합성 쿼츠 반도체물질은 193nm 리토그래피에 게팅 입력물이 되었고, NTCM (ZTT 그룹) 의 ZTSQ-02 등급은 실제로 중요한 숫자에 대해 지정되었습니다: SiO2순수성 99.99% 이상, A급의 ≤2nm/cm에서 D급의 ≤10nm/cm까지의 스트레스 쌍결성, 단방향의 스트레이가 없는데, 모두 롯별로 검증되었습니다.이 물질은 인위적으로 만들어 졌기 때문에 알루미늄이 들어있지 않습니다.천연 쿼츠가 가져오는 철 또는 알칼리 서명, 순도 표기보다는 등급 글자가 빈 광선이 어떤 광 경로를 사용할 수 있는지 결정합니다.그것은 광 마스크 기판을위한 잉글과 블록으로 배송됩니다., DUV 렌즈 요소, 엑시머 창 및 측정 광학, 최소 주문 20kg, 월 200 메트릭 톤 용량, 30~45 일 배송 FOB 상하이 조건과 MSDS, RoHS에 대한 문서,REACH, ISO, GS, BV, 인터텍
합성 쿼츠는 녹는 바위보다는 화학적 퇴적에 의해 생성되는 amorphous 실리콘 이산화입니다.4) 는 산소-수소 불로 공급되며, 물과 반응하여 SiO를 형성합니다.2이 소염은 약 1,700~1,800°C의 온도에서 밀도가 높은 투명한 유리로 유리화됩니다.플라즈마 화학 증기 퇴적과 솔 젤 경로는 그와 함께 존재하며 다른 하이드록실 수치를 가진 변종을 생성합니다., 하지만 그 원리는 모두 동일합니다: 실리콘은 미네랄이 아닌 정제된 가스나 액체로 도착합니다. 따라서 오염 프로필은 지질학이 아닌 화학에 의해 결정됩니다.
이 차이는 상업적 주장의 전부입니다. 자연 쿼츠는 알루미늄, 나트륨, 칼륨, 리??, 철 및 티타늄을 광석에서그리고 정화 는 제거 하는 것 이 아니라 감소 시킨다합성물질은 소화 된 전초 물질로 시작되므로 잔류 금속 함량은그리고 미네랄 포함의 부재는 거품과 입자 씨앗이 없는 몸을 의미합니다.깊은 자외선 전송의 경우, 이것은 결정적입니다: 193 nm에서 ppm 수준의 철 또는 단일 포함은 에너지를 흡수하고 색 센터를 생성하고 궁극적으로 광학을 손상시키는 데 충분합니다.
4가지 사양이 합성 쿼츠를 정의합니다.순수성, SiO로 표시2ZTSQ-02 가족에 대한 99.99% 이상스트레스 이중복절성, 잔류 내부 스트레스의 광 탄력 서인, 센티미터당 나노미터로 표시: 스트레스 된 유리를 통과하는 광선은 경로 차이 Δn·t와 두 구성 요소로 갈라집니다.그리고 등급은 단순히 천장입니다.A급은 ≤2nm/cm, B급은 ≤5, C급은 ≤5, D급은 ≤10.스트레이크, 또는 스트라이어 층적 굴절 지수 변동 퇴적 과정에 의해 남겨진 ZTSQ-02가 한 방향으로 스트라이어 없이 제어. 그리고전송, 작업 파장 대역을 통한 롯별로 측정되며 193 nm 및 248 nm에서 결정적입니다.
함께 읽으면, 이 네 숫자는 광학적 균일성을 설명합니다. 물질이 얼마나 휘어지거나 분해되거나 빛을 흡수하는지,,일반적으로 리토그래피 고객이 어떤 합성 쿼츠를 사용할 수 있는지 결정합니다.
| 재산 | 가치 | 중요 한 이유 |
|---|---|---|
| SiO2순수성 | 990.9999 % (6N) | 웨이퍼 가공에 대한 금속 오염 예산 |
| 밀도 | 2.2g/cm3 | 롯의 일관성 및 재료 식별 |
| 열전도 (1000 °C) | 2.28 W/m·K | 더 평평한 열 gradients, 낮은 충격 스트레스 |
| 열 확장 계수 | 5.5 × 10-7/°C | 열 충격 저항성, 차원 안정성 |
| 완화점 | 1,670 °C | 튜브 도출 / 형성 온도 |
| 반열점 | 1,210 °C | 가공 후 스트레스 완화 |
| 스트레인 포인트 | 1,110 °C | 차원 안정성을 위한 실용적인 천장 |
| MOQ / 용량 | 월 50kg / 2,000t | 파일럿은 부피 램프를 통해 구축 |
| 배달 / 조건 | 30~45일, 상하이 FOB | L/C, D/A, D/P, T/T |
구매자들은 광학 경로에서 무언가가 변수를 다하고 있기 때문에 합성 사양에 도달합니다. 네 가지 고장 모드가 반복되며, 각 모드는 유리 특성에 매핑됩니다.
1흡수 및 태양화 193 nm.DUV 리토그래피 광자는 6.4 eV를 운반합니다.지역적으로 뜨고 색상 중심부를 형성합니다.광학의 수명 기간 동안 전송량은 떨어집니다. 광석에서 파생된 금속이 없는 합성 물질은 훨씬 더 깨끗한 흡수 가장자리를 가지고 있습니다.그렇기 때문에 모든 ArF 사진 마스크는 자연 물질이 아닌 합성 물질로 만들어집니다.- 그 누구라도광 마스크 기판용 합성 쿼츠근원, 이것은 계약에 결정하는 자격 시험입니다.
2투사 광학에서 극진 예산.스트레스 이중 굴절은 단순히 파장을 흐리게 하는 것이 아니라, 회전하고 양극화를 늦추며, 현대 스캐너는 이미지 대조를 향상시키기 위해 정확하게 조명 양극화를 제어합니다.10nm/cm의 렌즈 요소는 조명 최적화 장치가 보상할 수 없는 retardance에 기여합니다.. 2 nm/cm의 A 등급은 광학 설계가 그것을 가정하기 때문에 존재합니다. 등급을 지정하는 것은 보상기를 재설계하는 것보다 더 저렴합니다.
3- 이미지 균일성 및 스트라이어퇴적으로 자라는 유리는 현장을 가로질러 낮은 주파수 비일관성으로 인쇄되는 세세하고 계층화된 지표 변형을 가지고 있습니다.한 방향의 스트리크가 없다는 진술은 공급업체의 입체가 의도된 방향에서 광학적으로 사용할 수 있다는 주장입니다., 그리고 그것은 단지 브로셔가 아니라 구매 사양에 속합니다.고일원성 융합 실리카요구 사항, 스트라이어와 바이어브리전스 두 가지 측정은 실제 품질과 시장 품질을 구분합니다.
4자연 쿼츠의 공급 위험반도체 품질의 자연 쿼츠는 화학적으로 일관된 소수의 광석 퇴적물에 의존하고 있으며 수요가 증가할 때마다 그 사슬은 꽉 막히게 됩니다.합성 생산량은 자본이 많이 필요하지만 원료와는 무관합니다.: 광산이 아닌 원자로로 확장됩니다. 한 달에 200 메트릭 톤의 용량, NPI 구축을 지원하는 20kg 최소 주문, 30~45일 배송 및 여섯 가지 인증 경로 (MSDS, RoHS, REACH,ISO, GS, BV, Intertek) 는 합성 경로를 실험실 호기심보다는 실용적인 두 번째 원천으로 만듭니다.합성 녹은 실리카의 1kg 가격실패한 리토그래피의 비용에 비해 거의 수학적 근접을 찾지 못합니다.
부대적인 이점은 문서화입니다. 각 롯은 고객이 사용하는 동일한 광학 및 화학적 방법으로 특징 지을 수 있습니다.그래서 들어오는 검사는 믿음의 행위가 아닌 검증 단계입니다. 사진 마스크 빈지 및 엑시머 창문에서 웨이퍼 검사 광학 및 참조 평면까지.
합성 쿼츠는 구입하기 쉽고, 설명하기는 쉽지 않습니다. 아래의 순서는 물질이 ZTSQ-02 블록에서구매 주문에 속하는 매개 변수와.
등급은 파장과 기하학에 따라 이루어집니다. 편광 조절이 가능한 스캐너에 있는 193nm 광 마스크 기판은 A등급 (≤2nm/cm) 과 작업 파장에서의 전송 측정이 필요합니다.산업용 레이저의 248nm 엑시머 창은 종종 B 또는 C 등급을 받아들일 수 있습니다., 광선이 이미지가 아니기 때문에 ≤5 nm/cm가 충분합니다. 측정 기준 평면은 ≤10 nm/cm에서 D 등급을 취할 수 있습니다.등급 문자와 측정 방법을 사양에 적어 놓으면 공급자와 고객이 각각 ′′표준"자재를 배송하거나 구입했다고 믿는 고전적인 분쟁이 발생하지 않습니다..
ZTSQ-02는 링크와 블록으로 공급됩니다. 완성 된 기판은 그로부터 잘라지고, 닦아지고, 랩되고, 닦입니다. 상태 완성 두께, 평면성,표면 품질 및 각 작업에서 제거해야 할 재고스트레스 이중 굴절은 대량 특성이기 때문에 과도한 잔류 스트레스가있는 빈 부분은 문제를 제거 할 수 없지만 잘 순서화되지 않은 맷은 추가 할 수 있습니다.거칠고 얇은 썰기 사이의 반열화 및 스트레스 완화 단계는 등급 내부에 전달 번호를 유지하는 것입니다.
네 가지 측정은 자격을 가지고 있습니다. 극도 측정기 또는 교차 극도 지도에 의한 빗방향, 최대로 보고되고 선명한 개도 전체에 대한 분포, 단일 스팟 값이 아닙니다.스펙트럼 포토미터로 190~250 nm 가로로 전송사용 방향에서 그림자 그래프 또는 어두운 필드 검사를 통해 스트라이어 ICP-MS로 미세 금속을 탐지합니다.원소별로 원소 전체 순도 수치 ∆ DUV에서 중요한 요소를 정확히 숨깁니다.무작위 데이터를 요청해, 패스 스탬프를 요구하지 마
표준 흐름은 설계가 허용하는 경우 제어 된 산성 또는 HF 기반의 발각이며, 비이온화 물로 18.2 MΩ · cm까지 넘쳐 나게 씻어내고, 필터링 된 질소 건조입니다.운송용 포장은 20kg 표준 포장에 사용되는 동일한 순서와 같은 목재 상자 안의 마스터 카튼 안에 깔끔한 플라스틱 밀폐 봉지입니다.청소 후 만지는 모든 것은 다시 청소해야합니다. 클린룸이 아닌 영역에서 취급되는 광학은 보호 된 오염과 함께 도착합니다.
사진 마스크 빈지에서는 합성 기판이 흡수 스택의 기계적 및 광학적 기초가므로 평면성과 쌍결절이 직접 덮개와 중요한 차원으로 전파됩니다.DUV 프로젝션 렌즈, 각 표면의 retardance가 추가되는 그룹으로 구성됩니다. 스택 앞쪽에 있는 A등급 빈은 전체 집합에 대한 마진을 구입합니다.요구 사항은 펄스 플루언스 하에서 193 nm 또는 248 nm에서 흡수 및 손상 저항입니다.웨이퍼 검사 및 측정학에서, 낮은 비어브리랑스 평면은 단계 민감한 측정이 실제인지 여부를 결정합니다.
합성 쿼츠는 한 번이 아니라 반복적으로 공급되는 물질입니다. 한 달에 200톤의 용량, 20kg의 최소 주문량,실행 가능한 모델은 닦기 주기에 맞게 크기가 된 버퍼 스톡을 가진 롤링 예측입니다.L/C, D/A, D/P 및 T/T는 NPI 샘플 주문에서 연간 계약까지의 범위를 포함합니다. 도면, 파장 및 등급 편지를 보내십시오.그리고 이 인용문은 명확히 해명하지 않고.
합성 쿼츠는 SiO입니다.2정제된 실리콘 전구물로부터 득성된 것 (通常 SiCl의 화염 수분분으로)4- 그 후 유리화 됩니다. 천연 쿼츠는 광석 광석에서 녹입니다. 합성 경로는 광석에서 파생 된 알루미늄, 철 또는 알칼리를 가지고 있지 않으며, 광물 포함을 생성하지 않습니다.그리고 훨씬 더 단단한 광학적 균일성을 제공합니다.그래서 DUV 리토그래피에서 사용합니다.
등급은 경로 센티미터당 나노미터로 측정된 잔류 스트레스 이중 굴절의 최고수준입니다: ZTSQ-02 데이터 시트에서 A등급 ≤2nm/cm, B등급 ≤5, C등급 ≤5, D등급 ≤10.양극화 민감한 영상 촬영에서 낮은 값은 중요합니다.A급은 일반적으로 193nm 광 마스크 기판 및 프로젝션 렌즈 요소에 대해 지정됩니다.
스트레이크 (streak, striae) 는 퇴적 과정에 의해 남겨진 층화된 굴절 지수 변동이다. 영상 필드 전체에 낮은 주파수 불일치로 인쇄되며 닦아 수정할 수 없다.사용 방향의 스트라이크가 없다는 선언은 바디가 그 방향에서 광학적으로 사용할 수 있음을 확인합니다., 그리고 그것은 프로포즈보다는 구매 사양에 속합니다.
최소 주문 양은 20kg이며, 엔지니어링 및 NPI 구축을 포함합니다. 배송은 FOB 상하이 조건으로 30~45 일, L / C, D / A, D / P 및 T / T가 받아 들여집니다. 월간 용량은 200 메트릭 톤입니다.따라서 자격을 얻은 후 확장하는 것은 새로운 공급망이나 새로운 자격 순환을 필요로 하지 않습니다.- 배송 스케줄을 요청해
SiO를 지정합니다.299.99% 이상, ICP-MS에 의해 요소별로 보고된 미세 금속, 더하여 쌍결절, 스트라이어 및 전송에 대한 롯 데이터. MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS에 문서화 된 ZTSQ-02 선박BV 및 Intertek 표준이 세트는 대부분의 리토그래피와 광학 감사에서 요구되는 세트입니다.
ZTSQ-02은 덩어리와 블록으로 공급되며, 완성 된 기판은 그로부터 잘라지고, 깎아 닦아집니다. 평면, 두께 및 표면 품질과 함께 완성 된 도면을 보내십시오.그리고 우리는 어떤 등급과 빈 크기가 닦은 후에 사양을 유지할 것을 확인합니다, 그 중 깎는 작업 사이에 필요한 스트레스 완화 단계를 포함합니다. 완성된 부품 공급은 도면에 따라 표시됩니다.
합성 쿼츠는 자연 쿼츠의 고급 버전이 아닙니다. 그것은 다른 오염 물리학과 다른 재료입니다.제어 된 스트레스 양절감 및 사용 방향의 스트레이가 없으므로 193nm 광 경로가 양극화 예산과 생산 수명 내내 전송을 유지할 수 있습니다.ppm 수준의 철을 가진 자연 물질은 흡수하고 태양화 될 것입니다; 10nm / cm의 물질은 스캐너가 최적화 한 양극화를 늦추게됩니다.
그래서 사양은 제품입니다. 파장, 등급, 개도 등등을 지정하고, 재료는 이를 충족시키거나 그렇지 않습니다.
ZTSQ-02는 20kg 출입점, 200 메트릭 톤의 월용량과 30~45일 FOB 상하이에서 이 세 숫자를 배달합니다.다음 단계:당신의 도면, 작업 파장과 요구되는 빗방향도 보내십시오 우리는 재료 추천, 빈 크기와 제안을 반환합니다또는 ZTSQ-02 데이터 시트를 다운로드 다음 자격 순환 전에 사양을 비교.
합성 쿼츠 반도체물질은 193nm 리토그래피에 게팅 입력물이 되었고, NTCM (ZTT 그룹) 의 ZTSQ-02 등급은 실제로 중요한 숫자에 대해 지정되었습니다: SiO2순수성 99.99% 이상, A급의 ≤2nm/cm에서 D급의 ≤10nm/cm까지의 스트레스 쌍결성, 단방향의 스트레이가 없는데, 모두 롯별로 검증되었습니다.이 물질은 인위적으로 만들어 졌기 때문에 알루미늄이 들어있지 않습니다.천연 쿼츠가 가져오는 철 또는 알칼리 서명, 순도 표기보다는 등급 글자가 빈 광선이 어떤 광 경로를 사용할 수 있는지 결정합니다.그것은 광 마스크 기판을위한 잉글과 블록으로 배송됩니다., DUV 렌즈 요소, 엑시머 창 및 측정 광학, 최소 주문 20kg, 월 200 메트릭 톤 용량, 30~45 일 배송 FOB 상하이 조건과 MSDS, RoHS에 대한 문서,REACH, ISO, GS, BV, 인터텍
합성 쿼츠는 녹는 바위보다는 화학적 퇴적에 의해 생성되는 amorphous 실리콘 이산화입니다.4) 는 산소-수소 불로 공급되며, 물과 반응하여 SiO를 형성합니다.2이 소염은 약 1,700~1,800°C의 온도에서 밀도가 높은 투명한 유리로 유리화됩니다.플라즈마 화학 증기 퇴적과 솔 젤 경로는 그와 함께 존재하며 다른 하이드록실 수치를 가진 변종을 생성합니다., 하지만 그 원리는 모두 동일합니다: 실리콘은 미네랄이 아닌 정제된 가스나 액체로 도착합니다. 따라서 오염 프로필은 지질학이 아닌 화학에 의해 결정됩니다.
이 차이는 상업적 주장의 전부입니다. 자연 쿼츠는 알루미늄, 나트륨, 칼륨, 리??, 철 및 티타늄을 광석에서그리고 정화 는 제거 하는 것 이 아니라 감소 시킨다합성물질은 소화 된 전초 물질로 시작되므로 잔류 금속 함량은그리고 미네랄 포함의 부재는 거품과 입자 씨앗이 없는 몸을 의미합니다.깊은 자외선 전송의 경우, 이것은 결정적입니다: 193 nm에서 ppm 수준의 철 또는 단일 포함은 에너지를 흡수하고 색 센터를 생성하고 궁극적으로 광학을 손상시키는 데 충분합니다.
4가지 사양이 합성 쿼츠를 정의합니다.순수성, SiO로 표시2ZTSQ-02 가족에 대한 99.99% 이상스트레스 이중복절성, 잔류 내부 스트레스의 광 탄력 서인, 센티미터당 나노미터로 표시: 스트레스 된 유리를 통과하는 광선은 경로 차이 Δn·t와 두 구성 요소로 갈라집니다.그리고 등급은 단순히 천장입니다.A급은 ≤2nm/cm, B급은 ≤5, C급은 ≤5, D급은 ≤10.스트레이크, 또는 스트라이어 층적 굴절 지수 변동 퇴적 과정에 의해 남겨진 ZTSQ-02가 한 방향으로 스트라이어 없이 제어. 그리고전송, 작업 파장 대역을 통한 롯별로 측정되며 193 nm 및 248 nm에서 결정적입니다.
함께 읽으면, 이 네 숫자는 광학적 균일성을 설명합니다. 물질이 얼마나 휘어지거나 분해되거나 빛을 흡수하는지,,일반적으로 리토그래피 고객이 어떤 합성 쿼츠를 사용할 수 있는지 결정합니다.
| 재산 | 가치 | 중요 한 이유 |
|---|---|---|
| SiO2순수성 | 990.9999 % (6N) | 웨이퍼 가공에 대한 금속 오염 예산 |
| 밀도 | 2.2g/cm3 | 롯의 일관성 및 재료 식별 |
| 열전도 (1000 °C) | 2.28 W/m·K | 더 평평한 열 gradients, 낮은 충격 스트레스 |
| 열 확장 계수 | 5.5 × 10-7/°C | 열 충격 저항성, 차원 안정성 |
| 완화점 | 1,670 °C | 튜브 도출 / 형성 온도 |
| 반열점 | 1,210 °C | 가공 후 스트레스 완화 |
| 스트레인 포인트 | 1,110 °C | 차원 안정성을 위한 실용적인 천장 |
| MOQ / 용량 | 월 50kg / 2,000t | 파일럿은 부피 램프를 통해 구축 |
| 배달 / 조건 | 30~45일, 상하이 FOB | L/C, D/A, D/P, T/T |
구매자들은 광학 경로에서 무언가가 변수를 다하고 있기 때문에 합성 사양에 도달합니다. 네 가지 고장 모드가 반복되며, 각 모드는 유리 특성에 매핑됩니다.
1흡수 및 태양화 193 nm.DUV 리토그래피 광자는 6.4 eV를 운반합니다.지역적으로 뜨고 색상 중심부를 형성합니다.광학의 수명 기간 동안 전송량은 떨어집니다. 광석에서 파생된 금속이 없는 합성 물질은 훨씬 더 깨끗한 흡수 가장자리를 가지고 있습니다.그렇기 때문에 모든 ArF 사진 마스크는 자연 물질이 아닌 합성 물질로 만들어집니다.- 그 누구라도광 마스크 기판용 합성 쿼츠근원, 이것은 계약에 결정하는 자격 시험입니다.
2투사 광학에서 극진 예산.스트레스 이중 굴절은 단순히 파장을 흐리게 하는 것이 아니라, 회전하고 양극화를 늦추며, 현대 스캐너는 이미지 대조를 향상시키기 위해 정확하게 조명 양극화를 제어합니다.10nm/cm의 렌즈 요소는 조명 최적화 장치가 보상할 수 없는 retardance에 기여합니다.. 2 nm/cm의 A 등급은 광학 설계가 그것을 가정하기 때문에 존재합니다. 등급을 지정하는 것은 보상기를 재설계하는 것보다 더 저렴합니다.
3- 이미지 균일성 및 스트라이어퇴적으로 자라는 유리는 현장을 가로질러 낮은 주파수 비일관성으로 인쇄되는 세세하고 계층화된 지표 변형을 가지고 있습니다.한 방향의 스트리크가 없다는 진술은 공급업체의 입체가 의도된 방향에서 광학적으로 사용할 수 있다는 주장입니다., 그리고 그것은 단지 브로셔가 아니라 구매 사양에 속합니다.고일원성 융합 실리카요구 사항, 스트라이어와 바이어브리전스 두 가지 측정은 실제 품질과 시장 품질을 구분합니다.
4자연 쿼츠의 공급 위험반도체 품질의 자연 쿼츠는 화학적으로 일관된 소수의 광석 퇴적물에 의존하고 있으며 수요가 증가할 때마다 그 사슬은 꽉 막히게 됩니다.합성 생산량은 자본이 많이 필요하지만 원료와는 무관합니다.: 광산이 아닌 원자로로 확장됩니다. 한 달에 200 메트릭 톤의 용량, NPI 구축을 지원하는 20kg 최소 주문, 30~45일 배송 및 여섯 가지 인증 경로 (MSDS, RoHS, REACH,ISO, GS, BV, Intertek) 는 합성 경로를 실험실 호기심보다는 실용적인 두 번째 원천으로 만듭니다.합성 녹은 실리카의 1kg 가격실패한 리토그래피의 비용에 비해 거의 수학적 근접을 찾지 못합니다.
부대적인 이점은 문서화입니다. 각 롯은 고객이 사용하는 동일한 광학 및 화학적 방법으로 특징 지을 수 있습니다.그래서 들어오는 검사는 믿음의 행위가 아닌 검증 단계입니다. 사진 마스크 빈지 및 엑시머 창문에서 웨이퍼 검사 광학 및 참조 평면까지.
합성 쿼츠는 구입하기 쉽고, 설명하기는 쉽지 않습니다. 아래의 순서는 물질이 ZTSQ-02 블록에서구매 주문에 속하는 매개 변수와.
등급은 파장과 기하학에 따라 이루어집니다. 편광 조절이 가능한 스캐너에 있는 193nm 광 마스크 기판은 A등급 (≤2nm/cm) 과 작업 파장에서의 전송 측정이 필요합니다.산업용 레이저의 248nm 엑시머 창은 종종 B 또는 C 등급을 받아들일 수 있습니다., 광선이 이미지가 아니기 때문에 ≤5 nm/cm가 충분합니다. 측정 기준 평면은 ≤10 nm/cm에서 D 등급을 취할 수 있습니다.등급 문자와 측정 방법을 사양에 적어 놓으면 공급자와 고객이 각각 ′′표준"자재를 배송하거나 구입했다고 믿는 고전적인 분쟁이 발생하지 않습니다..
ZTSQ-02는 링크와 블록으로 공급됩니다. 완성 된 기판은 그로부터 잘라지고, 닦아지고, 랩되고, 닦입니다. 상태 완성 두께, 평면성,표면 품질 및 각 작업에서 제거해야 할 재고스트레스 이중 굴절은 대량 특성이기 때문에 과도한 잔류 스트레스가있는 빈 부분은 문제를 제거 할 수 없지만 잘 순서화되지 않은 맷은 추가 할 수 있습니다.거칠고 얇은 썰기 사이의 반열화 및 스트레스 완화 단계는 등급 내부에 전달 번호를 유지하는 것입니다.
네 가지 측정은 자격을 가지고 있습니다. 극도 측정기 또는 교차 극도 지도에 의한 빗방향, 최대로 보고되고 선명한 개도 전체에 대한 분포, 단일 스팟 값이 아닙니다.스펙트럼 포토미터로 190~250 nm 가로로 전송사용 방향에서 그림자 그래프 또는 어두운 필드 검사를 통해 스트라이어 ICP-MS로 미세 금속을 탐지합니다.원소별로 원소 전체 순도 수치 ∆ DUV에서 중요한 요소를 정확히 숨깁니다.무작위 데이터를 요청해, 패스 스탬프를 요구하지 마
표준 흐름은 설계가 허용하는 경우 제어 된 산성 또는 HF 기반의 발각이며, 비이온화 물로 18.2 MΩ · cm까지 넘쳐 나게 씻어내고, 필터링 된 질소 건조입니다.운송용 포장은 20kg 표준 포장에 사용되는 동일한 순서와 같은 목재 상자 안의 마스터 카튼 안에 깔끔한 플라스틱 밀폐 봉지입니다.청소 후 만지는 모든 것은 다시 청소해야합니다. 클린룸이 아닌 영역에서 취급되는 광학은 보호 된 오염과 함께 도착합니다.
사진 마스크 빈지에서는 합성 기판이 흡수 스택의 기계적 및 광학적 기초가므로 평면성과 쌍결절이 직접 덮개와 중요한 차원으로 전파됩니다.DUV 프로젝션 렌즈, 각 표면의 retardance가 추가되는 그룹으로 구성됩니다. 스택 앞쪽에 있는 A등급 빈은 전체 집합에 대한 마진을 구입합니다.요구 사항은 펄스 플루언스 하에서 193 nm 또는 248 nm에서 흡수 및 손상 저항입니다.웨이퍼 검사 및 측정학에서, 낮은 비어브리랑스 평면은 단계 민감한 측정이 실제인지 여부를 결정합니다.
합성 쿼츠는 한 번이 아니라 반복적으로 공급되는 물질입니다. 한 달에 200톤의 용량, 20kg의 최소 주문량,실행 가능한 모델은 닦기 주기에 맞게 크기가 된 버퍼 스톡을 가진 롤링 예측입니다.L/C, D/A, D/P 및 T/T는 NPI 샘플 주문에서 연간 계약까지의 범위를 포함합니다. 도면, 파장 및 등급 편지를 보내십시오.그리고 이 인용문은 명확히 해명하지 않고.
합성 쿼츠는 SiO입니다.2정제된 실리콘 전구물로부터 득성된 것 (通常 SiCl의 화염 수분분으로)4- 그 후 유리화 됩니다. 천연 쿼츠는 광석 광석에서 녹입니다. 합성 경로는 광석에서 파생 된 알루미늄, 철 또는 알칼리를 가지고 있지 않으며, 광물 포함을 생성하지 않습니다.그리고 훨씬 더 단단한 광학적 균일성을 제공합니다.그래서 DUV 리토그래피에서 사용합니다.
등급은 경로 센티미터당 나노미터로 측정된 잔류 스트레스 이중 굴절의 최고수준입니다: ZTSQ-02 데이터 시트에서 A등급 ≤2nm/cm, B등급 ≤5, C등급 ≤5, D등급 ≤10.양극화 민감한 영상 촬영에서 낮은 값은 중요합니다.A급은 일반적으로 193nm 광 마스크 기판 및 프로젝션 렌즈 요소에 대해 지정됩니다.
스트레이크 (streak, striae) 는 퇴적 과정에 의해 남겨진 층화된 굴절 지수 변동이다. 영상 필드 전체에 낮은 주파수 불일치로 인쇄되며 닦아 수정할 수 없다.사용 방향의 스트라이크가 없다는 선언은 바디가 그 방향에서 광학적으로 사용할 수 있음을 확인합니다., 그리고 그것은 프로포즈보다는 구매 사양에 속합니다.
최소 주문 양은 20kg이며, 엔지니어링 및 NPI 구축을 포함합니다. 배송은 FOB 상하이 조건으로 30~45 일, L / C, D / A, D / P 및 T / T가 받아 들여집니다. 월간 용량은 200 메트릭 톤입니다.따라서 자격을 얻은 후 확장하는 것은 새로운 공급망이나 새로운 자격 순환을 필요로 하지 않습니다.- 배송 스케줄을 요청해
SiO를 지정합니다.299.99% 이상, ICP-MS에 의해 요소별로 보고된 미세 금속, 더하여 쌍결절, 스트라이어 및 전송에 대한 롯 데이터. MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS에 문서화 된 ZTSQ-02 선박BV 및 Intertek 표준이 세트는 대부분의 리토그래피와 광학 감사에서 요구되는 세트입니다.
ZTSQ-02은 덩어리와 블록으로 공급되며, 완성 된 기판은 그로부터 잘라지고, 깎아 닦아집니다. 평면, 두께 및 표면 품질과 함께 완성 된 도면을 보내십시오.그리고 우리는 어떤 등급과 빈 크기가 닦은 후에 사양을 유지할 것을 확인합니다, 그 중 깎는 작업 사이에 필요한 스트레스 완화 단계를 포함합니다. 완성된 부품 공급은 도면에 따라 표시됩니다.
합성 쿼츠는 자연 쿼츠의 고급 버전이 아닙니다. 그것은 다른 오염 물리학과 다른 재료입니다.제어 된 스트레스 양절감 및 사용 방향의 스트레이가 없으므로 193nm 광 경로가 양극화 예산과 생산 수명 내내 전송을 유지할 수 있습니다.ppm 수준의 철을 가진 자연 물질은 흡수하고 태양화 될 것입니다; 10nm / cm의 물질은 스캐너가 최적화 한 양극화를 늦추게됩니다.
그래서 사양은 제품입니다. 파장, 등급, 개도 등등을 지정하고, 재료는 이를 충족시키거나 그렇지 않습니다.
ZTSQ-02는 20kg 출입점, 200 메트릭 톤의 월용량과 30~45일 FOB 상하이에서 이 세 숫자를 배달합니다.다음 단계:당신의 도면, 작업 파장과 요구되는 빗방향도 보내십시오 우리는 재료 추천, 빈 크기와 제안을 반환합니다또는 ZTSQ-02 데이터 시트를 다운로드 다음 자격 순환 전에 사양을 비교.
