Sentetik Kuvars Yarı İletken Sınıfı ZTSQ-02: Fotomaske ve DUV Optikleri için %99,99 SiO2 Ham Maddesi

1. Özet

Sentetik kuvars yarı iletken malzeme, 193 nm litografi için kilit giriş noktası haline gelmiştir ve NTCM'den (ZTT Group) ZTSQ-02 sınıfı, gerçekten önemli olan sayılara göre belirlenir: SiO_{ZTSQ-02, 20 kg giriş noktası, ayda 200 metrik ton kapasite ve FOB Şanghay'dan 30-45 gün teslimat ile bu üç sayıyı sunar.} saflığı %99,99'un üzerinde, stres çift kırılması A sınıfında ≤2 nm/cm'den D sınıfında ≤10 nm/cm'ye kadar ve tek yönde çizgi olmaması, hepsi parti başına doğrulanmıştır. Malzeme insan yapımıdır - mineral cevherinden eritilmek yerine silikon içeren bir öncüden yetiştirilir - bu nedenle doğal kuvarsın getirdiği alüminyum, demir veya alkali izlerini taşımaz ve saflık başlığı yerine sınıf harfi, bir boşluğun hangi optik yolu hizmet edebileceğini belirler. Fotomaske altlıkları, DUV lens elemanları, eksimer pencereleri ve metroloji optikleri için külçeler ve bloklar halinde sevk edilir, minimum sipariş 20 kg, aylık kapasite 200 metrik ton, FOB Şanghay şartlarında 30-45 gün teslimat ve MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS, BV ve Intertek'e belgelerle birlikte.

2. Düşük OH'li Doğal Kuvars Silindiri Nedir?

Sentetik kuvars, kaya eritmek yerine kimyasal biriktirme ile üretilen amorf silikon dioksittir. Baskın endüstriyel rota alev hidrolizidir: silikon tetraklorür buharı (SiCl_{Minimum sipariş miktarı 20 kg'dır, bu da mühendislik ve NPI yapılarından yararlanır. Teslimat, FOB Şanghay şartlarında 30-45 gün sürer, L/C, D/A, D/P ve T/T kabul edilir. Aylık kapasite 200 metrik tondur, bu nedenle yeterlilik sonrası ölçeklendirme yeni bir tedarik zinciri veya yeni bir yeterlilik döngüsü gerektirmez. Teklifle birlikte gönderilecek nakliye programını isteyin.}) bir oksijen-hidrojen alevine beslenir, burada su ile reaksiyona girerek SiO_{ZTSQ-02, 20 kg giriş noktası, ayda 200 metrik ton kapasite ve FOB Şanghay'dan 30-45 gün teslimat ile bu üç sayıyı sunar.} parçacıkları oluşturur, bu parçacıklar gözenekli bir is gövdesi olarak birikir. Bu is daha sonra yaklaşık 1.700-1.800 °C'de yoğun, şeffaf bir cama dönüştürülür. Plazma kimyasal buhar biriktirme ve sol-jel rotaları bunun yanında bulunur ve farklı hidroksil seviyelerine sahip varyantlar üretir, ancak prensip hepsinde aynıdır: silikon, mineral olarak değil, saflaştırılmış bir gaz veya sıvı olarak gelir ve bu nedenle kontaminasyon profili jeoloji tarafından değil, kimya tarafından belirlenir.

Bu ayrım tüm ticari argümandır. Doğal kuvars, cevherinden milyonda bir parça seviyesinde alüminyum, sodyum, potasyum, lityum, demir ve titanyum miras alır ve saflaştırma bunları azaltır, ortadan kaldırmaz. Sentetik malzeme damıtılmış bir öncü ile başlar, bu nedenle artık metal içeriği kat kat daha düşüktür ve mineral inklüzyonların olmaması kabarcık ve partikül tohumu olmayan bir gövde anlamına gelir. Derin ultraviyole iletimi için bu belirleyicidir: 193 nm'de, ppm seviyesinde demir veya tek bir inklüzyon enerji emmek, renk merkezleri üretmek ve sonunda optiğe zarar vermek için yeterlidir.

Dört özellik sentetik kuvars sınıfını tanımlar.Saflık, SiO olarak belirtilir_{ZTSQ-02, 20 kg giriş noktası, ayda 200 metrik ton kapasite ve FOB Şanghay'dan 30-45 gün teslimat ile bu üç sayıyı sunar.} içeriği - ZTSQ-02 ailesi için %99,99 ve üzeri. Stres çift kırılması, artık iç gerilimin fotoelastik imzası, nanometre/santimetre olarak raporlanır: gerilmiş camdan geçen bir ışık ışını, bir yol farkı Δn·t ile iki bileşene ayrılır ve sınıf harfi basitçe tavandır. A sınıfı ≤2 nm/cm, B ≤5, C ≤5, D ≤10 tutar. Çizgi, veya striae - biriktirme sürecinden kalan katmanlı kırılma indeksi varyasyonu - ZTSQ-02 tek yönde çizgi olmamasına kadar kontrol eder. Ve iletim, çalışma dalga boyu bandında parti başına ölçülür ve 193 nm ve 248 nm'de kritiktir.

Birlikte okunduğunda, bu dört sayı optik homojenliği tanımlar: malzemenin dokunmaması gereken ışığı ne kadar büküleceği, böleceği veya emeceği. Bu nedenle, litografi müşterisinin hangi sentetik kuvarsı kullanabileceğini genellikle saflık rakamı değil, sınıf harfi belirler.

PQ800E / PQ800EH - Temel Teknik Parametreler

3. Neden Önemli: Takım Çalışma Süresini Değiştiren Dört Avantaj

Alıcılar, optik yollarındaki bir şeyin marjının tükendiği için bir sentetik spesifikasyona ulaşırlar. Dört arıza modu tekrarlanır ve her biri camın bir özelliğine karşılık gelir.

1. 193 nm'de emilim ve solarizasyon. DUV litografi fotonları, bağları kırmak ve iz metalleri uyarmak için yeterli olan 6,4 eV taşır. Birkaç ppm demir içeren doğal bir kuvars gövdesi, bandın kuyruğunda emilir, yerel olarak ısınır ve renk merkezleri oluşturur; optiğin ömrü boyunca iletim düşer. Cevherden türetilmiş metal içermeyen sentetik malzeme, çok daha temiz bir emilim kenarına sahiptir, bu nedenle her ArF fotomaske boşluğu doğal bir altlık yerine sentetik bir altlıktan başlar. Fotomaske altlıkları için sentetik kuvars kaynağı arayan herkes için, bu sözleşmeyi belirleyen yeterlilik testidir.2. Projeksiyon optiğinde polarizasyon bütçesi. Stres çift kırılması sadece bir dalga cephesini bulanıklaştırmakla kalmaz; polarizasyonu döndürür ve geciktirir ve modern tarayıcılar, görüntü kontrastını iyileştirmek için aydınlatma polarizasyonunu hassas bir şekilde kontrol eder. 10 nm/cm'lik bir lens elemanı, aydınlatma optimize edicisinin telafi edemeyeceği bir gecikme katkıda bulunur. ≤2 nm/cm'deki A sınıfı, optik tasarımın bunu varsaydığı için mevcuttur. Sınıfı belirlemek, telafi ediciyi yeniden tasarlamaktan daha ucuzdur.

3. Görüntüleme tekdüzeliği ve striae. Biriktirme ile büyütülen cam, ince, katmanlı indeks varyasyonları - striae - taşıyabilir, bu da bir alan boyunca düşük frekanslı tekdüzelik olarak basılır. Tek yönde çizgi olmaması ifadesi, gövdenin amaçlanan yönde optik olarak kullanılabilir olduğunun tedarikçinin beyanıdır ve sadece broşürde değil, satın alma spesifikasyonunda yer almalıdır. Yüksek homojenlikte erimiş silika gereksinimi için, striae ve çift kırılma, gerçek sınıfı pazarlama sınıfından ayıran iki ölçümdür.

4. Doğal kuvarsın tedarik riski. Yarı iletken sınıfı doğal kuvars, tutarlı kimyaya sahip az sayıda cevher yatağına bağlıdır ve talep arttıkça bu zincir sıkılaşır. Sentetik kapasite sermaye yoğun ancak hammadde bağımsızdır: madenlerle değil reaktörlerle ölçeklenir. Ayda 200 metrik ton kapasite, NPI yapılarından yararlanan 20 kg minimum sipariş, 30-45 gün teslimat ve altı sertifikasyon rotası (MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS, BV, Intertek), sentetik rotayı laboratuvar merakından ziyade pratik bir ikinci kaynak haline getirir. Fotomaske altlıkları için sentetik erimiş silika fiyatını kg başına, başarısız bir litografi partisinin maliyetine karşı karşılaştıran alıcılar, aritmetiğin nadiren yakın olduğunu bulurlar.Yan fayda belgelerdir. Her parti, müşterinin kullandığı aynı optik ve kimyasal yöntemlerle karakterize edilebilir, bu nedenle gelen denetim bir inanç eylemi yerine bir doğrulama adımıdır - fotomaske altlıkları ve eksimer pencerelerinden wafer denetim optiklerine ve referans düzlemlerine kadar.4. Gerçek Üretimde Nasıl Çalışır: Silindirden Nitelikli Bileşene

Sentetik kuvars satın almak basittir ve kötü belirtmek affetmez. Aşağıdaki sıra, malzemenin ZTSQ-02 bloğundan nitelikli bir optik bileşene nasıl hareket ettiğini, satın alma siparişinde yer alması gereken parametrelerle birlikte gösterir.Adım 1 - Dalga boyunu ve sınıfı birlikte sabitleyinSınıf, dalga boyunu ve geometriyi takip eder. Polarizasyon kontrolü olan bir tarayıcıda 193 nm fotomaske altlığı, A sınıfı (≤2 nm/cm) ve çalışma dalga boyunda bir iletim ölçümü gerektirir; endüstriyel bir lazerde 248 nm eksimer penceresi, ışın görüntüleme olmadığı için ≤5 nm/cm'nin yeterli olduğu B veya C sınıfını kabul edebilir. Bir metroloji referans düzlemi, ≤10 nm/cm'de D sınıfını alabilir. Sınıf harfini ve ölçüm yöntemini spesifikasyona yazmak, tedarikçi ve müşteri arasında her ikisinin de "standart" malzeme gönderdiğine veya satın aldığına inandığı klasik anlaşmazlığı önler.Adım 2 - Parlatma payı ile boşluğu boyutlandırın

ZTSQ-02, külçeler ve bloklar halinde tedarik edilir; bitmiş altlıklar bunlardan kesilir, taşlanır, honlanır ve parlatılır. Bitmiş kalınlığı, düzlüğü, yüzey kalitesini ve her işlemde çıkarılması gereken stoğu belirtin. Stres çift kırılması bir toplu özelliktir, bu nedenle aşırı artık gerilime sahip bir boşluk sorundan parlatılamaz - ancak kötü sıralanmış bir taşlama onu ekleyebilir. Kaba ve ince taşlama arasındaki tavlama ve gerilim giderme adımları, teslim edilen sayıyı sınıf içinde tutan şeydir.

Adım 3 - Denetimi belirtin, sonra doğrulayın

Dört ölçüm yeterliliği taşır. Polarimetre veya çapraz polarizör haritalama ile çift kırılma, tek bir nokta değeri yerine açıklık boyunca maksimum ve bir dağılım olarak raporlanır. Müşterinin kendi temel çizgisine göre referans alınan 190-250 nm arasındaki spektrofotometre ile iletim. Kullanım yönündeki gölge grafiği veya karanlık alan denetimi ile striae. ICP-MS ile iz metaller, element element - toplam saflık rakamları DUV'de önemli olan elementleri gizler. Ham verileri isteyin, geçiş damgasını değil.

Adım 4 - Aracın sınıfı için temizleyin ve taşıyın

Standart akış, tasarımın izin verdiği kontrollü bir asit veya HF bazlı etch, 18,2 MΩ·cm'ye kadar deiyonize suda taşan durulama ve ardından filtrelenmiş nitrojen kurutmadır. Sevkiyat için paketleme, standart 20 kg paketin kullanıldığı aynı sıra olan ahşap bir sandık içindeki ana karton içindeki temiz bir plastik sızdırmazlık torbasıdır. Temizlikten sonra dokunulan her şey yeniden temizlenmelidir; temiz olmayan bir alanda taşınan optikler, korundukları kontaminasyonla gelir.

Adım 5 - Optik yola konuşlandırın

Fotomaske altlıklarında, sentetik altlık, emici yığın için mekanik ve optik temeldir, bu nedenle düzlük ve çift kırılma doğrudan üst üste binme ve kritik boyuta yayılır. DUV projeksiyon lenslerinde, her yüzeyin gecikmesinin eklendiği gruplar halinde elemanlar istiflenir; yığının önündeki bir A sınıfı boşluk, tüm montaj için marj satın alır. Eksimer lazer pencerelerinde gereksinim, darbeli akı altında 193 veya 248 nm'de emilim artı hasar direncidir. Wafer denetimi ve metrolojide, düşük çift kırılmalı bir düzlem, faz hassasiyetli bir ölçümün gerçek olup olmadığını belirler. Her durumda aynı blok, farklı sınıf ve kaplama.

Adım 6 - Yeniden ikmal modelini kilitleyin

Sentetik kuvars, tek seferlik değil, tekrarlayan bir girdidir. Ayda 200 metrik ton kapasite, 20 kg minimum sipariş ve FOB Şanghay şartlarında 30-45 gün teslimat ile çalışılabilir model, parlatma döngüsüne göre boyutlandırılmış tampon stoğu ile yuvarlanan bir tahmindir. L/C, D/A, D/P ve T/T, bir NPI örnek siparişinden yıllık bir anlaşmaya kadar aralığı kapsar. Çizimi, dalga boyunu ve sınıf harfini gönderin, açıklama turu olmadan teklif takip edecektir.

5. SSS

S1. Sentetik kuvars nedir ve doğal kuvarsdan nasıl farklıdır?

Sentetik kuvars, saflaştırılmış bir silikon öncüden - tipik olarak SiCl'nin alev hidrolizi ile - büyütülen ve ardından cama dönüştürülen SiO'dur

2

4

- erimiş mineral cevherinden. Sentetik rota, cevherden türetilmiş alüminyum, demir veya alkali taşımaz, mineral inklüzyon üretmez ve çok daha sıkı optik homojenlik sağlar, bu nedenle DUV litografi onu kullanır.

S2. Stres çift kırılması A, B, C veya D sınıfı ne anlama gelir?

Sınıf, santimetre başına yol başına nanometre olarak ölçülen artık gerilim çift kırılmasının tavanıdır: ZTSQ-02 veri sayfasında A sınıfı ≤2 nm/cm, B sınıfı ≤5, C sınıfı ≤5, D sınıfı ≤10. Polarizasyona duyarlı görüntüleme için daha düşük değerler önemlidir. A sınıfı normalde 193 nm fotomaske altlıkları ve projeksiyon lens elemanları için belirtilir.

S3. "Tek yönde çizgi olmaması" neden önemlidir?_{ZTSQ-02, 20 kg giriş noktası, ayda 200 metrik ton kapasite ve FOB Şanghay'dan 30-45 gün teslimat ile bu üç sayıyı sunar.} S4. Hangi MOQ, teslim süresi ve kapasite mevcuttur?_{Minimum sipariş miktarı 20 kg'dır, bu da mühendislik ve NPI yapılarından yararlanır. Teslimat, FOB Şanghay şartlarında 30-45 gün sürer, L/C, D/A, D/P ve T/T kabul edilir. Aylık kapasite 200 metrik tondur, bu nedenle yeterlilik sonrası ölçeklendirme yeni bir tedarik zinciri veya yeni bir yeterlilik döngüsü gerektirmez. Teklifle birlikte gönderilecek nakliye programını isteyin.}S5. Hangi saflık ve belgeler talep etmeliyiz?

SiO belirtin

2

%99,99'un üzerinde, iz metaller ICP-MS ile element element olarak raporlanır, artı çift kırılma, striae ve iletim için parti verileri. ZTSQ-02, MSDS, RoHS, REACH, ISO, GS, BV ve Intertek standartlarına göre belgelenmiş olarak sevk edilir, parti düzeyinde bir sertifika ile. Bu, çoğu litografi ve optik denetiminin talep ettiği settir.

S6. Malzeme bitmiş cilalı parçalar olarak tedarik edilebilir mi?

ZTSQ-02, külçeler ve bloklar halinde tedarik edilir ve bitmiş altlıklar bunlardan kesilir, taşlanır ve parlatılır. Düzlük, kalınlık ve yüzey kalitesi ile bitmiş çizimi gönderin, parlatmadan sonra hangi sınıfın ve boşluk boyutunun spesifikasyonu karşılayacağını, taşlama işlemleri arasında gerekli gerilim giderme adımları dahil olmak üzere teyit edeceğiz. Bitmiş parça tedariki çizime göre fiyatlandırılır.

6. Sonuç

Sentetik kuvars, doğal kuvarsın premium bir versiyonu değildir; farklı bir kontaminasyon fiziğine sahip farklı bir malzemedir. %99,99'un üzerindeki saflık, kontrollü stres çift kırılması ve kullanım yönünde çizgi olmaması, 193 nm'lik bir optik yolun polarizasyon bütçesini ve üretim ömrü boyunca iletimini korumasını sağlar. ppm seviyesinde demir içeren doğal bir gövde emilir ve solarize olur; 10 nm/cm'deki bir gövde, tarayıcının optimize ettiği polarizasyonu geciktirir.

Bu nedenle spesifikasyon üründür. Dalga boyunu, sınıfı ve açıklığı belirtin, malzeme ya karşılar ya da karşılamaz - bu, bir optik programın ihtiyaç duyduğu netliktir._{ZTSQ-02, 20 kg giriş noktası, ayda 200 metrik ton kapasite ve FOB Şanghay'dan 30-45 gün teslimat ile bu üç sayıyı sunar.} Sonraki adım:

çiziminizi, çalışma dalga boyunuzu ve gerekli çift kırılma sınıfınızı gönderin - size bir malzeme önerisi, bir boşluk boyutu ve bir teklif göndereceğiz veya bir sonraki yeterlilik döngünüzden önce spesifikasyonları karşılaştırmak için ZTSQ-02 veri sayfasını indireceğiz.