ইটচ রিং এর প্রধান উপকরণ কি কি?

অর্ধপরিবাহী উত্পাদনে, ইটচ রিংগুলি (সাধারণত ফোকাস রিং বা প্রান্ত রিং হিসাবে উল্লেখ করা হয়) হ'ল প্লাজমা ইটচিং চেম্বারের ভিতরে সিলিকন ওয়েফারের চারপাশে ব্যবহারযোগ্য উপাদান।তাদের প্রাথমিক কাজ হল ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক (ইএসসি) কে শারীরিকভাবে রক্ষা করা এবং প্লাজমা গর্তকে বৈদ্যুতিকভাবে আকৃতি দেওয়া যাতে ওয়েফারের খুব প্রান্ত পর্যন্ত অভিন্ন খোদাই নিশ্চিত করা যায়.

যেহেতু এগুলি সরাসরি আক্রমণাত্মক, উচ্চ-শক্তির প্লাজমার সংস্পর্শে আসে, তাই এগুলিকে উচ্চ-পরিচ্ছন্ন উপাদান দিয়ে তৈরি করতে হবে যা রাসায়নিক ক্ষয় এবং শারীরিক স্পটারিংয়ের প্রতিরোধী।সর্বাধিক ব্যবহৃত উপকরণগুলির মধ্যে রয়েছে:

1. উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ (SiO2)

ঐতিহাসিকভাবে সবচেয়ে সাধারণ উপাদান, অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ (99.99% + সিলিকা) তার পরিষ্কার বৈশিষ্ট্য এবং খরচ কার্যকারিতা কারণে কারখানায় ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

• নিম্নলিখিত ক্ষেত্রে সবচেয়ে ভালো ব্যবহার করা হয়:সিলিকন ইটচিং এবং অ্যাপ্লিকেশন যেখানে ট্রেস ধাতু দূষণ কমাতে গুরুত্বপূর্ণ।
• উপকারিতা:অত্যন্ত বিশুদ্ধ, কম তাপীয় প্রসার, এবং কম প্রাথমিক উপাদান খরচ।
• কনস:ফ্লোরিন ভিত্তিক প্লাজমা (CF4, SF6, NF3) এর সংস্পর্শে আসার সাথে সাথে তুলনামূলকভাবে দ্রুত ক্ষয় হয়। এটি পরাধীন হওয়ার সাথে সাথে, পরিবর্তিত রিং জ্যামিতি "কান ড্রিফট," প্রতিস্থাপন জন্য ঘন ঘন সরঞ্জাম বন্ধ বাধ্য.

2সিলিকন কার্বাইড (সিআইসি)

সিলিকন কার্বাইড (CVD SiC) বা উচ্চ-গ্রেড সিন্টারিংয়ের মাধ্যমে বিশেষভাবে উত্পাদিত) দ্রুত উন্নত, উচ্চ-শক্তির নোডগুলির জন্য মূলধারার পছন্দ হয়ে উঠেছে।

• নিম্নলিখিত ক্ষেত্রে সবচেয়ে ভালো ব্যবহার করা হয়:হাই-অ্যাসেপ্ট রেসিও (এইচএআর) ইটচিং, যেমন 3 ডি এনএন্ড সিঁড়ি ইটচিং এবং ফিনএফইটি / জিএএ ফ্যাব্রিকেশন।
• উপকারিতা:এটি ফ্লোরিন এবং ক্লোরিন প্লাজমাতে কোয়ার্টজের চেয়ে আকারের অর্ডার ধীর গতিতে ক্ষয় করে।এর জীবনকাল উল্লেখযোগ্যভাবে বাড়ানো এবং সরঞ্জামটির মোট মালিকানা ব্যয় (টিসিও) হ্রাস করাএটি উচ্চ তাপ পরিবাহিতা, যা ওয়েফারের প্রান্তের তাপমাত্রা স্থিতিশীল রাখে।
• কনস:উচ্চ প্রাথমিক উত্পাদন এবং উপাদান খরচ (প্রায়শই কোয়ার্টজের দামের 3x থেকে 5x) ।

3একক-ক্রিস্টাল (মনোক্রিস্টালিন) বা পলি-ক্রিস্টালিন সিলিকন (সিআই)

উচ্চ বিশুদ্ধ সিলিকন ব্যবহার করে নিশ্চিত করা হয় যে ফোকাস রিংটি ঠিক ওয়েফারের একটি এক্সটেনশন হিসাবে আচরণ করে।

• নিম্নলিখিত ক্ষেত্রে সবচেয়ে ভালো ব্যবহার করা হয়:অক্সাইড (SiO2) ইটিং প্রক্রিয়া।
• উপকারিতা:যেহেতু রিংটি একটি স্ট্যান্ডার্ড ওয়েফারের রাসায়নিক রচনার সাথে মিলে যায়, রিং থেকে স্পট করা বা খোদাই করা যে কোনও ছোট পদার্থ চেম্বারে একেবারে শূন্য বিদেশী উপাদান দূষণ প্রবর্তন করে।
• কনস:কোয়ার্টজের মতো, এটি একটি ভোক্তা হিসাবে আচরণ করে যা নির্দিষ্ট রাসায়নিক পদার্থের অধীনে সময়ের সাথে সাথে অবনমিত হয়, নিয়মিত নির্ধারিত প্রতিস্থাপন প্রয়োজন।

4উন্নত সেরামিকস ও লেপ

বিশেষ বা অত্যন্ত ক্ষয়কারী পরিবেশের জন্য, বিশেষায়িত সিরামিকগুলি প্রয়োগ করা হয়ঃঅ্যালুমিনিয়াম (এআই 2 ও 3): উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি এবং ভাল ডাইলেক্ট্রিক পারফরম্যান্স সরবরাহ করে,যদিও এটি মারাত্মকভাবে বোমা ফেললে কণা ফেলতে পারে. ইট্রিয়াম অক্সাইড (Y2O3 / ইট্রিয়া): প্রায়শই আক্রমণাত্মক হ্যালোজেন প্লাজমা মোকাবেলায় সিরামিক বা ধাতব রিং বেসের উপরে একটি অত্যন্ত প্লাজমা প্রতিরোধী লেপ হিসাবে ব্যবহৃত হয়। সিলিকন নাইট্রাইড (Si3N4):তাপীয় ধাক্কা প্রতিরোধের এবং যান্ত্রিক অনমনীয়তা নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তা জন্য নির্বাচিত.

বিষয়বস্তু নির্বাচন সংক্ষিপ্তসার