合成石英半導体材料は193nmリソグラフィのゲート入力となり、NTCM（ZTTグループ）のZTSQ-02グレードは実際に重要な数値に対して仕様が定められています。SiOQ6. 完成した研磨済み部品として材料を供給できますか？純度は99.99%以上、応力複屈折はグレードAで≤2nm/cmからグレードDで≤10nm/cm、そして一方向の筋なし、これらすべてがロットごとに検証されます。この材料は人工的に作られたもので、鉱石を溶かして作るのではなく、ケイ素含有前駆体から成長させるため、天然石英が持つアルミニウム、鉄、アルカリの痕跡は一切ありません。そして、純度よりもグレードレターが、ブランクがどの光学経路に使用できるかを決定します。フォトマスク基板、DUVレンズエレメント、エキシマ窓、計測用光学部品用のインゴットおよびブロックとして出荷され、最低注文数量は20kg、月間生産能力は200トン、FOB上海条件での納期は30～45日、MSDS、RoHS、REACH、ISO、GS、BV、Intertekの認証書類が付属します。
合成石英は、岩石を溶かすのではなく、化学蒸着によって生成される非晶質二酸化ケイ素です。主要な工業的ルートは火炎加水分解です。四塩化ケイ素（SiClQ2. 応力複屈折グレードA、B、C、Dとはどういう意味ですか？）蒸気をオキシ水素炎に供給すると、水と反応してSiOQ6. 完成した研磨済み部品として材料を供給できますか？粒子が生成され、多孔質のすす状体として堆積します。このすすは、約1,700～1,800℃でガラス化され、高密度で透明なガラスになります。プラズマ化学気相成長法やゾルゲル法もこれと並行して存在し、異なる水酸基レベルのバリアントを生成しますが、それらの原理はすべて同じです。ケイ素は鉱物ではなく、精製されたガスまたは液体として供給されるため、汚染プロファイルは地質学ではなく化学によって決定されます。
その区別が商業的な議論のすべてです。天然石英は、鉱石からアルミニウム、ナトリウム、カリウム、リチウム、鉄、チタンをppmレベルで受け継ぎ、精製によってそれらを減らすことはできても、完全に除去することはできません。合成材料は蒸留された前駆体から始まるため、残留金属含有量は桁違いに低く、鉱物インクルージョンがないため、気泡や粒子シードのない本体となります。深紫外透過においては、これが決定的です。193nmでは、ppmレベルの鉄や単一のインクルージョンでもエネルギーを吸収し、色中心を生成し、最終的に光学部品を損傷させるのに十分です。
合成石英グレードは4つの仕様で定義されます。純度、SiOQ6. 完成した研磨済み部品として材料を供給できますか？含有量として表示されます。ZTSQ-02ファミリーでは99.99%以上です。応力複屈折、残留内部応力の光弾性シグネチャで、ナノメートル/センチメートルで報告されます。応力のかかったガラスを通過する光線は2つの成分に分裂し、経路差はΔn·tとなります。グレードレターは単に上限値です。グレードAは≤2nm/cm、Bは≤5、Cは≤5、Dは≤10を保持します。筋（ストライエ）、堆積プロセスによって残された層状の屈折率変動です。ZTSQ-02は一方向の筋なしを制御します。そして透過率、動作波長帯でロットごとに測定され、193nmおよび248nmで重要です。
これら4つの数値を合わせて読むと、光学均一性がわかります。つまり、材料が意図しない光をどれだけ曲げたり、分裂させたり、吸収したりするかということです。だからこそ、リソグラフィの顧客がどの合成石英を使用できるかを決定するのは、純度ではなくグレードレターなのです。
| 特性 | 値 | 重要性 |
|---|---|---|
| SiOQ6. 完成した研磨済み部品として材料を供給できますか？ 純度 | 99.9999% (6N) | ウェーハ加工用の金属汚染予算 |
| 密度 | 2.2 g/cm³ | ロットの一貫性と材料識別 |
| 熱伝導率 (1,000 °C) | 2.28 W/m·K | より平坦な熱勾配、低い衝撃応力 |
| 熱膨張係数 | 5.5 × 10-7 /°C | 熱衝撃耐性、寸法安定性 |
| 軟化点 | 1,670 °C | チューブ引き / 成形温度 |
| アニーリング点 | 1,210 °C | 加工後の応力緩和 |
| 歪み点 | 1,110 °C | 寸法安定性の実用的な上限 |
| MOQ / 容量 | 50 kg / 月間2,000トン | パイロットビルドから量産への移行 |
| 納期 / 条件 | 30～45日、FOB上海 | L/C、D/A、D/P、T/T |
バイヤーは、光学経路のどこかにマージンがなくなった場合に合成仕様にたどり着きます。4つの故障モードが繰り返し発生し、それぞれがガラスの特性に対応します。
1. 193nmでの吸収と太陽化。DUVリソグラフィの光子は6.4eVを持ち、結合を切断し微量金属を励起するのに十分です。数ppmの鉄を含む天然石英は、バンドのテールで吸収し、局所的に加熱され、色中心を形成します。光学部品の寿命とともに透過率が低下します。鉱石由来の金属を含まない合成材料は、はるかにクリーンな吸収端を持ちます。だからこそ、すべてのArFフォトマスクブランクは天然基板ではなく合成基板から始まります。フォトマスク基板用の合成石英を探している人にとって、これは契約を決定する資格テストです。2. 投影光学系における偏光予算。
応力複屈折は、波面をぼかすだけでなく、偏光を回転・遅延させます。最新のスキャナーは、画像コントラストを向上させるために、照明偏光を精密に制御しています。10nm/cmのレンズエレメントは、照明オプティマイザーが補償できない遅延を加えます。≤2nm/cmのグレードAが存在するのは、光学設計がそれを前提としているからです。グレードを指定する方が、補償器を再設計するよりも安価です。3. イメージング均一性と筋（ストライエ）。
蒸着法で成長したガラスは、微細な層状の屈折率変動（筋）を持つことがあり、これはフィールド全体にわたって低周波の不均一性として現れます。「一方向の筋なし」という記述は、本体が意図した向きで光学的に使用可能であるというサプライヤーの主張であり、パンフレットだけでなく購入仕様書に記載されるべきです。高均一性溶融石英の要件にとって、筋と複屈折は、実際のグレードとマーケティンググレードを分ける2つの測定値です。4. 天然石英の供給リスク。半導体グレードの天然石英は、化学組成が安定した少数の鉱床に依存しており、需要が増加するたびにその連鎖は厳しくなります。合成能力は資本集約的ですが、原料には依存しません。それは鉱山ではなく、リアクターとともにスケールアップします。月間200トンの生産能力、NPIビルドをサポートする20kgの最低注文数量、30～45日の納期、および6つの認証ルート（MSDS、RoHS、REACH、ISO、GS、BV、Intertek）は、合成ルートを実験室の奇妙なものではなく、実用的な代替ソースにしています。バイヤーが
合成溶融石英の単価を、リソグラフィロットの失敗コストと比較してベンチマークする場合、その計算が近いことはめったにありません。付随する利点はドキュメントです。各ロットは、顧客が使用するのと同じ光学および化学的方法で特性評価できるため、受入検査は信仰の行為ではなく検証ステップとなります。フォトマスクブランク、エキシマ窓からウェーハ検査用光学部品、基準フラットまで。4. 実生産での仕組み：円筒から資格取得済み部品まで
合成石英は購入が容易で、仕様を誤ると許容されません。以下のシーケンスは、材料がZTSQ-02ブロックから資格取得済み光学部品へと移動するプロセスであり、購入注文に含めるべきパラメータです。
グレードは波長と形状に従います。偏光制御付きスキャナーの193nmフォトマスク基板には、グレードA（≤2nm/cm）と動作波長での透過率測定が必要です。産業用レーザーのエキシマ窓（248nm）は、ビームが結像しないため、≤5nm/cmで十分なグレードBまたはCを受け入れることができます。計測用基準フラットは、≤10nm/cmのグレードDを受け入れる場合があります。グレードレターと測定方法を購入仕様書に記載することで、サプライヤーと顧客がそれぞれ「標準」材料を出荷または購入したと信じているという、よくある論争を防ぐことができます。
ZTSQ-02はインゴットとブロックで供給され、完成した基板はそれらから切り出され、研削、ラップ、研磨されます。各工程で除去する必要のある材料の厚さ、平面度、表面品質、およびストックを明記してください。応力複屈折はバルク特性であるため、過度の残留応力を持つブランクでは問題を研磨して除去することはできません。しかし、不適切な研削順序は応力を加える可能性があります。粗研削と精密研削の間のアニーリングと応力緩和ステップが、納品される数値をグレード内に保ちます。
4つの測定が資格を担います。偏光計またはクロスニコルマッピングによる複屈折は、単一のスポット値ではなく、開口部全体にわたる最大値と分布として報告されます。透過率は、顧客自身の基準を参照して、190～250nmの範囲で分光光度計で測定されます。筋は、使用方向でのシャドウグラフまたはダークフィールド検査で確認します。微量金属はICP-MSで、元素ごとに測定します。総純度では、DUVで重要な元素が隠されてしまいます。パススタンプではなく、生データを要求してください。
標準的なフローは、設計が許容する場合、制御された酸またはHFベースのエッチング、脱イオン水でのオーバーフローリンス（18.2 MΩ·cmまで）、その後フィルター窒素乾燥です。出荷時の梱包は、木製クレート内のマスターカートン内のクリーンなプラスチックシーリングバッグです。これは、標準の20kgパックと同じシーケンスです。洗浄後に触れたものはすべて再洗浄する必要があります。クリーンルーム外のエリアで取り扱われた光学部品は、保護されていた汚染物質が付着した状態で納品されます。
フォトマスクブランクでは、合成基板は吸収体スタックの機械的および光学的な基盤となるため、平面度と複屈折はオーバーレイとクリティカルディメンションに直接影響します。DUV投影レンズでは、エレメントはグループごとに積み重ねられ、各表面の遅延が加算されます。スタックの先頭にあるグレードAブランクは、アセンブリ全体にマージンをもたらします。エキシマレーザー窓では、パルスフルエンス下での193nmまたは248nmでの吸収と損傷耐性が要求されます。ウェーハ検査および計測では、低複屈折フラットが、位相感応測定が本物であるかどうかを決定します。いずれの場合も、同じブロックで、グレードと仕上げが異なります。
合成石英は、一度きりのものではなく、繰り返し必要な入力です。月間200トンの生産能力、20kgの最低注文数量、FOB上海条件での30～45日の納期により、実用的なモデルは、研磨サイクルに合わせてバッファ在庫を調整したローリング予測です。L/C、D/A、D/P、T/Tは、NPIサンプル注文から年間契約までをカバーします。図面、動作波長、グレードレターを送信すれば、確認ラウンドなしで見積もりが提示されます。
Q1. 合成石英とは何ですか？天然石英とどう違いますか？
の火炎加水分解）から成長させ、ガラス化されたSiOQ6. 完成した研磨済み部品として材料を供給できますか？です。天然石英は鉱石を溶かして作られます。合成ルートは、鉱石由来のアルミニウム、鉄、アルカリを含まず、鉱物インクルージョンも生成せず、はるかに厳密な光学均一性をもたらすため、DUVリソグラフィで使用されます。Q2. 応力複屈折グレードA、B、C、Dとはどういう意味ですか？グレードは、パス長1センチメートルあたりのナノメートルで測定される残留応力複屈折の上限値です。ZTSQ-02のデータシートでは、グレードAは≤2nm/cm、グレードBは≤5、グレードCは≤5、グレードDは≤10です。偏光に敏感なイメージングでは、低い値が重要です。グレードAは通常、193nmフォトマスク基板および投影レンズエレメントに指定されます。
筋（ストライエ）は、堆積プロセスによって残された層状の屈折率変動です。これはイメージングフィールド全体にわたって低周波の不均一性として現れ、研磨では修正できません。使用方向での筋なしという記述は、本体がその向きで光学的に使用可能であることを確認するものであり、パンフレットではなく購入仕様書に記載されるべきです。
最低注文数量は20kgで、エンジニアリングおよびNPIビルドをカバーします。納期はFOB上海条件で30～45日、L/C、D/A、D/P、T/Tを受け付けます。月間容量は200トンなので、資格取得後のスケールアップには新しいサプライチェーンや新しい資格取得サイクルは必要ありません。見積もりと同時に発行される出荷スケジュールを要求してください。
SiO
純度は99.99%以上とし、微量金属はICP-MSで元素ごとに報告し、複屈折、筋、透過率のロットデータを添付してください。ZTSQ-02は、MSDS、RoHS、REACH、ISO、GS、BV、Intertekの基準に準拠したドキュメントとともに、ロットレベルの証明書を付けて出荷されます。これは、ほとんどのリソグラフィおよび光学監査で要求されるセットです。Q6. 完成した研磨済み部品として材料を供給できますか？ZTSQ-02はインゴットとブロックで供給され、完成した基板はそれらから切り出され、研削、研磨されます。完成図面（平面度、厚さ、表面品質を含む）を送信していただければ、研磨後に仕様を満たすグレードとブランクサイズ、および研削工程間に必要な応力緩和ステップを確認します。完成部品の供給は図面ごとに見積もります。
合成石英は天然石英のプレミアムバージョンではなく、汚染物理学が異なる別の材料です。99.99%以上の純度、制御された応力複屈折、および使用方向での筋なしは、193nmの光学経路が生産寿命を通じて偏光予算と透過率を維持することを可能にします。ppmレベルの鉄を含む天然体は吸収・太陽化し、10nm/cmの体はスキャナーが最適化した偏光を遅延させます。
ZTSQ-02は、20kgのエントリーポイント、月間200トンの生産能力、FOB上海からの30～45日の納期で、これら3つの数値を提供します。
次のステップ：
図面、動作波長、および必要な複屈折グレードを送信してください。材料の推奨、ブランクサイズ、見積もりを返信します。または、次の資格取得サイクルと比較するために、ZTSQ-02データシートをダウンロードしてください。
合成石英半導体材料は193nmリソグラフィのゲート入力となり、NTCM（ZTTグループ）のZTSQ-02グレードは実際に重要な数値に対して仕様が定められています。SiOQ6. 完成した研磨済み部品として材料を供給できますか？純度は99.99%以上、応力複屈折はグレードAで≤2nm/cmからグレードDで≤10nm/cm、そして一方向の筋なし、これらすべてがロットごとに検証されます。この材料は人工的に作られたもので、鉱石を溶かして作るのではなく、ケイ素含有前駆体から成長させるため、天然石英が持つアルミニウム、鉄、アルカリの痕跡は一切ありません。そして、純度よりもグレードレターが、ブランクがどの光学経路に使用できるかを決定します。フォトマスク基板、DUVレンズエレメント、エキシマ窓、計測用光学部品用のインゴットおよびブロックとして出荷され、最低注文数量は20kg、月間生産能力は200トン、FOB上海条件での納期は30～45日、MSDS、RoHS、REACH、ISO、GS、BV、Intertekの認証書類が付属します。
合成石英は、岩石を溶かすのではなく、化学蒸着によって生成される非晶質二酸化ケイ素です。主要な工業的ルートは火炎加水分解です。四塩化ケイ素（SiClQ2. 応力複屈折グレードA、B、C、Dとはどういう意味ですか？）蒸気をオキシ水素炎に供給すると、水と反応してSiOQ6. 完成した研磨済み部品として材料を供給できますか？粒子が生成され、多孔質のすす状体として堆積します。このすすは、約1,700～1,800℃でガラス化され、高密度で透明なガラスになります。プラズマ化学気相成長法やゾルゲル法もこれと並行して存在し、異なる水酸基レベルのバリアントを生成しますが、それらの原理はすべて同じです。ケイ素は鉱物ではなく、精製されたガスまたは液体として供給されるため、汚染プロファイルは地質学ではなく化学によって決定されます。
その区別が商業的な議論のすべてです。天然石英は、鉱石からアルミニウム、ナトリウム、カリウム、リチウム、鉄、チタンをppmレベルで受け継ぎ、精製によってそれらを減らすことはできても、完全に除去することはできません。合成材料は蒸留された前駆体から始まるため、残留金属含有量は桁違いに低く、鉱物インクルージョンがないため、気泡や粒子シードのない本体となります。深紫外透過においては、これが決定的です。193nmでは、ppmレベルの鉄や単一のインクルージョンでもエネルギーを吸収し、色中心を生成し、最終的に光学部品を損傷させるのに十分です。
合成石英グレードは4つの仕様で定義されます。純度、SiOQ6. 完成した研磨済み部品として材料を供給できますか？含有量として表示されます。ZTSQ-02ファミリーでは99.99%以上です。応力複屈折、残留内部応力の光弾性シグネチャで、ナノメートル/センチメートルで報告されます。応力のかかったガラスを通過する光線は2つの成分に分裂し、経路差はΔn·tとなります。グレードレターは単に上限値です。グレードAは≤2nm/cm、Bは≤5、Cは≤5、Dは≤10を保持します。筋（ストライエ）、堆積プロセスによって残された層状の屈折率変動です。ZTSQ-02は一方向の筋なしを制御します。そして透過率、動作波長帯でロットごとに測定され、193nmおよび248nmで重要です。
これら4つの数値を合わせて読むと、光学均一性がわかります。つまり、材料が意図しない光をどれだけ曲げたり、分裂させたり、吸収したりするかということです。だからこそ、リソグラフィの顧客がどの合成石英を使用できるかを決定するのは、純度ではなくグレードレターなのです。
| 特性 | 値 | 重要性 |
|---|---|---|
| SiOQ6. 完成した研磨済み部品として材料を供給できますか？ 純度 | 99.9999% (6N) | ウェーハ加工用の金属汚染予算 |
| 密度 | 2.2 g/cm³ | ロットの一貫性と材料識別 |
| 熱伝導率 (1,000 °C) | 2.28 W/m·K | より平坦な熱勾配、低い衝撃応力 |
| 熱膨張係数 | 5.5 × 10-7 /°C | 熱衝撃耐性、寸法安定性 |
| 軟化点 | 1,670 °C | チューブ引き / 成形温度 |
| アニーリング点 | 1,210 °C | 加工後の応力緩和 |
| 歪み点 | 1,110 °C | 寸法安定性の実用的な上限 |
| MOQ / 容量 | 50 kg / 月間2,000トン | パイロットビルドから量産への移行 |
| 納期 / 条件 | 30～45日、FOB上海 | L/C、D/A、D/P、T/T |
バイヤーは、光学経路のどこかにマージンがなくなった場合に合成仕様にたどり着きます。4つの故障モードが繰り返し発生し、それぞれがガラスの特性に対応します。
1. 193nmでの吸収と太陽化。DUVリソグラフィの光子は6.4eVを持ち、結合を切断し微量金属を励起するのに十分です。数ppmの鉄を含む天然石英は、バンドのテールで吸収し、局所的に加熱され、色中心を形成します。光学部品の寿命とともに透過率が低下します。鉱石由来の金属を含まない合成材料は、はるかにクリーンな吸収端を持ちます。だからこそ、すべてのArFフォトマスクブランクは天然基板ではなく合成基板から始まります。フォトマスク基板用の合成石英を探している人にとって、これは契約を決定する資格テストです。2. 投影光学系における偏光予算。
応力複屈折は、波面をぼかすだけでなく、偏光を回転・遅延させます。最新のスキャナーは、画像コントラストを向上させるために、照明偏光を精密に制御しています。10nm/cmのレンズエレメントは、照明オプティマイザーが補償できない遅延を加えます。≤2nm/cmのグレードAが存在するのは、光学設計がそれを前提としているからです。グレードを指定する方が、補償器を再設計するよりも安価です。3. イメージング均一性と筋（ストライエ）。
蒸着法で成長したガラスは、微細な層状の屈折率変動（筋）を持つことがあり、これはフィールド全体にわたって低周波の不均一性として現れます。「一方向の筋なし」という記述は、本体が意図した向きで光学的に使用可能であるというサプライヤーの主張であり、パンフレットだけでなく購入仕様書に記載されるべきです。高均一性溶融石英の要件にとって、筋と複屈折は、実際のグレードとマーケティンググレードを分ける2つの測定値です。4. 天然石英の供給リスク。半導体グレードの天然石英は、化学組成が安定した少数の鉱床に依存しており、需要が増加するたびにその連鎖は厳しくなります。合成能力は資本集約的ですが、原料には依存しません。それは鉱山ではなく、リアクターとともにスケールアップします。月間200トンの生産能力、NPIビルドをサポートする20kgの最低注文数量、30～45日の納期、および6つの認証ルート（MSDS、RoHS、REACH、ISO、GS、BV、Intertek）は、合成ルートを実験室の奇妙なものではなく、実用的な代替ソースにしています。バイヤーが
合成溶融石英の単価を、リソグラフィロットの失敗コストと比較してベンチマークする場合、その計算が近いことはめったにありません。付随する利点はドキュメントです。各ロットは、顧客が使用するのと同じ光学および化学的方法で特性評価できるため、受入検査は信仰の行為ではなく検証ステップとなります。フォトマスクブランク、エキシマ窓からウェーハ検査用光学部品、基準フラットまで。4. 実生産での仕組み：円筒から資格取得済み部品まで
合成石英は購入が容易で、仕様を誤ると許容されません。以下のシーケンスは、材料がZTSQ-02ブロックから資格取得済み光学部品へと移動するプロセスであり、購入注文に含めるべきパラメータです。
グレードは波長と形状に従います。偏光制御付きスキャナーの193nmフォトマスク基板には、グレードA（≤2nm/cm）と動作波長での透過率測定が必要です。産業用レーザーのエキシマ窓（248nm）は、ビームが結像しないため、≤5nm/cmで十分なグレードBまたはCを受け入れることができます。計測用基準フラットは、≤10nm/cmのグレードDを受け入れる場合があります。グレードレターと測定方法を購入仕様書に記載することで、サプライヤーと顧客がそれぞれ「標準」材料を出荷または購入したと信じているという、よくある論争を防ぐことができます。
ZTSQ-02はインゴットとブロックで供給され、完成した基板はそれらから切り出され、研削、ラップ、研磨されます。各工程で除去する必要のある材料の厚さ、平面度、表面品質、およびストックを明記してください。応力複屈折はバルク特性であるため、過度の残留応力を持つブランクでは問題を研磨して除去することはできません。しかし、不適切な研削順序は応力を加える可能性があります。粗研削と精密研削の間のアニーリングと応力緩和ステップが、納品される数値をグレード内に保ちます。
4つの測定が資格を担います。偏光計またはクロスニコルマッピングによる複屈折は、単一のスポット値ではなく、開口部全体にわたる最大値と分布として報告されます。透過率は、顧客自身の基準を参照して、190～250nmの範囲で分光光度計で測定されます。筋は、使用方向でのシャドウグラフまたはダークフィールド検査で確認します。微量金属はICP-MSで、元素ごとに測定します。総純度では、DUVで重要な元素が隠されてしまいます。パススタンプではなく、生データを要求してください。
標準的なフローは、設計が許容する場合、制御された酸またはHFベースのエッチング、脱イオン水でのオーバーフローリンス（18.2 MΩ·cmまで）、その後フィルター窒素乾燥です。出荷時の梱包は、木製クレート内のマスターカートン内のクリーンなプラスチックシーリングバッグです。これは、標準の20kgパックと同じシーケンスです。洗浄後に触れたものはすべて再洗浄する必要があります。クリーンルーム外のエリアで取り扱われた光学部品は、保護されていた汚染物質が付着した状態で納品されます。
フォトマスクブランクでは、合成基板は吸収体スタックの機械的および光学的な基盤となるため、平面度と複屈折はオーバーレイとクリティカルディメンションに直接影響します。DUV投影レンズでは、エレメントはグループごとに積み重ねられ、各表面の遅延が加算されます。スタックの先頭にあるグレードAブランクは、アセンブリ全体にマージンをもたらします。エキシマレーザー窓では、パルスフルエンス下での193nmまたは248nmでの吸収と損傷耐性が要求されます。ウェーハ検査および計測では、低複屈折フラットが、位相感応測定が本物であるかどうかを決定します。いずれの場合も、同じブロックで、グレードと仕上げが異なります。
合成石英は、一度きりのものではなく、繰り返し必要な入力です。月間200トンの生産能力、20kgの最低注文数量、FOB上海条件での30～45日の納期により、実用的なモデルは、研磨サイクルに合わせてバッファ在庫を調整したローリング予測です。L/C、D/A、D/P、T/Tは、NPIサンプル注文から年間契約までをカバーします。図面、動作波長、グレードレターを送信すれば、確認ラウンドなしで見積もりが提示されます。
Q1. 合成石英とは何ですか？天然石英とどう違いますか？
の火炎加水分解）から成長させ、ガラス化されたSiOQ6. 完成した研磨済み部品として材料を供給できますか？です。天然石英は鉱石を溶かして作られます。合成ルートは、鉱石由来のアルミニウム、鉄、アルカリを含まず、鉱物インクルージョンも生成せず、はるかに厳密な光学均一性をもたらすため、DUVリソグラフィで使用されます。Q2. 応力複屈折グレードA、B、C、Dとはどういう意味ですか？グレードは、パス長1センチメートルあたりのナノメートルで測定される残留応力複屈折の上限値です。ZTSQ-02のデータシートでは、グレードAは≤2nm/cm、グレードBは≤5、グレードCは≤5、グレードDは≤10です。偏光に敏感なイメージングでは、低い値が重要です。グレードAは通常、193nmフォトマスク基板および投影レンズエレメントに指定されます。
筋（ストライエ）は、堆積プロセスによって残された層状の屈折率変動です。これはイメージングフィールド全体にわたって低周波の不均一性として現れ、研磨では修正できません。使用方向での筋なしという記述は、本体がその向きで光学的に使用可能であることを確認するものであり、パンフレットではなく購入仕様書に記載されるべきです。
最低注文数量は20kgで、エンジニアリングおよびNPIビルドをカバーします。納期はFOB上海条件で30～45日、L/C、D/A、D/P、T/Tを受け付けます。月間容量は200トンなので、資格取得後のスケールアップには新しいサプライチェーンや新しい資格取得サイクルは必要ありません。見積もりと同時に発行される出荷スケジュールを要求してください。
SiO
純度は99.99%以上とし、微量金属はICP-MSで元素ごとに報告し、複屈折、筋、透過率のロットデータを添付してください。ZTSQ-02は、MSDS、RoHS、REACH、ISO、GS、BV、Intertekの基準に準拠したドキュメントとともに、ロットレベルの証明書を付けて出荷されます。これは、ほとんどのリソグラフィおよび光学監査で要求されるセットです。Q6. 完成した研磨済み部品として材料を供給できますか？ZTSQ-02はインゴットとブロックで供給され、完成した基板はそれらから切り出され、研削、研磨されます。完成図面（平面度、厚さ、表面品質を含む）を送信していただければ、研磨後に仕様を満たすグレードとブランクサイズ、および研削工程間に必要な応力緩和ステップを確認します。完成部品の供給は図面ごとに見積もります。
合成石英は天然石英のプレミアムバージョンではなく、汚染物理学が異なる別の材料です。99.99%以上の純度、制御された応力複屈折、および使用方向での筋なしは、193nmの光学経路が生産寿命を通じて偏光予算と透過率を維持することを可能にします。ppmレベルの鉄を含む天然体は吸収・太陽化し、10nm/cmの体はスキャナーが最適化した偏光を遅延させます。
ZTSQ-02は、20kgのエントリーポイント、月間200トンの生産能力、FOB上海からの30～45日の納期で、これら3つの数値を提供します。
次のステップ：
図面、動作波長、および必要な複屈折グレードを送信してください。材料の推奨、ブランクサイズ、見積もりを返信します。または、次の資格取得サイクルと比較するために、ZTSQ-02データシートをダウンロードしてください。
