सिंथेटिक क्वार्ट्ज सेमीकंडक्टर ग्रेड ZTSQ-02: 99.99% SiO2 फोटमास्क और DUV ऑप्टिक्स के लिए कच्चा माल

1. सारांश

सिंथेटिक क्वार्ट्ज अर्धचालकसामग्री 193 एनएम लिथोग्राफी के लिए गेटिंग इनपुट बन गई है, और एनटीसीएम (जेडटीटी समूह) से ZTSQ-02 ग्रेड उन संख्याओं के विरुद्ध निर्दिष्ट किया गया है जो वास्तव में मायने रखती हैं: SiO₂99.99% से ऊपर शुद्धता, ग्रेड ए में ≤2 एनएम/सेमी से ग्रेड डी में ≤10 एनएम/सेमी तक तनाव द्विअपवर्तन, और एक दिशा में कोई लकीर नहीं, सभी प्रति लॉट सत्यापित। सामग्री मानव निर्मित है - खनिज अयस्क से पिघलने के बजाय सिलिकॉन-असर अग्रदूत से उगाई गई है - इसलिए इसमें एल्यूमीनियम, लोहा या क्षार हस्ताक्षर नहीं है जो प्राकृतिक क्वार्ट्ज अपने साथ लाता है, और शुद्धता शीर्षक के बजाय ग्रेड पत्र यह तय करता है कि कौन सा ऑप्टिकल पथ एक रिक्त स्थान प्रदान कर सकता है। यह फोटोमास्क सब्सट्रेट्स, डीयूवी लेंस तत्वों, एक्सीमर विंडो और मेट्रोलॉजी ऑप्टिक्स के लिए इनगॉट और ब्लॉक के रूप में 20 किलोग्राम न्यूनतम ऑर्डर, 200 मीट्रिक टन प्रति माह क्षमता, एफओबी शंघाई शर्तों पर 30-45 दिन की डिलीवरी और एमएसडीएस, आरओएचएस, रीच, आईएसओ, जीएस, बीवी और इंटरटेक के लिए दस्तावेज़ीकरण के साथ जहाज करता है।

2. लो-ओएच प्राकृतिक क्वार्ट्ज सिलेंडर क्या है?

सिंथेटिक क्वार्ट्ज अनाकार सिलिकॉन डाइऑक्साइड है जो चट्टान के पिघलने के बजाय रासायनिक जमाव से उत्पन्न होता है। प्रमुख औद्योगिक मार्ग ज्वाला हाइड्रोलिसिस है: सिलिकॉन टेट्राक्लोराइड वाष्प (SiCl₄) को ऑक्सी-हाइड्रोजन लौ में डाला जाता है, जहां यह पानी के साथ प्रतिक्रिया करके SiO बनाता है₂कण जो छिद्रपूर्ण कालिख पिंड के रूप में जमा होते हैं। फिर उस कालिख को मोटे तौर पर 1,700-1,800 डिग्री सेल्सियस पर एक घने, पारदर्शी कांच में विट्रीफाई किया जाता है। प्लाज्मा रासायनिक वाष्प जमाव और सोल-जेल मार्ग इसके साथ मौजूद होते हैं और विभिन्न हाइड्रॉक्सिल स्तरों के साथ वेरिएंट उत्पन्न करते हैं, लेकिन सिद्धांत उन सभी में समान है: सिलिकॉन एक शुद्ध गैस या तरल के रूप में आता है, खनिज के रूप में नहीं, और संदूषण प्रोफ़ाइल इसलिए रसायन विज्ञान द्वारा निर्धारित की जाती है, भूविज्ञान द्वारा नहीं।

वह भेद संपूर्ण व्यावसायिक तर्क है। प्राकृतिक क्वार्ट्ज अपने अयस्क से प्रति मिलियन भाग के स्तर पर एल्यूमीनियम, सोडियम, पोटेशियम, लिथियम, लोहा और टाइटेनियम प्राप्त करता है, और शुद्धिकरण उन्हें खत्म करने के बजाय कम कर देता है। सिंथेटिक सामग्री एक आसुत अग्रदूत से शुरू होती है, इसलिए अवशिष्ट धातु सामग्री कम परिमाण के क्रम में बैठती है, और खनिज समावेशन की अनुपस्थिति का मतलब है एक ऐसा शरीर जिसमें कोई बुलबुले और कोई कण बीज नहीं है। गहरे-पराबैंगनी संचरण के लिए, यह निर्णायक है: 193 एनएम पर, पीपीएम-स्तर का लोहा या एक एकल समावेशन ऊर्जा को अवशोषित करने, रंग केंद्र उत्पन्न करने और अंततः ऑप्टिक को नुकसान पहुंचाने के लिए पर्याप्त है।

चार विशिष्टताएँ सिंथेटिक क्वार्ट्ज ग्रेड को परिभाषित करती हैं।पवित्रता, SiO के रूप में बताया गया है₂सामग्री - ZTSQ-02 परिवार के लिए 99.99% और उससे अधिक।तनाव द्विअपवर्तन, अवशिष्ट आंतरिक तनाव का फोटोइलास्टिक हस्ताक्षर, नैनोमीटर प्रति सेंटीमीटर में रिपोर्ट किया गया: तनावग्रस्त ग्लास से गुजरने वाली एक प्रकाश किरण पथ अंतर Δn·t के साथ दो घटकों में विभाजित हो जाती है, और ग्रेड अक्षर बस छत है। ग्रेड ए ≤2 एनएम/सेमी, बी ≤5, सी ≤5, डी ≤10 रखता है।धारी, या स्ट्राइ - जमाव प्रक्रिया द्वारा छोड़ा गया स्तरित अपवर्तक-सूचकांक भिन्नता - जिसे ZTSQ-02 एक दिशा में कोई लकीर नहीं होने पर नियंत्रित करता है। औरसंचरण, कार्यशील तरंग दैर्ध्य बैंड के माध्यम से प्रति लॉट मापा गया और 193 एनएम और 248 एनएम पर महत्वपूर्ण है।

एक साथ पढ़ें, वे चार संख्याएँ ऑप्टिकल एकरूपता का वर्णन करती हैं: सामग्री कितनी झुकेगी, विभाजित होगी या प्रकाश को अवशोषित करेगी जिसे उसे छूना नहीं चाहिए। यही कारण है कि ग्रेड अक्षर, न कि शुद्धता का आंकड़ा, आमतौर पर यह तय करता है कि लिथोग्राफी ग्राहक किस सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग कर सकता है।

PQ800E / PQ800EH - प्रमुख तकनीकी पैरामीटर

3. यह क्यों मायने रखता है: चार फायदे जो टूल अपटाइम को बदलते हैं

खरीदार सिंथेटिक विनिर्देशन पर पहुंचते हैं क्योंकि उनके ऑप्टिकल पथ में कुछ मार्जिन खत्म हो गया है। चार विफलता मोड दोहराए जाते हैं, और प्रत्येक ग्लास की एक संपत्ति को मैप करता है।

1. 193 एनएम पर अवशोषण और सौर्यीकरण।डीयूवी लिथोग्राफी फोटॉन 6.4 ईवी ले जाते हैं, जो बंधन को तोड़ने और ट्रेस धातुओं को उत्तेजित करने के लिए पर्याप्त है। कुछ पीपीएम लोहे के साथ एक प्राकृतिक क्वार्ट्ज बॉडी बैंड की पूंछ में अवशोषित होती है, स्थानीय रूप से गर्म होती है और रंग केंद्र बनाती है; ऑप्टिक के जीवन पर संचरण कम हो जाता है। बिना अयस्क-व्युत्पन्न धातुओं वाली सिंथेटिक सामग्री में अधिक स्वच्छ अवशोषण क्षमता होती है, यही कारण है कि प्रत्येक एआरएफ फोटोमास्क ब्लैंक प्राकृतिक के बजाय सिंथेटिक सब्सट्रेट से शुरू होता है। किसी को भी खोजने के लिएफोटोमास्क सबस्ट्रेट्स के लिए सिंथेटिक क्वार्ट्जस्रोत, यह योग्यता परीक्षा है जो अनुबंध तय करती है।

2. प्रक्षेपण प्रकाशिकी में ध्रुवीकरण बजट।तनाव द्विअपवर्तन केवल एक तरंग अग्र भाग को धुंधला नहीं करता है; यह घूमता है और ध्रुवीकरण को रोकता है, और आधुनिक स्कैनर छवि कंट्रास्ट को बेहतर बनाने के लिए रोशनी के ध्रुवीकरण को सटीक रूप से नियंत्रित करते हैं। 10 एनएम/सेमी पर एक लेंस तत्व मंदता का योगदान देता है जिसकी भरपाई रोशनी अनुकूलक नहीं कर सकता है। ≤2 एनएम/सेमी पर ग्रेड ए मौजूद है क्योंकि ऑप्टिकल डिज़ाइन इसे मानता है। कम्पेसाटर को पुनः डिज़ाइन करने की तुलना में ग्रेड निर्दिष्ट करना सस्ता है।

3. इमेजिंग एकरूपता और striae.जमाव-विकसित ग्लास महीन, स्तरित सूचकांक विविधताएं - स्ट्राइ - ले जा सकता है जो एक क्षेत्र में कम-आवृत्ति गैर-एकरूपता के रूप में प्रिंट करता है। "एक दिशा में कोई लकीर नहीं" कथन आपूर्तिकर्ता का दावा है कि शरीर इच्छित अभिविन्यास में वैकल्पिक रूप से प्रयोग करने योग्य है, और यह केवल ब्रोशर ही नहीं, बल्कि खरीद विनिर्देश में भी शामिल है। एक के लिएउच्च एकरूपता फ़्यूज्ड सिलिकाआवश्यकता, स्ट्राइ और बायरफ़्रिन्जेंस दो माप हैं जो वास्तविक ग्रेड को मार्केटिंग ग्रेड से अलग करते हैं।

4. प्राकृतिक क्वार्टज़ का आपूर्ति जोखिम।सेमीकंडक्टर-ग्रेड प्राकृतिक क्वार्ट्ज सुसंगत रसायन विज्ञान के साथ थोड़ी संख्या में अयस्क जमा पर निर्भर करता है, और जब भी मांग बढ़ती है तो यह श्रृंखला कड़ी हो जाती है। सिंथेटिक क्षमता पूंजी-गहन है लेकिन फीडस्टॉक-स्वतंत्र है: यह रिएक्टरों के साथ मापी जाती है, खदानों के साथ नहीं। 200 मीट्रिक टन प्रति माह की क्षमता, 20 किलो का न्यूनतम ऑर्डर जो एनपीआई बिल्ड का समर्थन करता है, 30-45 दिन की डिलीवरी, और छह प्रमाणन मार्ग (एमएसडीएस, आरओएचएस, रीच, आईएसओ, जीएस, बीवी, इंटरटेक) सिंथेटिक मार्ग को प्रयोगशाला जिज्ञासा के बजाय एक व्यावहारिक दूसरा स्रोत बनाते हैं। खरीदार बेंचमार्किंगसिंथेटिक फ़्यूज्ड सिलिका कीमत प्रति किलोएक असफल लिथोग्राफी लॉट की लागत के मुकाबले अंकगणित शायद ही कभी मिल पाता है।

अगला लाभ दस्तावेज़ीकरण है। प्रत्येक लॉट को ग्राहक द्वारा उपयोग की जाने वाली समान ऑप्टिकल और रासायनिक विधियों द्वारा चित्रित किया जा सकता है, इसलिए आने वाला निरीक्षण विश्वास के कार्य के बजाय एक सत्यापन कदम है - फोटोमास्क ब्लैंक और एक्सीमर विंडो से लेकर वेफर-निरीक्षण ऑप्टिक्स और संदर्भ फ्लैट तक।

4. यह वास्तविक उत्पादन में कैसे काम करता है: सिलेंडर से योग्य घटक तक

सिंथेटिक क्वार्ट्ज़ खरीदना आसान है और बुरी तरह से निर्दिष्ट करना अक्षम्य है। नीचे दिया गया क्रम यह है कि सामग्री ZTSQ-02 ब्लॉक से एक योग्य ऑप्टिकल घटक तक कैसे जाती है, उन मापदंडों के साथ जो खरीद क्रम में हैं।

चरण 1 - तरंग दैर्ध्य और ग्रेड को एक साथ ठीक करें

ग्रेड तरंग दैर्ध्य और ज्यामिति का अनुसरण करता है। ध्रुवीकरण नियंत्रण वाले स्कैनर में 193 एनएम फोटोमास्क सब्सट्रेट को ग्रेड ए (≤2 एनएम/सेमी) और कार्यशील तरंग दैर्ध्य पर ट्रांसमिशन माप की आवश्यकता होती है; एक औद्योगिक लेजर में 248 एनएम एक्सीमर विंडो अक्सर ग्रेड बी या सी को स्वीकार कर सकती है, जहां ≤5 एनएम/सेमी पर्याप्त है क्योंकि बीम इमेजिंग नहीं है। एक मेट्रोलॉजी संदर्भ फ्लैट ≤10 एनएम/सेमी पर ग्रेड डी ले सकता है। विनिर्देश में ग्रेड पत्र और माप विधि लिखने से उस क्लासिक विवाद को रोका जा सकता है जहां आपूर्तिकर्ता और ग्राहक दोनों मानते हैं कि उन्होंने "मानक" सामग्री भेजी या खरीदी है।

चरण 2 - पॉलिशिंग भत्ता के साथ रिक्त स्थान का आकार बदलें

ZTSQ-02 की आपूर्ति सिल्लियों और ब्लॉकों के रूप में की जाती है; तैयार सबस्ट्रेट्स को काटा जाता है, पीसा जाता है, लैप किया जाता है और पॉलिश किया जाता है। तैयार मोटाई, समतलता, सतह की गुणवत्ता और प्रत्येक ऑपरेशन में आपको हटाए जाने वाले स्टॉक के बारे में बताएं। तनाव द्विभाजन एक बड़ी संपत्ति है, इसलिए अत्यधिक अवशिष्ट तनाव वाले रिक्त स्थान को समस्या से दूर नहीं किया जा सकता है - लेकिन एक बुरी तरह से अनुक्रमित पीस इसे जोड़ सकता है। मोटे और महीन पीसने के बीच एनीलिंग और तनाव-राहत के चरण ग्रेड के अंदर वितरित संख्या को बनाए रखते हैं।

चरण 3 - निरीक्षण निर्दिष्ट करें, फिर इसे सत्यापित करें

चार माप योग्यता रखते हैं। पोलामीटर या क्रॉस-पोलराइज़र मैपिंग द्वारा बायरफ़्रिन्जेंस, अधिकतम और स्पष्ट एपर्चर में वितरण के रूप में रिपोर्ट किया गया, एक भी स्पॉट मान नहीं। 190-250 एनएम पर स्पेक्ट्रोफोटोमीटर द्वारा ट्रांसमिशन, ग्राहक की अपनी बेसलाइन के संदर्भ में। उपयोग के उन्मुखीकरण में शैडोग्राफ या डार्क-फील्ड निरीक्षण द्वारा स्ट्राई। आईसीपी-एमएस द्वारा धातुओं का पता लगाएं, तत्व दर तत्व - कुल शुद्धता के आंकड़े बिल्कुल उन तत्वों को छिपाते हैं जो डीयूवी पर मायने रखते हैं। कच्चा डेटा मांगें, पास स्टाम्प नहीं।

चरण 4 - उपकरण की श्रेणी को साफ करें और संभालें

मानक प्रवाह एक नियंत्रित एसिड या एचएफ-आधारित नक़्क़ाशी है जहां डिज़ाइन इसकी अनुमति देता है, 18.2 MΩ·cm तक विआयनीकृत पानी में अतिप्रवाह rinsing, फिर फ़िल्टर्ड-नाइट्रोजन सुखाने। शिपमेंट के लिए पैकिंग एक लकड़ी के टोकरे के अंदर एक मास्टर कार्टन के अंदर एक साफ प्लास्टिक सीलिंग बैग है - मानक 20 किलो पैक के लिए समान क्रम का उपयोग किया जाता है। सफाई के बाद छूई गई किसी भी चीज को दोबारा साफ करना पड़ता है; गैर-साफ़-सुथरे कमरे वाले क्षेत्र में संभाले गए प्रकाशिकी उस संदूषण के साथ आती है जिससे वे सुरक्षित थे।

चरण 5 - ऑप्टिकल पथ में तैनात करें

फोटोमास्क रिक्त स्थान में, सिंथेटिक सब्सट्रेट अवशोषक स्टैक के लिए यांत्रिक और ऑप्टिकल आधार है, इसलिए सपाटता और द्विभाजितता सीधे ओवरले और महत्वपूर्ण आयाम में फैलती है। डीयूवी प्रक्षेपण लेंस में, तत्वों को समूहों में रखा जाता है जहां प्रत्येक सतह की मंदता जुड़ जाती है; स्टैक के सामने एक ग्रेड ए रिक्त पूरी असेंबली के लिए मार्जिन खरीदता है। एक्सीमर लेजर विंडो में, स्पंदित प्रवाह के तहत 193 या 248 एनएम पर अवशोषण प्लस क्षति प्रतिरोध की आवश्यकता होती है। वेफर निरीक्षण और मेट्रोलॉजी में, एक कम-द्विअपवर्तन फ्लैट यह निर्धारित करता है कि चरण-संवेदनशील माप वास्तविक है या नहीं। प्रत्येक मामले में एक ही ब्लॉक, अलग-अलग ग्रेड और फिनिश।

चरण 6 - पुनःपूर्ति मॉडल को लॉक करें

सिंथेटिक क्वार्टज़ एक आवर्ती इनपुट है, एकबारगी नहीं। 200 मीट्रिक टन प्रति माह क्षमता, 20 किलोग्राम न्यूनतम ऑर्डर और एफओबी शंघाई शर्तों पर 30-45 दिन की डिलीवरी के साथ, व्यावहारिक मॉडल पॉलिशिंग चक्र के अनुसार बफर स्टॉक आकार के साथ एक रोलिंग पूर्वानुमान है। एल/सी, डी/ए, डी/पी और टी/टी एनपीआई नमूना आदेश से लेकर वार्षिक समझौते तक की सीमा को कवर करते हैं। ड्राइंग, तरंग दैर्ध्य और ग्रेड पत्र भेजें, और उद्धरण बिना स्पष्टीकरण के आ जाएगा।

5. अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न

Q1. सिंथेटिक क्वार्टज़ क्या है और यह प्राकृतिक क्वार्टज़ से किस प्रकार भिन्न है?

सिंथेटिक क्वार्ट्ज SiO है₂एक शुद्ध सिलिकॉन अग्रदूत से उगाया गया - आमतौर पर SiCl की लौ हाइड्रोलिसिस द्वारा₄- फिर कांच में विट्रीफाइड किया गया। प्राकृतिक क्वार्ट्ज़ को खनिज अयस्क से पिघलाया जाता है। सिंथेटिक मार्ग में कोई अयस्क-व्युत्पन्न एल्यूमीनियम, लोहा या क्षार नहीं होता है, कोई खनिज समावेशन नहीं होता है, और कहीं अधिक सख्त ऑप्टिकल समरूपता देता है, यही कारण है कि डीयूवी लिथोग्राफी इसका उपयोग करती है।

Q2. तनाव द्विअपवर्तन ग्रेड ए, बी, सी या डी का क्या मतलब है?

ग्रेड प्रति सेंटीमीटर पथ में नैनोमीटर में मापा गया अवशिष्ट तनाव द्विअपवर्तन की सीमा है: ZTSQ-02 डेटाशीट पर ग्रेड ए ≤2 एनएम/सेमी, ग्रेड बी ≤5, ग्रेड सी ≤5, ग्रेड डी ≤10। ध्रुवीकरण-संवेदनशील इमेजिंग के लिए निम्न मान मायने रखते हैं। ग्रेड ए आमतौर पर 193 एनएम फोटोमास्क सब्सट्रेट और प्रोजेक्शन लेंस तत्वों के लिए निर्दिष्ट किया जाता है।

Q3. "एक दिशा में कोई लकीर नहीं" क्यों मायने रखती है?

स्ट्रीक, या स्ट्राइ, जमाव प्रक्रिया द्वारा छोड़ा गया स्तरित अपवर्तक-सूचकांक भिन्नता है। यह इमेजिंग क्षेत्र में कम-आवृत्ति गैर-एकरूपता के रूप में प्रिंट करता है और इसे पॉलिश करके ठीक नहीं किया जा सकता है। उपयोग की दिशा में कोई लकीर नहीं होने का एक बयान यह पुष्टि करता है कि शरीर उस अभिविन्यास में वैकल्पिक रूप से प्रयोग करने योग्य है, और यह ब्रोशर के बजाय खरीद विनिर्देश में है।

Q4. क्या MOQ, लीड समय और क्षमता उपलब्ध है?

न्यूनतम ऑर्डर मात्रा 20 किलोग्राम है, जिसमें इंजीनियरिंग और एनपीआई बिल्ड शामिल हैं। एफओबी शंघाई शर्तों पर डिलीवरी 30-45 दिनों तक चलती है, जिसमें एल/सी, डी/ए, डी/पी और टी/टी स्वीकार किए जाते हैं। मासिक क्षमता 200 मीट्रिक टन है, इसलिए योग्यता के बाद स्केलिंग के लिए नई आपूर्ति श्रृंखला या नए योग्यता चक्र की आवश्यकता नहीं होती है। कोटेशन के साथ शिपिंग शेड्यूल जारी करने के लिए कहें।

Q5. हमें किस शुद्धता और दस्तावेज की आवश्यकता होनी चाहिए?

SiO निर्दिष्ट करें₂आईसीपी-एमएस द्वारा तत्व दर तत्व रिपोर्ट किए गए ट्रेस धातुओं के साथ 99.99% से ऊपर, साथ ही द्विअपवर्तन, स्ट्राइ और ट्रांसमिशन के लिए लॉट डेटा। ZTSQ-02 जहाजों को लॉट-स्तरीय प्रमाणपत्र के साथ MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS, BV और Intertek मानकों के अनुरूप प्रलेखित किया गया है। यह वह सेट है जिसके लिए अधिकांश लिथोग्राफी और ऑप्टिक्स ऑडिट अनुरोध करते हैं।

Q6. क्या सामग्री को तैयार पॉलिश भागों के रूप में आपूर्ति की जा सकती है?

ZTSQ-02 की आपूर्ति सिल्लियों और ब्लॉकों के रूप में की जाती है, और तैयार सब्सट्रेट्स को उनसे काटा, पीसा और पॉलिश किया जाता है। तैयार ड्राइंग को सपाटता, मोटाई और सतह की गुणवत्ता के साथ भेजें, और हम पुष्टि करेंगे कि पॉलिशिंग के बाद कौन सा ग्रेड और खाली आकार विनिर्देश रखेगा, जिसमें पीसने के संचालन के बीच आवश्यक तनाव-राहत चरण भी शामिल होंगे। तैयार हिस्से की आपूर्ति प्रति ड्राइंग उद्धृत की गई है।

6. निष्कर्ष

सिंथेटिक क्वार्टज़ प्राकृतिक क्वार्टज़ का प्रीमियम संस्करण नहीं है; यह एक अलग संदूषण भौतिकी के साथ एक अलग सामग्री है। 99.99% से ऊपर की शुद्धता, नियंत्रित तनाव द्विअपवर्तन और उपयोग की दिशा में कोई लकीर नहीं है जो 193 एनएम ऑप्टिकल पथ को अपने ध्रुवीकरण बजट और पूरे उत्पादन जीवनकाल में इसके संचरण को बनाए रखने की अनुमति देती है। पीपीएम स्तर के लोहे वाला एक प्राकृतिक शरीर लोहे को अवशोषित और सौर ऊर्जा देगा; 10 एनएम/सेमी पर एक पिंड स्कैनर द्वारा अभी अनुकूलित ध्रुवीकरण को धीमा कर देगा।

तो विशिष्टता ही उत्पाद है। तरंग दैर्ध्य, ग्रेड और एपर्चर बताएं, और सामग्री या तो इसे पूरा करती है या नहीं - जो कि एक ऑप्टिकल प्रोग्राम के लिए आवश्यक स्पष्टता है।

ZTSQ-02 उन तीन नंबरों को 20 किलोग्राम प्रवेश बिंदु, 200 मीट्रिक टन मासिक क्षमता और एफओबी शंघाई से 30-45 दिन की डिलीवरी के साथ वितरित करता है।अगला चरण:अपनी ड्राइंग, कार्यशील तरंग दैर्ध्य और आवश्यक द्विअपवर्तन ग्रेड भेजें - हम एक सामग्री अनुशंसा, एक रिक्त आकार और एक उद्धरण लौटाएंगे, या आपके अगले योग्यता चक्र से पहले विशिष्टताओं की तुलना करने के लिए ZTSQ-02 डेटाशीट डाउनलोड करेंगे।