื่องจากคุณสมบัติที่สะอาดและประหยัด
2. ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)
ซิลิคอนคาร์ไบด์ กลับกลายเป็นตัวเลือกหลักสําหรับหน่วยขั้วที่มีความก้าวหน้าและมีพลังงานสูง
3. เซลิสติกเดียว (โมโนคริสตัลลีน) หรือซิลิคซิลิคโพลิกคริสตัลลีน (Si)
การใช้ซิลิคอนความบริสุทธิ์สูง ทําให้วงแหวนโฟกัสประพฤติเหมือนกับการขยายของโวฟเฟอร์เอง
4. เซรามิคและการเคลือบที่พัฒนา
สําหรับสภาพแวดล้อมที่เหมาะสมหรือเกิดการกัดรังแรง, เซรามิกพิเศษถูกนําไปใช้: อลูมิเนีย (AI2O3): ให้ความแข็งแกร่งทางกลสูงและผลประกอบการ dielectric ดี,แม้ว่ามันจะปล่อยอนุภาคได้ ถ้าถูกระเบิดหนัก.Yttrium Oxide (Y2O3 / Yttria): มักใช้เป็นเคลือบที่ทนต่อพลาสมาสูงเหนือฐานแหวนเซรามิกหรือโลหะเพื่อต่อต้านพลาสมาฮาโลเจนที่รุนแรงเลือกตามความต้องการความต้านทานแรงกระแทกทางความร้อนและความแข็งแรงทางกล.
สรุปการเลือกสาระ
