Σύνθετος Κουαρτζικός Ημιαγωγός Κατηγορίας ZTSQ-02: 99,99% SiO2 Πρωτεύον υλικό για φωτομάσκα και οπτική DUV

1Συνοπτική

Ημιαγωγός από συνθετικό κουάρτζοτο υλικό έχει γίνει η είσοδος πύλης για τη λιθογραφία 193 nm, και το βαθμό ZTSQ-02 από την NTCM (Ομάδα ZTT) προσδιορίζεται έναντι των αριθμών που πραγματικά έχουν σημασία: SiO₂καθαρότητα άνω του 99,99%, διπλή κάμψη κατά την ένταση από ≤2 nm/cm στην κατηγορία Α έως ≤10 nm/cm στην κατηγορία D και μηδενική έλξη, όλα επαληθευμένα ανά παρτίδα.Το υλικό είναι τεχνητό ∙ καλλιεργείται από ένα πρόδρομο που περιέχει πυρίτιο και όχι από λιωμένο ορυκτό ∙ έτσι δεν περιέχει καθόλου αλουμίνιοΤο σίδηρο ή τα αλκαλικά στοιχεία που φέρνει το φυσικό κουάρτς, και το γράμμα ποιότητας και όχι ο τίτλος καθαρότητας αποφασίζει ποια οπτική διαδρομή μπορεί να εξυπηρετήσει ένα κενό.Αποστέλλεται ως ίνγκο και μπλοκ για υποστρώματα φωτομάσκας, στοιχεία φακών DUV, παράθυρα excimer και οπτική μετρολογίας, με ελάχιστη παραγγελία 20 kg, χωρητικότητα 200 μετρικών τόνων ανά μήνα, παράδοση 30-45 ημερών με όρους FOB Shanghai και τεκμηρίωση για MSDS, RoHS,REACH, ISO, GS, BV και Intertek.

2Τι είναι ένας κύλινδρος φυσικού κουάρτζου με χαμηλή περιεκτικότητα σε οξυγόνο;

Το συνθετικό χαλαζία είναι αμορφικό διοξείδιο του πυριτίου που παράγεται από χημική εναπόθεση και όχι από τήξη πετρώματος.₄) τροφοδοτείται σε φλόγα οξυδρογόνου, όπου αντιδρά με νερό για να σχηματίσει SiO₂Η αιθάλη μετατρέπεται στη συνέχεια σε υαλοποιημένο υλικό σε θερμοκρασία περίπου 1.700-1.800 °C σε ένα πυκνό, διαφανές γυαλί.Παράλληλα με αυτό, υπάρχουν οδοι χημικής εναπόθεσης ατμών πλάσματος και οδοι sol-gel και παράγουν παραλλαγές με διαφορετικά επίπεδα υδροξυλίου.Το σύμπτωμα αυτό δεν έχει καμία σχέση με την ουσία του πυριτίου.

Η διαφορά αυτή είναι ολόκληρο το εμπορικό επιχείρημα.και η κάθαρση μειώνει αντί να τις εξαλείφειΤο συνθετικό υλικό ξεκινά με έναν αποσταγμένο πρόδρομο, έτσι ώστε η υπολειπόμενη περιεκτικότητα σε μέταλλα να είναι κατά σειρά μεγέθους χαμηλότερη.και η απουσία περιεκτικότητας σε ορυκτά σημαίνει σώμα χωρίς φυσαλίδες και χωρίς σωματιδιακά σπόραΓια τη βαθιά υπεριώδη μετάδοση, αυτό είναι καθοριστικό: στα 193 nm, αρκεί σίδηρος σε επίπεδο ppm ή μια ενιαία ένταξη για να απορροφήσει ενέργεια, να δημιουργήσει κέντρα χρώματος και τελικά να βλάψει την οπτική.

Τέσσερις προδιαγραφές καθορίζουν μια συνθετική ποιότητα του κουάρτζου.Καθαρότητα, δηλώθηκε ως SiO₂περιεκτικότητας ∙ 99,99% και άνω για την οικογένεια ZTSQ-02.Διπλή διάσπαση στρες, η φωτοελαστική υπογραφή της υπολειπόμενης εσωτερικής τάσης, που αναφέρεται σε νανομέτρα ανά εκατοστόμετρο: μια ακτίνα φωτός που περνά μέσα από τεντωμένο γυαλί χωρίζεται σε δύο συστατικά με διαφορά διαδρομής Δn·t,και το γράμμα βαθμού είναι απλά το ταβάνιΗ βαθμίδα Α ισχύει για ≤2 nm/cm, B ≤5, C ≤5, D ≤10.Στρίψιμο, ή ράβδους συνδυασμένη διακύμανση του δείκτη διάθλασης που αφήνεται από τη διαδικασία εναπόθεσης η οποία ZTSQ-02 ελέγχει σε καμία ράβδος προς μία κατεύθυνση.μετάδοση, μετρούμενη ανά παρτίδα μέσω της ζώνης κύματος λειτουργικού μήκους και κρίσιμη στα 193 nm και 248 nm.

Οι τέσσερις αριθμοί αυτοί περιγράφουν την οπτική ομοιογένεια: πόσο το υλικό θα λυγίσει, θα διαχωριστεί ή θα απορροφήσει το φως που δεν πρέπει να αγγίξει.,Συνήθως αποφασίζει ποιο συνθετικό χαλαζία μπορεί να χρησιμοποιήσει ένας πελάτης λιθογραφίας.

PQ800E / PQ800EH ∆ Βασικές τεχνικές παραμέτρους

3Γιατί έχει σημασία: Τέσσερα πλεονεκτήματα που αλλάζουν το χρόνο λειτουργίας του εργαλείου

Οι αγοραστές καταλήγουν σε μια συνθετική προδιαγραφή επειδή κάτι στο οπτικό τους μονοπάτι έχει ξεμείνει από περιθώριο.

1- Απορρόφηση και ηλιασμός σε 193 nm.Τα φωτόνια της λιθογραφίας DUV μεταφέρουν 6,4 eV, αρκετά για να σπάσουν δεσμούς και να διεγείρουν ίχνη μετάλλων.θερμαίνεται τοπικά και σχηματίζει κέντρα χρώματοςΤο συνθετικό υλικό που δεν περιέχει μέταλλα που προέρχονται από ορυκτό έχει πολύ καθαρότερο όριο απορρόφησης.Αυτός είναι ο λόγος για τον οποίο κάθε άδειο φωτομάσκα ArF ξεκινά από ένα συνθετικό υπόστρωμα και όχι από ένα φυσικό.Για όποιον ψάχνει για έναΣύνθετο κουρτς για υποστρώματα φωτομάσκεςΠηγή, αυτή είναι η δοκιμασία προσόντων που αποφασίζει το συμβόλαιο.

2- Προϋπολογισμός πόλωσης στην οπτική προβολής.Η διπλή αμβλύνεια στρες δεν θολώνει απλώς το μέτωπο κύματος, αλλά περιστρέφεται και καθυστερεί την πόλωση, και οι σύγχρονοι σαρωτές ελέγχουν την πόλωση του φωτισμού με ακρίβεια για να βελτιώσουν την αντίθεση της εικόνας.Ένα στοιχείο φακού σε 10 nm/cm συμβάλλει στην καθυστέρηση που ο βελτιστοποιητής φωτισμού δεν μπορεί να αντισταθμίσειΗ κατηγορία Α σε ≤2 nm/cm υπάρχει επειδή το οπτικό σχεδιασμό την υποθέτει.

3Ομοιομορφία εικόνας και ραγάδες.Το γυαλί που αναπτύσσεται με αποθέματα μπορεί να μεταφέρει λεπτές, στρωμένες παραλλαγές δείκτη, που εκτυπώνονται ως μη ομοιομορφία χαμηλής συχνότητας σε ένα πεδίο.Η δήλωση “δεν υπάρχει γραμμή προς μία κατεύθυνση” είναι η δήλωση του προμηθευτή ότι το σώμα είναι οπτικά χρήσιμο στην προβλεπόμενη κατεύθυνση, και ανήκει στην προδιαγραφή αγοράς, όχι μόνο στο φυλλάδιο.υψηλής ομοιογένειας λιωμένο πυρίτιοΗ απαίτηση, οι ραγάδες και η διπλή διάσπαση είναι οι δύο μετρήσεις που διαχωρίζουν την πραγματική ποιότητα από την εμπορική ποιότητα.

4- Προμήθεια φυσικού κουάρτζου.Το φυσικό κουάρτζι ημιαγωγού εξαρτάται από έναν μικρό αριθμό κοιτάσματος με σταθερή χημεία, και αυτή η αλυσίδα σφίγγει κάθε φορά που αυξάνεται η ζήτηση.Η συνθετική παραγωγική ικανότητα απαιτεί μεγάλο κεφάλαιο αλλά είναι ανεξάρτητη από τις πρώτες ύλεςΗ τεχνολογία αυτή έχει ως στόχο να ενισχύσει την τεχνολογία των ανθρακωρυχείων και των πυρηνικών εγκαταστάσεων.ISOΟι αγοραστές αναλύουν τη διαδικασία συγκριτικής αξιολόγησης με βάση τα αποτελέσματα της έρευνας.τιμή ανά χιλιόγραμμο συνθετικής ένωσης πυριτίουΑντί για το κόστος μιας αποτυχημένης λιθογραφίας, σπάνια βρίσκεις την αριθμητική κοντά.

Το συνοδευτικό όφελος είναι η τεκμηρίωση: κάθε παρτίδα μπορεί να χαρακτηριστεί με τις ίδιες οπτικές και χημικές μεθόδους που χρησιμοποιεί ο πελάτης,Έτσι, η εισερχόμενη επιθεώρηση είναι ένα βήμα επαλήθευσης και όχι μια πράξη πίστης από κενά φωτομάσκα και παράθυρα excimer σε οπτική επιθεώρησης πλακών και επίπεδα αναφοράς.

4Πώς λειτουργεί στην πραγματική παραγωγή: Από το κύλινδρο σε εξειδικευμένο συστατικό

Η παρακάτω ακολουθία είναι πώς το υλικό μετακινείται από ένα μπλοκ ZTSQ-02 σε ένα ειδικό οπτικό στοιχείο,με τις παραμέτρους που ανήκουν στην παραγγελία αγοράς.

Βήμα 1 Φτιάξτε το μήκος κύματος και την ποιότητα μαζί

Η βαθμίδα ακολουθεί το μήκος κύματος και τη γεωμετρία. Ένα υπόστρωμα φωτογραφικής μάσκας 193 nm σε σαρωτή με έλεγχο πόλωσης χρειάζεται βαθμό Α (≤2 nm/cm) και μέτρηση μετάδοσης στο μήκος κύματος εργασίας.ένα παράθυρο εκτοξευτή 248 nm σε βιομηχανικό λέιζερ μπορεί συχνά να αποδεχθεί βαθμό Β ή C, όπου ≤5 nm/cm είναι επαρκής επειδή η δέσμη δεν είναι απεικόνιση.Η καταχώριση της γραμμής ποιότητας και της μεθόδου μέτρησης στις προδιαγραφές αποτρέπει την κλασική διαμάχη όπου ο προμηθευτής και ο πελάτης πιστεύουν ότι έχουν προμηθεύσει ή αγοράσει υλικό "πρότυπο".

Βήμα 2 ∆ιαμετρώντας το κενό με την επιτρεπόμενη πολυτέλεια

Το ZTSQ-02 διατίθεται σε μορφή λοβών και μπλοκ. Τα τελικά υποστρώματα κοπούν, αλέθονται, γυαλίζονται και γυαλίζονται.ποιότητα της επιφάνειας και το απόθεμα που πρέπει να αφαιρεθεί σε κάθε λειτουργίαΗ διπλή διάσπαση στρες είναι μια ιδιότητα χύδην, έτσι ώστε ένα κενό με υπερβολικό υπολειμματικό στρες δεν μπορεί να γυαλιστεί από το πρόβλημα, αλλά μια κακή αλληλουχία μπορεί να το προσθέσει.Η αναψύξη και η ανακούφιση από τις πιέσεις μεταξύ της χονδρής και της λεπτής άλεσης είναι αυτά που διατηρούν τον παραδοθέντα αριθμό μέσα στο βαθμό.

Βήμα 3 ∆ηλαδή η επιθεώρηση και στη συνέχεια η επαλήθευση

Τέσσερις μετρήσεις φέρουν το χαρακτηριστικό: η διπλή στροφή με πολαριμέτρο ή διασταυρούμενη χαρτογράφηση πολωτήρα, που αναφέρεται ως μέγιστη και μια κατανομή σε όλο το διαφανές άνοιγμα, όχι μια μονάδα αξίας.Διαβίβαση με φασματοφωτομετρικό με διάμετρο 190~250 nm, αναφερόμενη στην ίδια την βασική γραμμή του πελάτη.στοιχείο με στοιχείο συνολικές τιμές καθαρότητας κρύβουν ακριβώς τα στοιχεία που έχουν σημασία στο DUVΖητήστε τα αρχεία, όχι την σφραγίδα.

Βήμα 4 ️ Καθαρισμός και χειρισμός για την κατηγορία του εργαλείου

Η τυποποιημένη ροή είναι μια ελεγχόμενη εικόνα με βάση το οξύ ή το HF, όπου το επιτρέπει ο σχεδιασμός, πλύσιμο υπερχείλισης σε αποιονισμένο νερό έως 18,2 MΩ· cm, κατόπιν στεγνώση με φιλτραρισμένο άζωτο.Η συσκευασία για αποστολή είναι μια καθαρή πλαστική σφραγιστική σακούλα μέσα σε ένα κυριότερο κουτί μέσα σε ένα ξύλινο κιβώτιο. Η ίδια ακολουθία χρησιμοποιείται για την τυποποιημένη συσκευασία 20 kg.Οτιδήποτε αγγίζεται μετά το καθαρισμό πρέπει να καθαρίζεται εκ νέου· τα οπτικά που χειρίζονται σε χώρο εκτός καθαρισμού φτάνουν με τη μόλυνση από την οποία ήταν προστατευμένα.

Βήμα 5 ∆ιαστοιχείωση στην οπτική διαδρομή

Στις κενές φωτογραφικές μάσκες, το συνθετικό υπόστρωμα είναι το μηχανικό και οπτικό θεμέλιο για την στοίβα απορροφητή, έτσι ώστε η επίπεδεια και η διπλή αμβλύση να διαδίδονται απευθείας σε επικάλυψη και κρίσιμη διάσταση.Σε φακούς προβολής DUVΤα στοιχεία είναι στοιβαγμένα σε ομάδες όπου η καθυστέρηση κάθε επιφάνειας αυξάνεται.η απαίτηση είναι η απορρόφηση συν αντοχή σε ζημιά σε 193 ή 248 nm υπό παλμική ροήΣτην επιθεώρηση των πλακιδίων και τη μετρολογία, ένα επίπεδο χαμηλής διπλής αναιρέσεως καθορίζει εάν μια εύχρηστη σε φάση μέτρηση είναι πραγματική.

Βήμα 6 Κλειδώστε το μοντέλο αναπλήρωσης

Το συνθετικό χαλαζία είναι μια επαναλαμβανόμενη είσοδος, όχι μια φορά.το εφικτό μοντέλο είναι μια κυλιόμενη πρόβλεψη με αποθεματικό αποθέματος μεγέθους ανά κύκλο γυάλωσης. L/C, D/A, D/P και T/T καλύπτουν το εύρος από μια παραγγελία δείγματος NPI σε μια ετήσια συμφωνία.Και η παραπομπή ακολουθεί χωρίς μια σειρά από διευκρινίσεις.

5. Ενημερωτικά ερωτήματα

Ε. 1. Τι είναι το συνθετικό κουάρτς και πώς διαφέρει από το φυσικό κουάρτς;

Το συνθετικό χαλαζία είναι SiO₂καλλιεργείται από καθαρό πρόδρομο πυριτίου, συνήθως με υδρόλυση πυρκαγιάς SiCl₄Η συνθετική διαδικασία δεν περιέχει αλουμίνιο, σίδηρο ή αλκαλία που προέρχονται από το ορυκτό, δεν παράγει περιεκτικότητες σε ορυκτά,και δίνει πολύ στενότερη οπτική ομοιογένειαΓι' αυτό το χρησιμοποιεί η λιθογραφία.

Ε2. Τι σημαίνει το βαθμό διπλής αμβλυσμού στρες Α, Β, Γ ή Δ;

Η βαθμίδα είναι το ανώτατο όριο για την διπλή αμβλυσματικότητα υπολειμματικής πίεσης που μετράται σε νανομέτρα ανά εκατοστόμετρο διαδρομής: βαθμός Α ≤2 nm/cm, βαθμός Β ≤5, βαθμός C ≤5, βαθμός D ≤10 στο δελτίο δεδομένων ZTSQ-02.Οι χαμηλότερες τιμές έχουν σημασία για την απεικόνιση ευαίσθητη στην πόλωσηΗ βαθμίδα Α ορίζεται κανονικά για υποστρώματα φωτογραφικών μάσκες 193 nm και στοιχεία φακών προβολής.

Ε3.Γιατί δεν έχει σημασία η ρήτρα προς μία κατεύθυνση;

Η ράβδος, ή ράβδος, είναι μια στρωμένη διακύμανση του δείκτη διάθλασης που αφήνεται από τη διαδικασία εναπόθεσης.Η δήλωση ότι δεν υπάρχει λωρίδα προς την κατεύθυνση χρήσης επιβεβαιώνει ότι το σώμα είναι οπτικά χρήσιμο προς αυτή την κατεύθυνση., και ανήκει στην προδιαγραφή αγοράς και όχι στο φυλλάδιο.

Ε4 Ποιο MOQ, χρόνος παράδοσης και χωρητικότητα είναι διαθέσιμα;

Η ελάχιστη ποσότητα παραγγελίας είναι 20 κιλά, η οποία καλύπτει την μηχανική και την κατασκευή NPI. Η παράδοση διαρκεί 30-45 ημέρες σε όρους FOB Shanghai, με αποδεκτές L / C, D / A, D / P και T / T. Η μηνιαία χωρητικότητα είναι 200 μετρικούς τόνους,Έτσι, η κλιμάκωση μετά την κατάρτιση δεν απαιτεί νέα αλυσίδα εφοδιασμού ή νέο κύκλο κατάρτισηςΖητήστε το χρονοδιάγραμμα αποστολής να εκδοθεί με την προσφορά.

Ε5. Ποια καθαρότητα και τεκμηρίωση πρέπει να απαιτήσουμε;

Προσδιορίστε το SiO₂άνω του 99,99% με ιχνοστοιχεία μετάλλων που αναφέρθηκαν στοιχείο προς στοιχείο από το ICP-MS, συν δεδομένα παρτίδας για διπλή αμβλυσματικότητα, στρώσεις και μετάδοση.Πρότυπα BV και IntertekΑυτό είναι το σύνολο που ζητούν οι περισσότεροι έλεγχοι λιθογραφίας και οπτικής.

Ε. Το υλικό μπορεί να παρασχεθεί ως τελικά γυαλισμένα μέρη;

Το ZTSQ-02 παραδίδεται σε σφραγίδες και μπλοκ, και τα τελικά υποστρώματα κόβονται, αλέθονται και γυαλίζονται από αυτά.και θα επιβεβαιώσουμε ποια ποιότητα και μέγεθος κενού θα κρατήσει την προδιαγραφή μετά την γυάλωσηΗ προμήθεια τελικού εξαρτήματος αναφέρεται ανά σχέδιο.

6Συμπέρασμα.

Το συνθετικό χαλαζία δεν είναι μια υψηλής ποιότητας έκδοση του φυσικού χαλαζίου, είναι ένα διαφορετικό υλικό με διαφορετική φυσική μόλυνσης.Η ελεγχόμενη διπλή αμβλυσματικότητα στρες και η απουσία ράβδου προς την κατεύθυνση χρήσης επιτρέπουν σε μια οπτική διαδρομή 193 nm να διατηρήσει το προϋπολογισμό πόλωσης και τη μετάδοσή της σε όλη τη διάρκεια ζωής της παραγωγής.Ένα φυσικό σώμα με επίπεδο σιδήρου σε ppm θα απορροφά και θα ηλιοθεραπεύεται· ένα σώμα σε 10 nm/cm θα επιβραδύνει την πόλωση που ο σαρωτής μόλις βελτιστοποίησε.

Η προδιαγραφή είναι το προϊόν, δηλώστε το μήκος κύματος, την ποιότητα και το διάφραγμα, και το υλικό είτε το πληροί είτε όχι, που είναι ακριβώς η σαφήνεια που χρειάζεται ένα οπτικό πρόγραμμα.

Το ZTSQ-02 παραδίδει αυτούς τους τρεις αριθμούς με ένα σημείο εισόδου 20 kg, 200 μετρικούς τόνους μηνιαίας χωρητικότητας και παράδοση 30-45 ημερών από την FOB Shanghai.Επόμενο βήμα:Στείλτε το σχέδιο σας, το μήκος κύματος εργασίας και το απαιτούμενο βαθμό διπλής αμβλυσμού. Θα σας επιστρέψουμε μια σύσταση υλικού, ένα κενό μέγεθος και προσφορά.ή κατεβάστε το δελτίο δεδομένων ZTSQ-02 για να συγκρίνετε τις προδιαγραφές πριν από τον επόμενο κύκλο εξειδίκευσης.