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1. Zusammenfassung

Halbleiter aus synthetischem QuarzDas Material ist zum Gateing-Input für die 193 nm-Litographie geworden, und die ZTSQ-02-Klasse von NTCM (ZTT Group) wird gegen die Zahlen angegeben, die tatsächlich wichtig sind: SiO₂Reinheit über 99,99%, Belastungsdoppelbrechbarkeit von ≤2 nm/cm in der Klasse A bis ≤10 nm/cm in der Klasse D und keine Einbahnstreifen, alle pro Los überprüft.Das Material ist künstlich hergestellt, aus einem siliziumhaltigen Vorläufer gewonnen und nicht aus Mineralerz geschmolzen, so dass es kein Aluminium enthält., Eisen- oder Alkali-Signaturen, die natürliches Quarz mit sich bringt, und der Grad-Buchstabe statt der Reinheitsüberschrift entscheidet, welchen optischen Pfad ein Leerstoff bedienen kann.Es wird als Ingots und Blöcke für Photomasksubstrate geliefert, DUV-Linselemente, Excimerfenster und Metrologieoptik, mit einer Mindestbestellung von 20 kg, 200 Tonnen Kapazität pro Monat, Lieferung innerhalb von 30-45 Tagen nach FOB Shanghai-Bedingungen und Dokumentation nach MSDS, RoHS,REACH, ISO, GS, BV und Intertek.

2Was ist ein Low-OH Naturquarzzylinder?

Synthetischer Quarz ist amorphes Siliziumdioxid, das durch chemische Ablagerung und nicht durch Schmelzgestein erzeugt wird.₄) wird in eine Oxy-Wasserstoffflamme eingespeist, wo es mit Wasser reagiert und SiO bildet.₂Diese Rußpartikel werden dann bei etwa 1.700-1.800 °C zu einem dichten, transparenten Glas verglaset.Plasma-chemische Dampf- und Sol-Gel-Ablagerungswege bestehen parallel dazu und erzeugen Varianten mit unterschiedlichen HydroxylwertenDas Silizium kommt als gereinigtes Gas oder Flüssigkeit an, nicht als Mineralstoff, und das Kontaminationsprofil wird daher von der Chemie und nicht von der Geologie bestimmt.

Natürlicher Quarz erbt Aluminium, Natrium, Kalium, Lithium, Eisen und Titan aus seinem Erz.und die Reinigung reduziert sie, anstatt sie zu beseitigenDas synthetische Material beginnt mit einem destillierten Vorläufer, so dass der Restmetallgehalt um Größenordnungen niedriger liegt.und die Abwesenheit von Mineralstoffen bedeutet einen Körper ohne Blasen und ohne PartikelsamenFür die tiefe UV-Übertragung ist dies entscheidend: Bei 193 nm reicht Eisen auf einem ppm-Niveau oder eine einzelne Inklusion aus, um Energie zu absorbieren, Farbzentren zu erzeugen und schließlich die Optik zu beschädigen.

Vier Spezifikationen definieren eine synthetische Quarzqualität.Reinheit, angegeben als SiO₂ZTSQ-02-Familie mit einem Gehalt von ≥ 99,99 %.Belastungsdoppelbrechung, die photoelastische Signatur der Restinternspannung, gemeldet in Nanometern pro Zentimeter: ein Lichtstrahl, der durch belastetes Glas geht, spaltet sich in zwei Komponenten mit einem Wegunterschied Δn·t,Und der Grad ist einfach die DeckeDie Grade A beträgt ≤2 nm/cm, B ≤5, C ≤5, D ≤10.Streifen, oder Streifen Schichtveränderungen des Brechungsindex, die durch den Ablagerungsprozess zurückgelassen werden, die ZTSQ-02 zu keinem Streifen in eine Richtung kontrolliert.Übertragung, gemessen pro Los im Arbeitswellenlängenband und kritisch bei 193 nm und 248 nm.

Wenn man diese vier Zahlen zusammen liest, beschreibt sie die optische Homogenität: wie stark sich das Material biegen, spalten oder Licht absorbieren wird, das es nicht berühren darf.,Der Hersteller entscheidet in der Regel, welchen synthetischen Quarz ein Lithographie-Kunde verwenden darf.

PQ800E / PQ800EH ¢ Schlüsseltechnische Parameter

3Warum es wichtig ist: Vier Vorteile, die die Betriebszeit von Werkzeugen verändern

Die Käufer kommen zu einer synthetischen Spezifikation, weil etwas in ihrem optischen Pfad aus der Grenze läuft.

1Absorption und Solarisierung bei 193 nm.Ein natürlicher Quarzkörper mit ein paar ppm Eisen absorbiert im Schwanz des Bandes,lokal erwärmt und bildet FarbzentrenDie Übertragung fällt über die Lebensdauer der Optik ab.Deshalb wird jede ArF-Fotomaske aus einem synthetischen Substrat hergestellt, nicht aus einem natürlichen.Für alle, die nach einemKunstquarz für Fotomasken-SubstrateQuelle, dies ist der Qualifikationstest, der über den Vertrag entscheidet.

2Polarisierungsbudget in der Projektionsoptik.Die Belastungsdoppelbrechung verschwimmt nicht nur die Wellenfront, sondern dreht und verzögert die Polarisierung, und moderne Scanner steuern die Polarisierung der Beleuchtung genau, um den Bildkontrast zu verbessern.Ein Linsenelement bei 10 nm/cm trägt zur Verzögerung bei, die der Beleuchtungsoptimierer nicht kompensieren kannDie Größe A bei ≤ 2 nm/cm besteht, weil die optische Konstruktion davon ausgeht.

3Bildgleichheit und Streifen.Das durch Ablagerung gewachsene Glas kann feine, geschichtete Indexvariationen tragen, die als Niedrigfrequenz-Nicht-Einheitlichkeit über ein Feld hinweg gedruckt werden.Eine “keine Strecke in eine Richtung” ist die Behauptung des Lieferanten, dass die Karosserie optisch in der vorgesehenen Ausrichtung nutzbar ist., und gehört nicht nur zur Broschüre, sondern auch in die Beschaffungsbeschreibung.hoch homogenes geschmolzenes KieselsäureDie beiden Messgrößen, die die tatsächliche Qualität von der Marktqualität unterscheiden, sind die Anforderungen, die Striae und die Doppelbrechbarkeit.

4- Versorgungsrisiko für natürlichen Quarz.Naturquarz in Halbleiterqualität hängt von einer kleinen Anzahl von Erzvorkommen mit gleicher Chemie ab, und diese Kette wird immer enger, wenn die Nachfrage steigt.Synthetische Kapazitäten sind kapitalintensiv, aber unabhängig von Rohstoffen: es skaliert mit Reaktoren, nicht mit Minen. Eine Kapazität von 200 Tonnen pro Monat, eine Mindestbestellung von 20 kg, die NPI-Bauten unterstützt, Lieferung in 30~45 Tagen und sechs Zertifizierungswege (MSDS, RoHS, REACH,ISO-NummernDie Methode, wie sie in den meisten Ländern angewandt wird, ist eine sehr einfache Methode, um die synthetische Route zu einer praktischen zweiten Quelle zu machen, anstatt nur eine Labor-Kuriosität zu sein.Preis pro kg synthetisches geschmolzenes KieselsäureGegen die Kosten einer fehlgeschlagenen Lithografie finden wir selten die Arithmetik.

Der Nebeneffekt ist die Dokumentation: Jede Charge kann mit den gleichen optischen und chemischen Methoden charakterisiert werden, die der Kunde verwendet.Also ist die eingehende Inspektion eher ein Überprüfungsschritt als ein Glaubensakt .

4Wie es in der realen Produktion funktioniert: Vom Zylinder zum qualifizierten Bauteil

Synthetischer Quarz ist einfach zu kaufen und unerbittlich schlecht zu spezifizieren.mit den Parametern, die in der Bestellung gehören.

Schritt 1

Der Grad folgt der Wellenlänge und der Geometrie. Ein 193 nm großes Fotomaskensubstrat in einem Scanner mit Polarisationskontrolle benötigt einen Grad A (≤2 nm/cm) und eine Übertragungsmessung bei der Arbeitswellenlänge.Ein 248 nm-Excimerfenster in einem industriellen Laser kann häufig Grade B oder C annehmen, wobei ≤ 5 nm/cm ausreichend ist, da der Strahl keine Bildgebung erzeugt. Eine metrologische Referenzfläche kann bei ≤ 10 nm/cm die Klasse D annehmen.Die Einfügung des Qualitätsbriefes und der Messmethode in die Spezifikation verhindert den klassischen Streit, bei dem Lieferant und Kunde der Ansicht sind, dass sie “Standardmaterial” ausgeliefert oder gekauft haben..

Schritt 2

ZTSQ-02 wird als Ingots und Blöcke geliefert; die fertigen Substrate werden geschnitten, gemahlen, geschliffen und poliert.die Oberflächenqualität und den Stoff, den Sie bei jedem Vorgang entfernen müssenDie Belastungsdoppelbrechbarkeit ist eine Masse-Eigenschaft, so dass ein Blank mit übermäßiger Restbelastung nicht aus dem Problem gelöst werden kann, aber ein schlecht sequenzierter Schleifen kann es hinzufügen.Die Schritte der Aufheizung und der Belastungsentlastung zwischen großer und feiner Schleifung halten die gelieferte Zahl in der Qualität.

Schritt 3 Angabe der Prüfung und deren Überprüfung

Vier Messungen tragen die Qualifikation: Birefringenz durch Polarimeter- oder Querschnittspolariser-Mapping, gemeldet als Maximum und eine Verteilung über die klare Blende, nicht ein einzelner Punktwert.Übertragung per Spektrophotometer über 190 ∼ 250 nm, bezogen auf die eigene Ausgangslinie des Kunden; Streifen durch Schattengraphie oder Dunkelfeldprüfung in der Anwendungsrichtung; Spurenmetalle durch ICP-MS;Elemente für Elemente Bitte um die Rohdaten, nicht um den Passstempel.

Schritt 4 Reinigung und Handhabung für die Werkzeugklasse

Der Standarddurchfluss ist eine kontrollierte Säure- oder HF-basierte Ätzung, soweit die Konstruktion dies zulässt, Überlaufspülung in deionisiertem Wasser auf 18,2 MΩ·cm, anschließende Filter-Stickstoff-Trocknung.Verpackung für den Versand ist ein sauberer Kunststoff-Siegelbeutel in einem Masterkarton in einer hölzernen KisteAlles, was nach der Reinigung berührt wird, muss erneut gereinigt werden; Optik, die in einem nicht-Reinigungsraum behandelt wird, kommt mit der Kontamination, vor der sie geschützt wurde.

Schritt 5  Einsatz in der optischen Bahn

In Fotomasken ist das synthetische Substrat die mechanische und optische Grundlage für den Absorberstapel, so dass sich Flachheit und Zweibrüchigkeit direkt in Überlagerung und kritische Dimension ausbreiten.In DUV-ProjektionslinsenIn den Exzimer-Laserfenstern wird die Verzögerung der einzelnen Oberflächen erhöht, wobei ein Leerzeichen der Klasse A an der Vorderseite des Stapels die Marge für die gesamte Anlage erhält.die Anforderung ist Absorption zuzüglich Schadensbeständigkeit bei 193 oder 248 nm unter pulsierter FlüssigkeitIn der Waferprüfung und -messtechnik wird durch eine flache Waferbrechung mit geringer Birefringenz ermittelt, ob eine phaseempfindliche Messung real ist.

Schritt 6 Verriegeln des Nachfüllmodells

Synthetischer Quarz ist ein regelmäßiger Vorgang, nicht ein einmaliger.das praktikable Modell ist eine rollende Prognose mit einem Pufferbestand, der dem Polierzyklus entspricht.L/C, D/A, D/P und T/T erstrecken sich von einer NPI-Stichprobe bis hin zu einer Jahresvereinbarung.und das Zitat folgt ohne eine Reihe von Klarstellungen.

5. häufig gestellte Fragen

Was ist synthetischer Quarz und wie unterscheidet er sich von natürlichem Quarz?

Kunstquarz ist SiO₂aus einem gereinigten Siliziumvorläufer gewonnen typischerweise durch Flammenhydrolyse von SiCl₄- ∆ dann in Glas verglaset. Natürlicher Quarz wird aus Mineralerz geschmolzen. Der synthetische Weg enthält kein aus dem Erz abgeleitetes Aluminium, Eisen oder Alkali, erzeugt keine Mineralverbindungen,und gibt eine viel engere optische Homogenität, weshalb die DUV-Lithographie es verwendet.

F2. Was bedeutet Belastungsdoppelbrechungsgrad A, B, C oder D?

Der Grad ist die Obergrenze für die Rückspannungsdoppelbrechbarkeit in Nanometern pro Zentimeter Strecke gemessen: Grad A ≤2 nm/cm, Grad B ≤5, Grad C ≤5, Grad D ≤10 auf dem Datenblatt ZTSQ-02.Niedrigere Werte sind für polarisierungsempfindliche Bildgebung von BedeutungDie Klasse A ist in der Regel für 193 nm-Fotomasken-Substrate und Projektionsobjektivelemente vorgesehen.

F3: Warum spielt es keine Rolle, ob die Strecke in eine Richtung geht?

Streak oder Striae sind Schichtbrechungsindex-Variationen, die durch den Ablagerungsprozess zurückgelassen werden.Eine Angabe, dass kein Streifen in der Benutzungsrichtung vorhanden ist, bestätigt, dass die Karosserie in dieser Ausrichtung optisch nutzbar ist., und gehört eher in die Beschaffungsbeschreibung als in die Broschüre.

Q4. Welche MOQ, Lieferzeit und Kapazität sind verfügbar?

Mindestbestellmenge beträgt 20 kg, die die Konstruktion und den Bau von NPI abdeckt. Die Lieferung dauert 30-45 Tage nach FOB Shanghai, wobei L / C, D / A, D / P und T / T akzeptiert werden. Die monatliche Kapazität beträgt 200 Tonnen,so dass die Skalierung nach der Qualifizierung keine neue Lieferkette oder einen neuen Qualifizierungszyklus erfordert- Bitte um den Versandplan, der mit dem Angebot ausgestellt wird.

F. Welche Reinheit und Dokumentation sollten wir verlangen?

Angabe von SiO₂über 99,99 % mit Spurenelementen, die von der ICP-MS einzeln gemeldet werden, sowie Losdaten für Doppelbrechung, Striae und Übertragung.BV- und Intertek-StandardsDas ist das Set, das die meisten Lithographie- und Optikprüfungen verlangen.

F6. Kann das Material als fertige polierte Teile geliefert werden?

ZTSQ-02 wird in Form von Ingots und Blöcken geliefert, von denen die fertigen Substrate geschnitten, gemahlen und poliert werden.und wir werden bestätigen, welche Qualität und Blindgröße die Spezifikation nach dem Polieren halten wird, einschließlich der zwischen den Schleifvorgängen erforderlichen Spannungsentlastungsschritte.

6Schlussfolgerung.

Synthetischer Quarz ist keine Premium-Version des natürlichen Quarzes; es ist ein anderes Material mit einer anderen Verunreinigungsphysik.Die kontrollierte Belastungsdoppelbrechbarkeit und die fehlende Streifenrichtung ermöglichen es einem optischen Pfad von 193 nm, sein Polarisierungsbudget und seine Übertragung über die gesamte Lebensdauer der Produktion zu haltenEin natürlicher Körper mit ppm-Eisen absorbiert und solarisiert; ein Körper bei 10 nm/cm verlangsamt die Polarisierung, die der Scanner gerade optimiert hat.

Die Spezifikation ist also das Produkt, geben Sie die Wellenlänge, die Qualität und die Blende an, und das Material erfüllt sie entweder oder nicht, was genau die Klarheit ist, die ein optisches Programm braucht.

ZTSQ-02 liefert diese drei Nummern mit einem Einstiegspunkt von 20 kg, einer monatlichen Kapazität von 200 Tonnen und einer Lieferung innerhalb von 30-45 Tagen von der FOB Shanghai.Nächster Schritt:Schicken Sie uns Ihre Zeichnung, Arbeitswellenlänge und erforderlichen Zweibruchgrad. Wir senden Ihnen eine Materialempfehlung, eine leere Größe und ein Angebot zurück.oder laden Sie das Datenblatt ZTSQ-02 herunter, um die Spezifikationen vor Ihrem nächsten Qualifikationszyklus zu vergleichen.